HVA-Hochvakuum-HV-Pneumatikschieber ISO-F DN63-Flansch, Viton-Schieber- und Haubendichtungen, Edelstahl 304, Teilenummer: 11210-0253R. ISO-63-Schraubflansch mit M8 x 1,25-Gewinde. Enthält integrierte Reed-Schalter-Positionsanzeigen. HVA-Teilenummer: 11210-0253R. Diese pneumatisch betriebenen Absperrschieber der Serie 11000 der Marke HVA werden in den USA hergestellt und verfügen über einen ISO-F DN 63-Vakuumflansch mit M8 x 1,25-Sackgewindebohrungen. Sie sind für Hochvakuum (HV) ausgelegt und entsprechen den Vakuumtechnologiestandards gemäß DIN 28404 und ISO 1609. HVA-Teilenummer: 11210-0253R. Die pneumatisch betriebenen Vakuum-Absperrschieber von HVA verfügen über einen positiven Mittelverriegelungsmechanismus, der das Ventil bei Strom- oder Luftdruckverlust geschlossen hält. Schieber-, Hauben- und Balgdichtungen bestehen aus Viton-Fluorelastomer (FKM). Sie bestehen aus korrosionsbeständigen Schiebern und Ventilkörpern aus Edelstahl 304 und haben eine typische Lebensdauer von 100.000 Zyklen (abhängig vom Prozess), bevor sie gewartet werden müssen. HVA-Ventilgehäuse verfügen über eine der kleinsten Innenflächen in der Vakuumventilindustrie. Der Körper und alle wichtigen internen Komponenten werden bei 1100 °C und 1x10-6 Torr unter Verwendung eines proprietären Prozesses im Vakuumofen gelötet, der maximale Verbindungsintegrität gewährleistet, Ausgasungen während des Betriebs minimiert, die Möglichkeit virtueller Lecks oder Einklemmbereiche ausschließt und festgestellte Körperverformungen minimiert in konventionell geschweißten Ventilen. HVA-Absperrschieber mit ASA-, ISO- oder KF-Flanschen sind für Hochvakuumanwendungen ausgelegt und aufgrund der Gasdurchlässigkeit des O-Rings auf Enddrücke im Bereich von 10-8 Torr beschränkt. HVA-Absperrschieber haben eine Heliumleckrate von 1,5 x 10-10 Torr l/s und sind auf 150 °C ausheizbar (bei geöffnetem oder geschlossenem Ventil). Diese pneumatisch betätigten Ventile verfügen über Steckanschlüsse für Rohre mit einem Außendurchmesser von 1/4 Zoll. Sensoren für die offene und geschlossene Position sind in den pneumatischen Antrieb integriert und gehören zur Standardausstattung aller pneumatischen Absperrschieber von HVA. Diese Ein-/Ausschalter können zur Aktivierung der Anzeige verwendet werden Leuchten oder werden zur Steuerung eines komplexeren oder automatisierten Vakuumschutzsystems verwendet. Magnetspulen für Pneumatikventile sind in den Ausführungen 24 VDC und 120 VAC erhältlich und werden separat verkauft. Reparatursätze sind für alle von uns geführten HVA-Absperrschieber erhältlich. HVA-Absperrschieber werden häufig verwendet in Kombination mit Kryo-, Turbo-, Diffusions- und Ionenhochvakuumpumpen. Sie sind in Hochvakuum- und Ultrahochvakuumvarianten in den folgenden Größen erhältlich: Schnellflanschgrößen KF-16, KF-25, KF-40 und KF- 50 ISO LF-Flansch ISO-63, -100, -160, -200, -250, -320, -400 und -500 Größen ASA ANSI Größen 2, 4 und 6 Zoll Größen Conflat (CF) 1,33, 2,75, 3,375 , 4,5, 6, 8, 10, 12, 13,25 und 14 Zoll Größen Das Installationshandbuch und die Bedienungsanleitung sind in den Downloads verfügbar.

HVA Hochvakuum HV pneumatisches Schieberventil ISO-F DN100 Flansch, Viton Schieber- und Haubendichtungen, Edelstahl 304, PN: 11210-0403R. ISO-100 Flansch zum Anschrauben mit M8 x 1,25 Gewinde. Inklusive eingebauter Reedschalter-Positionsanzeigen. HVA-Teilenummer: 11210-0403R. Diese pneumatisch betriebenen Schieberventile der Serie 11000 der Marke HVA werden in den USA hergestellt und haben einen ISO-F DN 100 Vakuumflansch mit M8 x 1,25 Sackgewindelöchern. Sie sind für Hochvakuum (HV) ausgelegt und entsprechen den Vakuumtechnologiestandards, wie in DIN 28404 und ISO 1609 beschrieben. HVA-Teilenummer: 11210-0403R. Pneumatisch betriebene Vakuumschieberventile von HVA verfügen über einen positiven Verriegelungsmechanismus, der das Ventil bei Strom- oder Luftdruckverlust geschlossen hält. Schieber-, Deckel- und Balgdichtungen bestehen aus dem Material Viton Fluorelastomer (FKM). Sie bestehen aus korrosionsbeständigen Schiebern und Ventilkörpern aus Edelstahl 304 und haben eine typische Lebensdauer von 100.000 Zyklen (je nach Verfahren), bevor sie gewartet werden müssen. HVA-Ventilkörper haben eine der kleinsten Innenoberflächen in der Vakuumventilindustrie. Der Körper und alle wichtigen Innenkomponenten werden bei 1100 °C bei 1 x 10-6 Torr im Vakuumofen gelötet. Dabei kommt ein proprietäres Verfahren zum Einsatz, das maximale Verbindungsintegrität gewährleistet, Ausgasungen während des Betriebs minimiert, die Möglichkeit virtueller Lecks oder Einklemmbereiche eliminiert und die bei konventionell geschweißten Ventilen auftretende Körperverformung minimiert. HVA-Schieber mit ASA-, ISO- oder KF-Flanschen sind für Hochvakuumanwendungen ausgelegt und aufgrund der Gasdurchlässigkeit des O-Rings auf Enddrücke im Bereich von 10-8 Torr beschränkt. HVA-Schieber haben eine Heliumleckrate von 1,5 x 10-10 Torr l/sec und sind bis 150 °C ausheizbar (bei geöffnetem oder geschlossenem Ventil). Diese pneumatisch betriebenen Ventile umfassen 1/4" OD-Schlauchsteckverbindungen. Offene und geschlossene Positionssensoren sind in den pneumatischen Antrieb eingebaut und gehören zur Standardausstattung aller pneumatischen HVA-Schieber. Diese Ein-/Ausschalter können zum Aktivieren von Kontrollleuchten oder zur Steuerung eines komplexeren oder automatisierten Vakuumschutzsystems verwendet werden. Magnetspulen für pneumatische Ventile sind in den Ausführungen 24 VDC und 120 VAC erhältlich und werden separat verkauft. Reparatursätze sind für alle von uns geführten HVA-Schieber erhältlich. HVA-Schieber werden häufig in Kombination mit Kryo-, Turbo-, Diffusions- und Ionenhochvakuumpumpen verwendet. Sie sind in Hochvakuum- und Ultrahochvakuumausführungen in den folgenden Größen erhältlich: Schnellflanschgrößen KF-16, KF-25, KF-40 und KF-50 ISO LF-Flanschgrößen ISO-63, -80, -100, -160, -200, -250, -320, -400 und -500 ASA ANSI-Größen 2, 4 und 6-Zoll-Größen Conflat (CF) 1,33, 2,75, 3,375, 4,5, 6, 8, 10, 12, 13,25 und 14 Zoll. Die Installationsanleitung und Bedienungsanleitungen stehen in den Downloads zur Verfügung.

