MKS GM50A Massenflussregler (MFC) Analoggesteuert, Messbereich 4 bis 200 sccm, 15-poliger D-Subminiatur-Anschluss, 4 VCR® Stecker.
MKS Teilenummer: GM50A013202RMM020. Dieser Massendurchflussregler MKS GM50A ist für Stickstoff ( N₂) oder ein gleichwertiges Gas kalibriert und hat einen Regelbereich von 4 bis 200 sccm. Er verfügt über einen 15-poligen D-Subminiatur-Analogstecker mit verbundenen Masseanschlüssen sowie 0-5 VDC-Ein- und Ausgangssignalen für den Durchfluss. Die Gasein- und -auslassanschlüsse sind Swagelok® 4 VCR®-Stecker. Die Ventildichtung ist stromlos geschlossen und besteht aus Teflon™. Typische Ansprechzeiten liegen im Bereich von 500 Millisekunden.
Swagelok®, VCR™ Swagelok® Company
Teflon-TM The Chemours Company FC, LLC. Swagelok® und VCR® sind eingetragene Warenzeichen der Swagelok Company. Vac Goop™ ist ein Warenzeichen der Swagelok Company. Ideal Vacuum Products ist kein autorisierter Vertriebspartner der Swagelok Company.
