Trasduttore di pressione del vuoto modulare MKS Granville Phillips 355 Micro-Ion ATM, display digitale, DeviceNet, filamento di iridio rivestito di ittria, 2,75 CF

Il modulo ATM Micro-Ion MKS Granville-Phillips 355 combina la collaudata tecnologia di misurazione a ionizzazione Micro-Ion con un sensore di dispersione termica Conductron miniaturizzato per fornire una misurazione accurata e continua della pressione, dal vuoto spinto all'atmosfera. Grazie ai suoi sensori a diaframma, questo prodotto è in grado di fornire una misurazione accurata della pressione assoluta fino alla pressione atmosferica, unitamente a un'indicazione precisa della pressione differenziale della camera a vuoto rispetto all'ambiente circostante. L'esclusivo design del sensore elimina gli effetti termici che possono influenzare le prestazioni del sensore di dispersione termica alle pressioni più elevate.

Questo piccolo modulo integra tutti e quattro i sensori e l'elettronica di controllo in un design modulare compatto, riducendo il numero di manometri necessari su una camera e minimizzando lo spazio di installazione richiesto. La misurazione della pressione su tutta la gamma è fornita tramite un'interfaccia digitale DeviceNet. Questa versione DeviceNet include setpoint configurabili per il controllo di processo, consentendo di assegnare i relè a qualsiasi pressione nell'intervallo di pressione del vuoto o a uno specifico valore di pressione differenziale.

I vantaggi includono:

• Misurazione continua della pressione da 1 × ^10⁻⁹ Torr di alto vuoto all'atmosfera.
• Misurazione di precisione della pressione differenziale in atmosfera.
• Elimina la necessità di interruttori atmosferici separati.
• Elimina la necessità di tre sensori separati.
• Il filamento del misuratore di ionizzazione in iridio rivestito di ittria aumenta il tempo di funzionamento delle apparecchiature.
• Attivazione e disattivazione automatica del misuratore di ionizzazione.
• Relè di setpoint configurabili per il controllo di processo.
• Gruppo indicatore sostituibile sul campo.
• Uscita digitale DeviceNet.

I vacuometri modulari rappresentano la soluzione ideale per applicazioni che non richiedono display e comandi sul pannello frontale. Questi moduli compatti, pratici, affidabili ed economici integrano l'elettronica di controllo direttamente sul vacuometro. L'involucro interamente metallico garantisce robustezza e un'elevata immunità ai disturbi elettrici.

I moduli Mini-Convectron utilizzano la più recente tecnologia elettronica per azionare il manometro Granville- ^{Phillips® Convectron®} . Il manometro Convectron è diventato uno standard di settore. Si tratta di una variante unica dei manometri a conducibilità termica, in cui la misurazione della pressione si basa sulla velocità di dispersione del calore da un filo sensore. A differenza dei tradizionali manometri a termocoppia e Pirani, che si basano solo sulla dispersione di calore per conduzione, i manometri Convectron sfruttano anche la dispersione di calore per convezione a pressioni più elevate. Ciò estende il campo di misurazione della pressione, accurato e ripetibile, fino alla pressione atmosferica.