Absperrschieber der R-Serie von MKS ISO-F 100, DN100, pneumatisch, 24-VDC-Magnetventil, zwei Positionsanzeigeschalter (Schließer), 4 Zoll ID, Viton-Dichtungen, verschraubter Flansch (M8 x 1,25), Edelstahlgehäuse. Diese Absperrschieber der R-Serie von MKS sind für die Isolierung von Vorvakuumpumpen und Vorvakuumleitungen sowohl in Halbleiter- als auch allgemeinen Vakuumanwendungen optimiert. Diese Absperrschieber der R-Serie eignen sich gut für Hochvakuumanwendungen (HV) bis zu 1x10-7 Torr und verfügen über Optionen, einschließlich Pneumatik und Positionsanzeigen. Die R-Serie verwendet eine Elastomer-Wellendichtung für die Antriebsdichtung, die eine hohe Leistung in einem kostengünstigen, hochwertigen Paket für Grobvakuumanwendungen ermöglicht. Diese Auflistung gilt für die ISO-100-Version mit verschraubtem Vakuumflansch und pneumatischem Luftantrieb, einschließlich eines 24-V-Gleichstrom-Magnetventils und zwei Positionsanzeigeschaltern (normalerweise offen). Produktmerkmale: Hervorragende Temperaturgleichmäßigkeit sorgt dafür, dass keine kalten Stellen auf Innenflächen entstehen. DN80 und DN100 > 200.000 Zyklen. DN160 > 100.000 Zyklen. Die Größen DN80, DN100 und DN160 mm sind verfügbar. Produktkonfiguration: Ventilbohrung/Flanschgröße: DN100. Materialien: Edelstahl. Betätigung: Pneumatik. Dichtungsmaterialien: Viton/FKM-Grenzschalter: Beide Schalter normalerweise offen (N/O) Magnetischer Reed-Schalter: Nennstrom < 80 mA Magnete: 24 VDC Heizoptionen: Aufheizbar auf 105 °C Druckbereich (Hochvakuum HV): 1x10-7 bis 1200 Torr ( 1,3* 10-10 - 1,6 bar) Pneumatikdruck: 5,4 ±1,3 atm (80 ±20 psig) Antriebsdichtung: Elastomer-Wellendichtung – Viton Leckrate von Seite zu Seite: 1x10-9 atm*cc/s Externe Leckrate: 1x10- 9 atm*cc/s Max. Delta-Druck – Betrieb: 22,5 Torr (30 mbar) Kammerseite hoch Max. Delta-Druck – geschlossen: 1,6 atm, in beide Richtungen

MKS T2BA Butterfly-Auslassdrosselklappe, KF40, „F-Seal“ (Viton-O-Ring an der Klappe), Low-Power-Motor (8 in-lbs), 105 °C, RS232, mit +/-15 VDC Sensorstromversorgung (für Baratron). ). MKS-Teilenummer: T2BA01K320003V210025. Das Abgasdrosselventil MKS T2BA wurde speziell für Anwendungen entwickelt, bei denen ein einfaches, aber fortschrittliches Druckregelsystem gewünscht ist. Der T2BA integriert alle Steuer-, Kommunikations- und Treiberschaltkreise in einer Drosselklappenbaugruppe, wodurch die Montage eines separaten Drucksteuerungselektronikmoduls überflüssig wird. Der einzigartige modellbasierte Steueralgorithmus und der Hochgeschwindigkeitsbetrieb sorgen dafür, dass das System mit minimalem Überschwingen schnell den Sollpunkt erreicht und wiederholbare Prozessrezepte ohne Eingreifen des Bedieners gewährleistet. Produktmerkmale:Kompaktes Druckregelsystem – Ventil mit integrierter On-Board-Steuerelektronik – Einfache Integration, keine Notwendigkeit für zusätzliche Kabel oder Rack-Platz. Hochgeschwindigkeitskonfigurationen verfügbar (<250 ms. Öffnen bis Schließen) – Schnellere Sollwert- und Wiederherstellung vom Durchfluss und Druckstörungen – Ermöglicht einen hohen Werkzeugdurchsatz. Wählbare Antriebe mit hohem Drehmoment – Verlängert die Betriebszeit unter rauen Prozessbedingungen. Zweikanaliger Baratron®-Sensoreingang mit automatischer Bereichsumschaltung – Unterstützt einen breiten dynamischen Druckregelbereich – Ermöglicht eine hohe Druckregelgenauigkeit. Fortschrittlicher, modellbasierter Druckregelalgorithmus - Minimiert die Zeit bis zum Erreichen des Einstellpunkts. - Gewährleistet wiederholbare Prozessrezepte ohne Eingreifen des Bedieners. Erhältlich in weichdichtenden Versionen mit niedrigem Leitwert. - Unterstützt Hochdruckprozesse auch bei geringen Durchflussmengen (Epi, RTP, SACVD und mehr). - Geeignet für „Hausabluft“ oder atmosphärische Abluft Anwendungen Bietet Strom für angeschlossene Baratron-Kapazitätsmanometer (optional, einige Modelle). Das T2BA-Auslassdrosselventil kann in zwei Hauptmodi betrieben werden: Klappenpositionierung oder Drucksteuerung, die beide über die E/A-Schnittstelle vom Benutzer aktiviert werden können. Alle einstellbaren Setup-Parameter, Laufzeitbetrieb und Diagnoseinformationen sind über die Kommunikationsschnittstelle verfügbar. EtherCAT T2BA ist vollständig kompatibel mit EtherCAT-Manometern. Analoge Manometer benötigen ein Gateway. Die nachgeschaltete Druckregelungstechnik bietet einen großen Dynamikbereich, funktioniert mit allen Pumpentypen, sorgt für eine schnelle Reaktion und ist tolerant gegenüber den meisten Abgasen. Das Konzept des „intelligenten Instruments“ führt zu wertvollen Platzeinsparungen im System, einer verbesserten Störfestigkeit und einem einfachen