Inficon PEG050 Penning Gauge KF40, 10-9 Torr, PN 399-511. Das INFICON Penning Gauge PEG050 bietet zuverlässige Hochvakuummessungen. Der robuste Penning-Kaltkathodensensor hat keinen Glühfaden, der durchbrennen könnte. Aufgrund der Titan-Kathodenplatten und der reduzierten Hochspannung nach der Plasmazündung kann das Messgerät auch in Sputteranwendungen betrieben werden. Die vollständige Verwendung und die technischen Daten finden Sie in den .pdf-Dateien links unter „Downloads“.
Hauptmerkmale:
• Robust.
• Unempfindlich gegenüber Lufteinbrüchen und Vibrationen.
• Einfache Demontage und Reinigung des Messsystems.
• Austauschbare Kathodenplatte.
• Verbesserte Zündeigenschaften durch patentiertes Anodendesign.
• Titan-Kathodenplatten sorgen für eine längere Lebensdauer.
• Vakuumbereich: 0,75 x 10-2 bis 10-9 Torr.
• Verwenden Sie den Vakuummeter-Controller VGC023.
