CTI Cryo-Torr CT-100 Cryopump 15k Array Kit
Solo kit di manutenzione
Si tratta di un array 15k sostitutivo per una pompa criogenica Edwards CTI Cryo-Torr CT-100. Contiene tutti i componenti necessari per sostituire l'array di carbone in una pompa CTI Cryo-Torr CT-100 Cryo, tra cui la piastra superiore e le guarnizioni di indio.
Le pompe Edwards CTI-Cryogenics Cryo-Torr CT-100 sono uno dei due componenti principali che compongono il sistema di pompaggio Cryo-Torr. Il secondo componente è il compressore (venduto anche su questo sito). La Cryo-Torr CT-100Cryopump fornisce un pompaggio rapido e pulito di tutti i gas nella gamma da 10-3 a 10-9 Torr. Le applicazioni standard includono rivestimento per semiconduttori, aerospaziale e sottovuoto, nonché ricerca e sviluppo. La criopompa funziona in base al principio che i gas possono essere condensati e mantenuti a pressioni di vapore estremamente basse, raggiungendo velocità e portate elevate. Questa pompa è un'unità altamente affidabile e robusta che richiede una manutenzione minima. Poiché la criopompa non espone al vuoto parti in movimento, fluidi operativi o pompe di prevuoto, viene eliminata la possibilità di contaminazione del sistema o del processo da parte della criopompa stessa. Le procedure di descrizione, installazione, rigenerazione e manutenzione sono completamente trattate nelle istruzioni di installazione, funzionamento e manutenzione della pompa Cryo Torr .pdf da scaricare di seguito.
