Agient Varian 531 Thermoelement-Vakuumdruckmessgerät, Rohrsensor, 4 VCR®-Innengewinde, Edelstahl, lasergeschweißt
Der Varian 531 Thermoelement-Rohrsensor liefert eine kontinuierliche und präzise Anzeige des Gesamtdrucks von 1 x 10⁻³ Torr bis 2,0 Torr (1 x 10⁻³ mbar bis 2,7 mbar). Er wurde für robuste Zuverlässigkeit und herausragende Leistung bei der Druckmessung in Vorbohrungen und Schruppbohrungen entwickelt. Die Varian 531 Thermoelement-Vakuummessgeräte sind kostengünstige Druckmessgeräte. Die Varian 531 Thermoelement-Rohrsensoren zeichnen sich durch hohe Vibrationsfestigkeit aus; dieses Modell ist aus Edelstahl gefertigt und lasergeschweißt.
Thermoelement-Vakuummanometer
Wärmeleitfähigkeitsmessgeräte nutzen die Tatsache, dass die Wärmeleitfähigkeit eines Gases mit steigendem Druck abnimmt. Bei diesem Messgerät wird ein Draht durch Stromfluss erhitzt. Die Temperatur des Drahtes kann anschließend mit einem Thermoelement oder einem Widerstandsthermometer (RTD) gemessen werden. Diese Temperatur hängt von der Wärmeabgabe des Drahtes an das umgebende Gas und somit von seiner Wärmeleitfähigkeit ab. Eine gängige Variante ist das Pirani-Manometer, das einen einzelnen Platindraht sowohl als Heizelement als auch als RTD verwendet. Diese Messgeräte sind im Bereich von 20 Torr bis 10⁻³ Torr genau (abhängig vom verwendeten Sensor- und Reglermodell). Sie reagieren jedoch empfindlich auf die chemische Zusammensetzung der gemessenen Gase und werden daher als relative Druckmessmethode bezeichnet, d. h. sie bestimmen den Druck indirekt über die Wärmeleitfähigkeit des Gases.