Zugriff auf zeitkritische Prozess- und Kalibrierungsinformationen sowie integrierte Diagnosefunktionen. Der T2BA nutzt einen direkt angetriebenen Hochgeschwindigkeits-Schrittmotor. Der Ventiltreiber ermöglicht eine hochauflösende Druckregelung. Der optionale Direktantriebsmotor mit hohem Drehmoment sorgt für eine längere Betriebszeit und verlängert die vorbeugenden Wartungszyklen – ein großer Vorteil bei anspruchsvollen Prozessen, bei denen nur eine Stunde Ausfallzeit Tausende von Dollar kosten kann. Das T2BA ist auch in Getriebeversionen erhältlich, die ein maximales Drehmoment bieten und einen Langzeitbetrieb in rauen Umgebungen ermöglichen. Die T2BA-Ventile sind optional mit verfügbaren MKS-Außenheizungen auf bis zu 200 °C beheizbar (die richtige Auswahl der Dichtungsmaterialien ist erforderlich). Der T2BA ist in den einzigartigen MKS-Versionen mit niedrigem Leitwert erhältlich und ermöglicht eine Hochgeschwindigkeits-Druckregelung in atmosphärischen Anwendungen, einschließlich Abgasdruckregelung, CVD und RTP, ohne dass zur Minimierung des Ventilleitwerts auf O-Ring-basierte Konstruktionen zurückgegriffen werden muss. Zu Diagnosezwecken steht ein geberbasiertes Positionsrückmeldesystem zur Verfügung. Das Ventil besteht aus korrosionsbeständigem Edelstahl 316, der mit den meisten Prozessgasen kompatibel ist, und ist in standardmäßigen ISO-Flanschausführungen mit Bohrungsgrößen von 1 Zoll bis 4 Zoll erhältlich (alternative Größen sind auf kundenspezifischer Basis erhältlich). Die angebotenen Standarddichtungen bestehen aus Viton®, alternative Materialien können für die Kompatibilität mit verschiedenen Prozesschemikalien und/oder beheizten Anwendungen spezifiziert werden.

MKS T2BA Abluft-Drosselklappe, ISO100, nicht dichtend (kein O-Ring; 0,003 Zoll Radialspalt), Motor mit geringer Leistung (8 in-lbs), 105 °C, Viton (Gehäusedichtung), RS232, mit +/- 15-V-DC-Sensorstromversorgung (für Baratron). MKS-Teilenummer: T2BA04N220303V210025. Das Abgasdrosselventil MKS T2BA wurde speziell für Anwendungen entwickelt, bei denen ein einfaches, aber dennoch fortschrittliches Druckregelsystem gewünscht wird. Das T2BA integriert alle Steuer-, Kommunikations- und Treiberschaltkreise B. innerhalb einer Drosselventilbaugruppe, wodurch die Montage eines separaten Druckregelelektronikmoduls entfällt. Der einzigartige modellbasierte Regelalgorithmus und der Hochgeschwindigkeitsbetrieb bringen das System schnell auf den Sollpunkt mit minimalem Überschwingen und sorgen für wiederholbare Prozessrezepte ohne Eingreifen des Bedieners . Produktmerkmale:Kompaktes Druckregelsystem – Ventil mit integrierter integrierter Steuerelektronik – Einfache Integration, keine Notwendigkeit für zusätzliche Kabel oder Rack-Platz. Hochgeschwindigkeitskonfigurationen verfügbar (<250 ms. Öffnen bis Schließen) – Schnellere Sollwert- und Wiederherstellungszeit Durchfluss- und Druckstörungen – Ermöglicht einen hohen Werkzeugdurchsatz. Wählbare Antriebe mit hohem Drehmoment – Verlängert die Betriebszeit unter rauen Prozessbedingungen. Zweikanaliger Baratron®-Sensoreingang mit automatischer Bereichsumschaltung – Unterstützt einen breiten dynamischen Druckregelbereich – Ermöglicht eine hohe Druckregelgenauigkeit. Erweiterte modellbasierte Druckregelung Algorithmus – Minimiert die Zeit bis zum Erreichen des Einstellpunkts – Gewährleistet wiederholbare Prozessrezepte ohne Eingreifen des Bedieners. Erhältlich in weichdichtenden Versionen mit niedriger Leitfähigkeit – Unterstützt Hochdruckprozesse auch bei geringen Durchflussmengen (Epi, RTP, SACVD und mehr) – Geeignet für „Hausabgase“ oder atmosphärische Anwendungen Bietet Strom für angeschlossene Baratron-Kapazitätsmanometer (optional, einige Modelle). Das T2BA-Auslassdrosselventil kann in zwei Hauptmodi betrieben werden: Klappenpositionierung oder Drucksteuerung, die beide über die E/A-Schnittstelle vom Benutzer aktiviert werden können. Alle einstellbaren Setup-Parameter, Laufzeitbetrieb und Diagnoseinformationen sind über die Kommunikationsschnittstelle verfügbar. EtherCAT T2BA ist vollständig kompatibel mit EtherCAT-Manometern. Analoge Manometer benötigen ein Gateway. Die nachgeschaltete Druckregelungstechnik bietet einen großen Dynamikbereich, funktioniert mit allen Pumpentypen, sorgt für eine schnelle Reaktion und ist tolerant gegenüber den meisten Abgasen. Das Konzept des „intelligenten Instruments“ führt zu wertvollen Platzeinsparungen im System, einer verbesserten Störfestigkeit und einem einfachen Zugriff auf zeitkritische Prozess- und Kalibrierungsinformationen sowie integrierte Diagnosefunktionen. Der T2BA nutzt einen direkt angetriebenen