Sensore per manometro a termocoppia Agient Varian 531 per la misurazione della pressione del vuoto, 4 connettori femmina VCR® in acciaio inox, saldatura laser.
Il sensore a tubo termocoppia Varian 531 fornisce un'indicazione continua e precisa della pressione totale da 1 x 10⁻³ Torr a 2,0 Torr (da 1 x 10⁻³ mbar a 2,7 mbar). Sviluppato per combinare robustezza, affidabilità e prestazioni eccezionali nella misurazione della pressione di sgrossatura e di pre-scavo, il sensore a tubo termocoppia Varian 531 è un sensore di pressione economico. Il sensore a tubo termocoppia Varian 531 offre un'elevata resistenza alle vibrazioni; questo modello è realizzato in acciaio inossidabile e saldato al laser.
Manometri a vuoto a termocoppia
I manometri a conducibilità termica si basano sul fatto che la capacità di un gas di condurre calore diminuisce con la pressione. In questo tipo di manometro, un filamento di filo viene riscaldato facendovi passare una corrente elettrica. Una termocoppia o un termoresistenza (RTD) può quindi essere utilizzata per misurare la temperatura del filamento. Questa temperatura dipende dalla velocità con cui il filamento disperde calore nel gas circostante e, di conseguenza, dalla conducibilità termica. Una variante comune è il manometro Pirani, che utilizza un singolo filamento di platino sia come elemento riscaldante che come RTD. Questi manometri hanno una precisione da 20 Torr a 10⁻³ Torr (a seconda del modello di sensore e controller acquistato). Tuttavia, sono sensibili alla composizione chimica dei gas misurati e sono definiti metodi di misurazione della pressione relativa, ovvero determinano la pressione indirettamente dalla proprietà di conducibilità termica del mezzo gassoso.
