Diese kleinen pneumatischen Ideal Vacuum Super-Seal Faltenbalgventile im 90°-Winkel verfügen über KF-40 Ein- und Auslassöffnungen. Sie sind primär für den Einsatz im Hochvakuumbereich (10 ^-8 Torr) mit Leckraten von 10 ^-9 Torr l/s (He) konzipiert, können aber bis zu einem Überdruck von 60-80 psi eingesetzt werden. Diese Ventile bestehen aus einem Ventilkörper und -mechanismus aus Edelstahl 304L, einem Aluminiumantrieb und Viton-Faltenbalgsitz-O-Ring-Dichtungen. Super-Seal-Ventile sind bis 100 °C ausheizbar (nur Ventilkörper). Die Ventile können in beliebiger Einbaulage montiert werden.

Diese kleinen Super-Seal-Ventile benötigen zum Öffnen Luft und verfügen über einen Federschließmechanismus. Es wird trockene Druckluft mit geringem Volumen im Bereich von 60 bis 80 psi benötigt. Da sie automatisch schließen, eignen sie sich als Sicherheitsventile und bieten Ausfallschutz, um das Kammervakuum bei Strom- oder Luftausfall aufrechtzuerhalten.

Der Luftstrom zum Öffnen des Ventils wird durch einen einfachwirkenden, elektrisch betriebenen Magneten gesteuert. Zur Auswahl stehen vier Magnetspannungen: 12 VDC, 24 VDC, 110 VAC und 220 VAC.

Für Super-Seal-Ventile sind drei Positionsanzeigesensoren erhältlich, darunter ein mechanischer Reedschalter und zwei Transistortypen (NPN und PNP). Jeder Sensor verfügt über eine LED, die den Ventilzustand (offen oder geschlossen) optisch bestätigt. Diese Sensoren können auch zum Schalten oder Auslösen von Zusatzgeräten verwendet werden.

Die Ventilfamilie Super-Seal umfasst Optionen für schweißbare Rohre sowie KF-, ISO-K- und Conflat-Flansche (CF), von Rohren mit 3/4 Zoll Außendurchmesser (KF-16) bis zu Rohren mit 10 Zoll Außendurchmesser (ISO-K 250), und viele sind in rechtwinkligen (90°) und Inline-Versionen erhältlich.

Diese Ventile sind äußerst wertvoll und zuverlässig und eignen sich daher für Anwendungen wie die Halbleiterfertigung, die Plasmaphysikforschung und Kernbeschleuniger. Sie sind eine Hauptkomponente in der Vakuumprozessautomatisierung und haben eine mittlere Ausfallzeit (MTTF) von über einer Million Zyklen.

Magnetspulen und Positionsanzeigesensoren sind separat erhältlich.

Nachfolgend finden Sie die technischen Daten und können das Benutzerhandbuch herunterladen, um vollständige Informationen über die pneumatischen Balgventile und Zubehörteile der Ideal Vacuum Super-Seal-Familie zu erhalten.