Simulatore e tubo di riferimento per manometro a vuoto a termocoppia Agilent Varian 531.
Questo è un simulatore di manometro a termocoppia Agilent Varian 531 con tubo di riferimento. Simula sia una pressione di 2,0 Torr che di 1 × 10⁻³ Torr. Il tubo di riferimento è sigillato in modo permanente con un vuoto interno a una pressione di <=5 × 10⁻⁶ Torr.
Manometri a vuoto a termocoppia
I manometri a conducibilità termica si basano sul fatto che la capacità di un gas di condurre calore diminuisce con la pressione. In questo tipo di manometro, un filamento di filo viene riscaldato facendovi passare una corrente elettrica. Una termocoppia o un termoresistenza (RTD) possono quindi essere utilizzati per misurare la temperatura del filamento. Questa temperatura dipende dalla velocità con cui il filamento disperde calore nel gas circostante e, di conseguenza, dalla conducibilità termica. Una variante comune è il manometro Pirani, che utilizza un singolo filamento di platino sia come elemento riscaldante che come RTD. Questi manometri hanno una precisione da 20 Torr a 10⁻³ Torr (a seconda del modello di sensore e controller acquistato). Tuttavia, sono sensibili alla composizione chimica dei gas misurati e sono definiti metodi di misurazione della pressione relativa, ovvero determinano la pressione indirettamente dalla proprietà di conducibilità termica del mezzo gassoso.
