Capteur de pression de vide à thermocouple Agient Varian 531, tube de mesure, 4 VCR® femelle SS, soudure laser
Le capteur à thermocouple Varian 531 fournit une indication précise et continue de la pression totale de 1 x 10⁻³ Torr à 2,0 Torr (1 x 10⁻³ mbar à 2,7 mbar). Conçu pour allier robustesse, fiabilité et performances exceptionnelles pour la mesure de la pression de dégrossissage et de pression d'entrée de fluide. Les manomètres à thermocouple Varian 531 constituent une solution économique pour la mesure de la pression. Ce modèle, en acier inoxydable et soudé au laser, offre une haute résistance aux vibrations.
Manomètres à vide à thermocouple
Les jauges de conductivité thermique reposent sur le principe que la conductivité thermique d'un gaz diminue avec la pression. Dans ce type de jauge, un filament est chauffé par le passage d'un courant électrique. Un thermocouple ou une sonde de température à résistance (RTD) permet ensuite de mesurer la température du filament. Cette température dépend de la vitesse à laquelle le filament cède sa chaleur au gaz environnant, et donc de sa conductivité thermique. Une variante courante est la jauge Pirani, qui utilise un unique filament de platine comme élément chauffant et sonde RTD. Ces jauges sont précises de 20 Torr à 10⁻³ Torr (selon le modèle de capteur et de contrôleur). Cependant, elles sont sensibles à la composition chimique des gaz mesurés et sont considérées comme une méthode de mesure de pression relative : elles déterminent la pression indirectement à partir de la conductivité thermique du gaz.
