Simulateur et tube de référence de manomètre à vide à thermocouple Agilent Varian 531.
Il s'agit d'un simulateur de jauge à thermocouple Agilent Varian 531 avec tube de référence. Il simule des pressions de 2,0 Torr et de 1 × 10⁻³ Torr. Le tube de référence est scellé sous vide à une pression inférieure ou égale à 5 × 10⁻⁶ Torr.
Manomètres à vide à thermocouple
Les jauges de conductivité thermique reposent sur le principe que la conductivité thermique d'un gaz diminue avec la pression. Dans ce type de jauge, un filament est chauffé par le passage d'un courant électrique. Un thermocouple ou une sonde de température à résistance (RTD) permet ensuite de mesurer la température du filament. Cette température dépend de la vitesse à laquelle le filament cède sa chaleur au gaz environnant, et donc de sa conductivité thermique. Une variante courante est la jauge Pirani, qui utilise un unique filament de platine comme élément chauffant et sonde RTD. Ces jauges sont précises de 20 Torr à 10⁻³ Torr (selon le modèle de capteur et de contrôleur). Cependant, elles sont sensibles à la composition chimique des gaz mesurés et sont considérées comme une méthode de mesure de pression relative : elles déterminent la pression indirectement à partir de la conductivité thermique du gaz.