Hochgeschwindigkeits-Schrittmotor. Der Ventiltreiber ermöglicht eine hochauflösende Druckregelung. Der optionale Direktantriebsmotor mit hohem Drehmoment sorgt für eine längere Betriebszeit und verlängert die vorbeugenden Wartungszyklen – ein großer Vorteil bei anspruchsvollen Prozessen, bei denen nur eine Stunde Ausfallzeit Tausende von Dollar kosten kann. Das T2BA ist auch in Getriebeversionen erhältlich, die ein maximales Drehmoment bieten und einen Langzeitbetrieb in rauen Umgebungen ermöglichen. Die T2BA-Ventile sind optional mit verfügbaren MKS-Außenheizungen auf bis zu 200 °C beheizbar (die richtige Auswahl der Dichtungsmaterialien ist erforderlich). Der T2BA ist in den einzigartigen MKS-Versionen mit niedrigem Leitwert erhältlich und ermöglicht eine Hochgeschwindigkeits-Druckregelung in atmosphärischen Anwendungen, einschließlich Abgasdruckregelung, CVD und RTP, ohne dass zur Minimierung des Ventilleitwerts auf O-Ring-basierte Konstruktionen zurückgegriffen werden muss. Zu Diagnosezwecken steht ein geberbasiertes Positionsrückmeldesystem zur Verfügung. Das Ventil besteht aus korrosionsbeständigem Edelstahl 316, der mit den meisten Prozessgasen kompatibel ist, und ist in standardmäßigen ISO-Flanschausführungen mit Bohrungsgrößen von 1 Zoll bis 4 Zoll erhältlich (alternative Größen sind auf kundenspezifischer Basis erhältlich). Die angebotenen Standarddichtungen bestehen aus Viton®, alternative Materialien können für die Kompatibilität mit verschiedenen Prozesschemikalien und/oder beheizten Anwendungen spezifiziert werden.

HVA-Hochvakuum-HV-Pneumatikschieber ISO-F DN80-Flansch, Viton-Schieber- und Haubendichtungen, Edelstahl 304, Teilenummer: 11210-0303R. ISO-80-Schraubflansch mit M8 x 1,25-Gewinde. Enthält integrierte Reed-Schalter-Positionsanzeigen. HVA-Teilenummer: 11210-0303R. Diese pneumatisch betriebenen Absperrschieber der Serie 11000 der Marke HVA werden in den USA hergestellt und verfügen über einen ISO-F DN 80-Vakuumflansch mit M8 x 1,25-Sackgewindebohrungen. Sie sind für Hochvakuum (HV) ausgelegt und entsprechen den Vakuumtechnologiestandards gemäß DIN 28404 und ISO 1609. HVA-Teilenummer: 11210-0303R. Die pneumatisch betriebenen Vakuum-Absperrschieber von HVA verfügen über einen positiven Mittelverriegelungsmechanismus, der das Ventil bei Strom- oder Luftdruckverlust geschlossen hält. Schieber-, Hauben- und Balgdichtungen bestehen aus Viton-Fluorelastomer (FKM). Sie bestehen aus korrosionsbeständigen Schiebern und Ventilkörpern aus Edelstahl 304 und haben eine typische Lebensdauer von 100.000 Zyklen (abhängig vom Prozess), bevor sie gewartet werden müssen. HVA-Ventilgehäuse verfügen über eine der kleinsten Innenflächen in der Vakuumventilindustrie. Der Körper und alle wichtigen internen Komponenten werden bei 1100 °C und 1x10-6 Torr unter Verwendung eines proprietären Prozesses im Vakuumofen gelötet, der maximale Verbindungsintegrität gewährleistet, Ausgasungen während des Betriebs minimiert, die Möglichkeit virtueller Lecks oder Einklemmbereiche ausschließt und festgestellte Körperverformungen minimiert bei konventionell geschweißten Ventilen. HVA-Absperrschieber mit ASA-, ISO- oder KF-Flanschen sind für Hochvakuumanwendungen ausgelegt und aufgrund der Gasdurchlässigkeit des O-Rings auf Enddrücke im Bereich von 10-8 Torr beschränkt. HVA-Absperrschieber haben eine Heliumleckrate von 1,5 x 10-10 Torr l/s und sind auf 150 °C ausheizbar (bei geöffnetem oder geschlossenem Ventil). Diese pneumatisch betätigten Ventile verfügen über 1/4-Zoll-AD-Rohrsteckverschraubungen. Sensoren für die offene und geschlossene Position sind in den pneumatischen Antrieb integriert und gehören zur Standardausstattung aller pneumatischen Schieberventile von HVA. Diese Ein-/Ausschalter können zur Aktivierung der Anzeige verwendet werden Leuchten oder werden zur Steuerung eines komplexeren oder automatisierten Vakuumschutzsystems verwendet. Magnetspulen für pneumatische Ventile sind in den Varianten 24 VDC und 120 VAC erhältlich und werden separat verkauft. Reparatursätze sind für alle von uns geführten HVA-Absperrschieber erhältlich. HVA-Absperrschieber werden häufig verwendet in Kombination mit Kryo-, Turbo-, Diffusions- und Ionenhochvakuumpumpen. Sie sind in Hochvakuum- und Ultrahochvakuumvarianten in den folgenden Größen erhältlich: Schnellflanschgrößen KF-16, KF-25, KF-40 und KF- 50 ISO LF-Flansch ISO-63, -80, -100, -160, -200, -250, -320, -400 und -500 Größen ASA ANSI Größen 2, 4 und 6 Zoll Größen Conflat (CF) 1,33 , Größen 2,75, 3,375, 4,5, 6, 8, 10, 12, 13,25 und 14 Zoll. Das Installationshandbuch und die Bedienungsanleitung sind in den Downloads verfügbar.

HVA-Hochvakuum-HV-Pneumatikschieber ISO-F DN160-Flansch, Viton-Schieber- und Haubendichtungen, Edelstahl 304, Teilenummer: 11210-0603R. ISO-160-Schraubflansch mit M10 x 1,50-Gewinde. Enthält integrierte Reed-Schalter-Positionsanzeigen. HVA-Teilenummer: 11210-0603R. Diese pneumatisch betriebenen Absperrschieber der Serie 11000 der Marke HVA werden in den USA hergestellt und verfügen über einen ISO-F DN 160-Vakuumflansch mit M10 x 1,50-Sackgewindebohrungen. Sie sind für Hochvakuum (HV) ausgelegt und entsprechen den Standards der Vakuumtechnologie, wie in DIN 28404 und ISO 1609 beschrieben. HVA-Teilenummer: 11210-0603R. Die pneumatisch betriebenen Vakuum-Absperrschieber von HVA verfügen über einen positiven Mittelverriegelungsmechanismus, der das Ventil bei Strom- oder Luftdruckverlust geschlossen hält. Schieber-, Hauben- und Balgdichtungen bestehen aus Viton-Fluorelastomer (FKM). Sie bestehen aus korrosionsbeständigen Schiebern und Ventilkörpern aus Edelstahl 304 und haben eine typische Lebensdauer von 100.000 Zyklen (abhängig vom Prozess), bevor sie gewartet werden müssen. HVA-Ventilgehäuse verfügen über eine der kleinsten Innenflächen in der Vakuumventilindustrie. Der Körper und alle wichtigen internen Komponenten werden bei 1100 °C und 1x10-6 Torr unter Verwendung eines proprietären Prozesses im Vakuumofen gelötet, der maximale Verbindungsintegrität gewährleistet, Ausgasungen während des Betriebs minimiert, die Möglichkeit virtueller Lecks oder Einklemmbereiche ausschließt und festgestellte Körperverformungen minimiert bei konventionell geschweißten Ventilen. HVA-Absperrschieber mit ASA-, ISO- oder KF-Flanschen sind für Hochvakuumanwendungen ausgelegt und aufgrund der Gasdurchlässigkeit des O-Rings auf Enddrücke im Bereich von 10-8 Torr beschränkt. HVA-Absperrschieber haben eine Heliumleckrate von 1,5 x 10-10 Torr l/s und sind auf 150 °C ausheizbar (bei geöffnetem oder geschlossenem Ventil). Diese pneumatisch betätigten Ventile verfügen über Steckanschlüsse für Rohre mit einem Außendurchmesser von 1/4 Zoll. Sensoren für die offene und geschlossene Position sind in den pneumatischen Antrieb integriert und gehören zur Standardausstattung aller pneumatischen Absperrschieber von HVA. Diese Ein-/Ausschalter können zur Aktivierung der Anzeige verwendet werden Leuchten oder werden zur Steuerung eines komplexeren oder automatisierten Vakuumschutzsystems verwendet. Magnetspulen für Pneumatikventile sind in den Ausführungen 24 VDC und 120 VAC erhältlich und werden separat verkauft. Reparatursätze sind für alle von uns geführten HVA-Absperrschieber erhältlich. HVA-Absperrschieber werden häufig verwendet in Kombination mit Kryo-, Turbo-, Diffusions- und Ionenhochvakuumpumpen. Sie sind in Hochvakuum- und Ultrahochvakuumvarianten in den folgenden Größen erhältlich: Schnellflanschgrößen KF-16, KF-25, KF-40 und KF- 50 ISO LF-Flansch ISO-63, -100, -160, -200, -250, -320, -400 und -500 Größen ASA ANSI Größen 2, 4 und 6 Zoll Größen Conflat (CF) 1,33, 2,75, 3,375 , 4,5, 6, 8, 10, 12, 13,25 und 14 Zoll Größen Das Installationshandbuch und die Bedienungsanleitung sind in den Downloads verfügbar.

HVA-Hochvakuum-HV-Pneumatikschieber ISO-F DN200-Flansch, Viton-Schieber- und Haubendichtungen, Edelstahl 304, PN: 11210-0603R. ISO-200-Schraubflansch mit M10 x 1,50-Gewinde. Enthält integrierte Reed-Schalter-Positionsanzeigen. HVA-Teilenummer: 11210-0803R. Diese pneumatisch betriebenen Absperrschieber der Serie 11000 der Marke HVA werden in den USA hergestellt und verfügen über einen ISO-F DN 200-Vakuumflansch mit M10 x 1,50-Sackgewindebohrungen. Sie sind für Hochvakuum (HV) ausgelegt und entsprechen den Vakuumtechnologiestandards gemäß DIN 28404 und ISO 1609. HVA-Teilenummer: 11210-0803R. Die pneumatisch betriebenen Vakuum-Absperrschieber von HVA verfügen über einen positiven Mittelverriegelungsmechanismus, der das Ventil bei Strom- oder Luftdruckverlust geschlossen hält. Schieber-, Hauben- und Balgdichtungen bestehen aus Viton-Fluorelastomer (FKM). Sie bestehen aus korrosionsbeständigen Schiebern und Ventilkörpern aus Edelstahl 304 und haben eine typische Lebensdauer von 100.000 Zyklen (abhängig vom Prozess), bevor sie gewartet werden müssen. HVA-Ventilgehäuse verfügen über eine der kleinsten Innenflächen in der Vakuumventilindustrie. Der Körper und alle wichtigen internen Komponenten werden bei 1100 °C und 1x10-6 Torr unter Verwendung eines proprietären Prozesses im Vakuumofen gelötet, der maximale Verbindungsintegrität gewährleistet, Ausgasungen während des Betriebs minimiert, die Möglichkeit virtueller Lecks oder Einklemmbereiche ausschließt und festgestellte Körperverformungen minimiert in konventionell geschweißten Ventilen. HVA-Absperrschieber mit ASA-, ISO- oder KF-Flanschen sind für Hochvakuumanwendungen ausgelegt und aufgrund der Gasdurchlässigkeit des O-Rings auf Enddrücke im Bereich von 10-8 Torr beschränkt. HVA-Absperrschieber haben eine Heliumleckrate von 1,5 x 10-10 Torr l/s und sind auf 150 °C ausheizbar (bei geöffnetem oder geschlossenem Ventil). Diese pneumatisch betätigten Ventile verfügen über Steckanschlüsse für Rohre mit einem Außendurchmesser von 1/4 Zoll. Sensoren für die offene und geschlossene Position sind in den pneumatischen Antrieb integriert und gehören zur Standardausstattung aller pneumatischen Absperrschieber von HVA. Diese Ein-/Ausschalter können zur Aktivierung der Anzeige verwendet werden Leuchten oder werden zur Steuerung eines komplexeren oder automatisierten Vakuumschutzsystems verwendet. Magnetspulen für Pneumatikventile sind in den Ausführungen 24 VDC und 120 VAC erhältlich und werden separat verkauft. Reparatursätze sind für alle von uns geführten HVA-Absperrschieber erhältlich. HVA-Absperrschieber werden häufig verwendet in Kombination mit Kryo-, Turbo-, Diffusions- und Ionenhochvakuumpumpen. Sie sind in Hochvakuum- und Ultrahochvakuumvarianten in den folgenden Größen erhältlich: Schnellflanschgrößen KF-16, KF-25, KF-40 und KF- 50 ISO LF-Flansch ISO-63, -100, -160, -200, -250, -320, -400 und -500 Größen ASA ANSI Größen 2, 4 und 6 Zoll Größen Conflat (CF) 1,33, 2,75, 3,375 , 4,5, 6, 8, 10, 12, 13,25 und 14 Zoll Größen Das Installationshandbuch und die Bedienungsanleitung sind in den Downloads verfügbar.

HVA-Hochvakuum-HV-Pneumatikschieber ISO-F DN250-Flansch, Viton-Schieber- und Haubendichtungen, Edelstahl 304, PN: 11210-1003R. ISO-250-Schraubflansch mit M10 x 1,50-Gewinde. Enthält integrierte Reed-Schalter-Positionsanzeigen. HVA-Teilenummer: 11210-1003R. Diese pneumatisch betriebenen Absperrschieber der Serie 11000 der Marke HVA werden in den USA hergestellt und verfügen über einen ISO-F DN 250-Vakuumflansch mit M10 x 1,50-Sackgewindebohrungen. Sie sind für Hochvakuum (HV) ausgelegt und entsprechen den Standards der Vakuumtechnologie, wie in DIN 28404 und ISO 1609 beschrieben. HVA-Teilenummer: 11210-1003R. Die pneumatisch betriebenen Vakuum-Absperrschieber von HVA verfügen über einen positiven Mittelverriegelungsmechanismus, der das Ventil bei Strom- oder Luftdruckverlust geschlossen hält. Schieber-, Hauben- und Balgdichtungen bestehen aus Viton-Fluorelastomer (FKM). Sie bestehen aus korrosionsbeständigen Schiebern und Ventilkörpern aus Edelstahl 304 und haben eine typische Lebensdauer von 100.000 Zyklen (abhängig vom Prozess), bevor sie gewartet werden müssen. HVA-Ventilgehäuse verfügen über eine der kleinsten Innenflächen in der Vakuumventilindustrie. Der Körper und alle wichtigen internen Komponenten werden bei 1100 °C und 1x10-6 Torr unter Verwendung eines proprietären Prozesses im Vakuumofen gelötet, der maximale Verbindungsintegrität gewährleistet, Ausgasungen während des Betriebs minimiert, die Möglichkeit virtueller Lecks oder Einklemmbereiche ausschließt und festgestellte Körperverformungen minimiert bei konventionell geschweißten Ventilen. HVA-Absperrschieber mit ASA-, ISO- oder KF-Flanschen sind für Hochvakuumanwendungen ausgelegt und aufgrund der Gasdurchlässigkeit des O-Rings auf Enddrücke im Bereich von 10-8 Torr beschränkt. HVA-Absperrschieber haben eine Heliumleckrate von 1,5 x 10-10 Torr l/s und sind auf 150 °C ausheizbar (bei geöffnetem oder geschlossenem Ventil). Diese pneumatisch betätigten Ventile verfügen über Steckanschlüsse für Rohre mit einem Außendurchmesser von 1/4 Zoll. Sensoren für die offene und geschlossene Position sind in den pneumatischen Antrieb integriert und gehören zur Standardausstattung aller pneumatischen Absperrschieber von HVA. Diese Ein-/Ausschalter können zur Aktivierung der Anzeige verwendet werden Leuchten oder werden zur Steuerung eines komplexeren oder automatisierten Vakuumschutzsystems verwendet. Magnetspulen für Pneumatikventile sind in den Ausführungen 24 VDC und 120 VAC erhältlich und werden separat verkauft. Reparatursätze sind für alle von uns geführten HVA-Absperrschieber erhältlich. HVA-Absperrschieber werden häufig verwendet in Kombination mit Kryo-, Turbo-, Diffusions- und Ionenhochvakuumpumpen. Sie sind in Hochvakuum- und Ultrahochvakuumvarianten in den folgenden Größen erhältlich: Schnellflanschgrößen KF-16, KF-25, KF-40 und KF- 50 ISO LF-Flansch ISO-63, -100, -160, -200, -250, -320, -400 und -500 Größen ASA ANSI Größen 2, 4 und 6 Zoll Größen Conflat (CF) 1,33, 2,75, 3,375 , 4,5, 6, 8, 10, 12, 13,25 und 14 Zoll Größen Das Installationshandbuch und die Bedienungsanleitung sind in den Downloads verfügbar.

HVA-Hochvakuum-HV-Pneumatikschieber ISO-F DN320-Flansch, Viton-Schieber- und Haubendichtungen, Edelstahl 304, PN: 11210-1203R. ISO-320-Schraubflansch mit M12 x 1,75-Gewinde. Enthält integrierte Reed-Schalter-Positionsanzeigen. HVA-Teilenummer: 11210-1203R. Diese pneumatisch betriebenen Absperrschieber der Serie 11000 der Marke HVA werden in den USA hergestellt und verfügen über einen ISO-F DN 320-Vakuumflansch mit M12 x 1,75-Sackgewindebohrungen. Sie sind für Hochvakuum (HV) ausgelegt und entsprechen den Vakuumtechnologiestandards gemäß DIN 28404 und ISO 1609. HVA-Teilenummer: 11210-1203R. Die pneumatisch betriebenen Vakuum-Absperrschieber von HVA verfügen über einen positiven Mittelverriegelungsmechanismus, der das Ventil bei Strom- oder Luftdruckverlust geschlossen hält. Schieber-, Hauben- und Balgdichtungen bestehen aus Viton-Fluorelastomer (FKM). Sie bestehen aus korrosionsbeständigen Schiebern und Ventilkörpern aus Edelstahl 304 und haben eine typische Lebensdauer von 100.000 Zyklen (abhängig vom Prozess), bevor sie gewartet werden müssen. HVA-Ventilgehäuse verfügen über eine der kleinsten Innenflächen in der Vakuumventilindustrie. Der Körper und alle wichtigen internen Komponenten werden bei 1100 °C und 1x10-6 Torr unter Verwendung eines proprietären Prozesses im Vakuumofen gelötet, der maximale Verbindungsintegrität gewährleistet, Ausgasungen während des Betriebs minimiert, die Möglichkeit virtueller Lecks oder Einklemmbereiche ausschließt und festgestellte Körperverformungen minimiert bei konventionell geschweißten Ventilen. HVA-Absperrschieber mit ASA-, ISO- oder KF-Flanschen sind für Hochvakuumanwendungen ausgelegt und aufgrund der Gasdurchlässigkeit des O-Rings auf Enddrücke im Bereich von 10-8 Torr beschränkt. HVA-Absperrschieber haben eine Heliumleckrate von 1,5 x 10-10 Torr l/s und sind auf 150 °C ausheizbar (bei geöffnetem oder geschlossenem Ventil). Diese pneumatisch betätigten Ventile verfügen über Steckanschlüsse für Rohre mit einem Außendurchmesser von 1/4 Zoll. Sensoren für die offene und geschlossene Position sind in den pneumatischen Antrieb integriert und gehören zur Standardausstattung aller pneumatischen Absperrschieber von HVA. Diese Ein-/Ausschalter können zur Aktivierung der Anzeige verwendet werden Leuchten oder werden zur Steuerung eines komplexeren oder automatisierten Vakuumschutzsystems verwendet. Magnetspulen für Pneumatikventile sind in den Ausführungen 24 VDC und 120 VAC erhältlich und werden separat verkauft. Reparatursätze sind für alle von uns geführten HVA-Absperrschieber erhältlich. HVA-Absperrschieber werden häufig verwendet in Kombination mit Kryo-, Turbo-, Diffusions- und Ionenhochvakuumpumpen. Sie sind in Hochvakuum- und Ultrahochvakuumvarianten in den folgenden Größen erhältlich: Schnellflanschgrößen KF-16, KF-25, KF-40 und KF- 50 ISO LF-Flansch ISO-63, -100, -160, -200, -250, -320, -400 und -500 Größen ASA ANSI Größen 2, 4 und 6 Zoll Größen Conflat (CF) 1,33, 2,75, 3,375 , 4,5, 6, 8, 10, 12, 13,25 und 14 Zoll Größen Das Installationshandbuch und die Bedienungsanleitung sind in den Downloads verfügbar.

HVA-Hochvakuum-HV-Pneumatikschieber ISO-F DN400-Flansch, Viton-Schieber- und Haubendichtungen, Edelstahl 304, PN: 11212-1603R. ISO-400-Schraubflansch mit M12 x 1,75-Gewinde. Enthält integrierte Reed-Schalter-Positionsanzeigen. HVA-Teilenummer: 11212-1603R. Diese pneumatisch betriebenen Absperrschieber der Serie 11000 der Marke HVA werden in den USA hergestellt und verfügen über einen ISO-F DN 400-Vakuumflansch mit M12 x 1,75-Sackgewindebohrungen. Sie sind für Hochvakuum (HV) ausgelegt und entsprechen den Vakuumtechnologiestandards gemäß DIN 28404 und ISO 1609. HVA-Teilenummer: 11212-1603R. Die pneumatisch betriebenen Vakuum-Absperrschieber von HVA verfügen über einen positiven Mittelverriegelungsmechanismus, der das Ventil bei Strom- oder Luftdruckverlust geschlossen hält. Schieber-, Hauben- und Balgdichtungen bestehen aus Viton-Fluorelastomer (FKM). Sie bestehen aus korrosionsbeständigen Schiebern und Ventilkörpern aus Edelstahl 304 und haben eine typische Lebensdauer von 100.000 Zyklen (abhängig vom Prozess), bevor sie gewartet werden müssen. HVA-Ventilgehäuse verfügen über eine der kleinsten Innenflächen in der Vakuumventilindustrie. Der Körper und alle wichtigen internen Komponenten werden bei 1100 °C und 1x10-6 Torr unter Verwendung eines proprietären Prozesses im Vakuumofen gelötet, der maximale Verbindungsintegrität gewährleistet, Ausgasungen während des Betriebs minimiert, die Möglichkeit virtueller Lecks oder Einklemmbereiche ausschließt und festgestellte Körperverformungen minimiert bei konventionell geschweißten Ventilen. HVA-Absperrschieber mit ASA-, ISO- oder KF-Flanschen sind für Hochvakuumanwendungen ausgelegt und aufgrund der Gasdurchlässigkeit des O-Rings auf Enddrücke im Bereich von 10-8 Torr beschränkt. HVA-Absperrschieber haben eine Heliumleckrate von 1,5 x 10-10 Torr l/s und sind auf 150 °C ausheizbar (bei geöffnetem oder geschlossenem Ventil). Diese pneumatisch betätigten Ventile verfügen über Steckanschlüsse für Rohre mit einem Außendurchmesser von 1/4 Zoll. Sensoren für die offene und geschlossene Position sind in den pneumatischen Antrieb integriert und gehören zur Standardausstattung aller pneumatischen Absperrschieber von HVA. Diese Ein-/Ausschalter können zur Aktivierung der Anzeige verwendet werden Leuchten oder werden zur Steuerung eines komplexeren oder automatisierten Vakuumschutzsystems verwendet. Magnetspulen für Pneumatikventile sind in den Ausführungen 24 VDC und 120 VAC erhältlich und werden separat verkauft. Reparatursätze sind für alle von uns geführten HVA-Absperrschieber erhältlich. HVA-Absperrschieber werden häufig verwendet in Kombination mit Kryo-, Turbo-, Diffusions- und Ionenhochvakuumpumpen. Sie sind in Hochvakuum- und Ultrahochvakuumvarianten in den folgenden Größen erhältlich: Schnellflanschgrößen KF-16, KF-25, KF-40 und KF- 50 ISO LF-Flansch ISO-63, -100, -160, -200, -250, -320, -400 und -500 Größen ASA ANSI Größen 2, 4 und 6 Zoll Größen Conflat (CF) 1,33, 2,75, 3,375 , 4,5, 6, 8, 10, 12, 13,25 und 14 Zoll Größen Das Installationshandbuch und die Bedienungsanleitung sind in den Downloads verfügbar.

HVA-Hochvakuum-HV-Pneumatikschieber ISO-F DN500-Flansch, Viton-Schieber- und Haubendichtungen, Edelstahl 304, PN: 11212-2003R. ISO-500-Schraubflansch mit M12 x 1,75-Gewinde. Enthält integrierte Reed-Schalter-Positionsanzeigen. HVA-Teilenummer: 11212-2003R. Diese pneumatisch betriebenen Absperrschieber der Serie 11000 der Marke HVA werden in den USA hergestellt und verfügen über einen ISO-F DN 500-Vakuumflansch mit M12 x 1,75-Sackgewindebohrungen. Sie sind für Hochvakuum (HV) ausgelegt und entsprechen den Vakuumtechnologiestandards gemäß DIN 28404 und ISO 1609. HVA-Teilenummer: 11212-2003R. Die pneumatisch betriebenen Vakuum-Absperrschieber von HVA verfügen über einen positiven Mittelverriegelungsmechanismus, der das Ventil bei Strom- oder Luftdruckverlust geschlossen hält. Schieber-, Hauben- und Balgdichtungen bestehen aus Viton-Fluorelastomer (FKM). Sie bestehen aus korrosionsbeständigen Schiebern und Ventilkörpern aus Edelstahl 304 und haben eine typische Lebensdauer von 100.000 Zyklen (abhängig vom Prozess), bevor sie gewartet werden müssen. HVA-Ventilgehäuse verfügen über eine der kleinsten Innenflächen in der Vakuumventilindustrie. Der Körper und alle wichtigen internen Komponenten werden bei 1100 °C und 1x10-6 Torr unter Verwendung eines proprietären Prozesses im Vakuumofen gelötet, der maximale Verbindungsintegrität gewährleistet, Ausgasungen während des Betriebs minimiert, die Möglichkeit virtueller Lecks oder Einklemmbereiche ausschließt und festgestellte Körperverformungen minimiert bei konventionell geschweißten Ventilen. HVA-Absperrschieber mit ASA-, ISO- oder KF-Flanschen sind für Hochvakuumanwendungen ausgelegt und aufgrund der Gasdurchlässigkeit des O-Rings auf Enddrücke im Bereich von 10-8 Torr beschränkt. HVA-Absperrschieber haben eine Heliumleckrate von 1,5 x 10-10 Torr l/s und sind auf 150 °C ausheizbar (bei geöffnetem oder geschlossenem Ventil). Diese pneumatisch betätigten Ventile verfügen über Steckanschlüsse für Rohre mit einem Außendurchmesser von 1/4 Zoll. Sensoren für die offene und geschlossene Position sind in den pneumatischen Antrieb integriert und gehören zur Standardausstattung aller pneumatischen Absperrschieber von HVA. Diese Ein-/Ausschalter können zur Aktivierung der Anzeige verwendet werden Leuchten oder werden zur Steuerung eines komplexeren oder automatisierten Vakuumschutzsystems verwendet. Magnetspulen für Pneumatikventile sind in den Ausführungen 24 VDC und 120 VAC erhältlich und werden separat verkauft. Reparatursätze sind für alle von uns geführten HVA-Absperrschieber erhältlich. HVA-Absperrschieber werden häufig verwendet in Kombination mit Kryo-, Turbo-, Diffusions- und Ionenhochvakuumpumpen. Sie sind in Hochvakuum- und Ultrahochvakuumvarianten in den folgenden Größen erhältlich: Schnellflanschgrößen KF-16, KF-25, KF-40 und KF- 50 ISO LF-Flansch ISO-63, -100, -160, -200, -250, -320, -400 und -500 Größen ASA ANSI Größen 2, 4 und 6 Zoll Größen Conflat (CF) 1,33, 2,75, 3,375 , 4,5, 6, 8, 10, 12, 13,25 und 14 Zoll Größen Das Installationshandbuch und die Bedienungsanleitung sind in den Downloads verfügbar.