Edwards APG200-M アクティブピラニ真空計 NW25、KF25、10-4 Torr、Sマッチング、非線形出力。PN: D1G1021150

Edwards APG200-Mアクティブピラニ真空ゲージは、NW25、KF25真空フランジを備え、設置しやすいコンパクトな設計で、非線形出力とユーザー交換可能なチューブセンサーを備えています。この新しいEdwardsゲージは、すべてのEdwards TIC、ADC、TAG計器コントローラ、およびその他のアクティブゲージコントローラおよびディスプレイと互換性があります。また、鉛フリー構造のため、CSAおよびC/US認証を取得しており、RoHSにも完全準拠しています。大気圧から3.75x10 ^-4までの圧力を測定できます。信号ケーブルとTIC真空ゲージコントローラは別売りです。標準のタングステン/レニウムフィラメントとNW25真空フランジを備えたこれらのEdwards APG200-Mアクティブピラニ真空ゲージのEdwards部品番号はD1G1021150です。

APG200には、Mシリーズ、LCシリーズ、MPシリーズの3つのバージョンがあります。Mシリーズは標準的なタングステン/レニウムフィラメントを搭載し、大気圧から^3.75x10-4 Torrまでの圧力を測定でき、一般的な用途に適しています。LCバージョンは耐腐食性のプラチナ/イリジウムフィラメントを搭載し、大気圧から^7.5x10-5 Torrまでの圧力を測定でき、腐食性用途にも適しています。MPシリーズはプラチナ/ロジウムフィラメントを搭載し、大気圧から^3.75x10-4 Torrまでの圧力を測定でき、一般的な用途に適しています。Edwards APG200シリーズの圧力計の取扱説明書は、以下のPDF形式で入手できます。

APG200はどの方向にも取り付け可能です。ただし、ゲージチューブは工場出荷時に窒素雰囲気下で垂直に個別に校正されています。選択したゲージの方向で正しい圧力表示を得るには、大気圧下で再校正する必要があります。エドワーズ社では、ゲージ内のプロセス微粒子や凝縮性蒸気の蓄積を最小限に抑えるため、ゲージチューブを垂直に取り付けることを推奨しています。APG200は窒素雰囲気下での使用を想定して校正されており、乾燥空気、酸素、一酸化炭素でも正しく読み取れます。その他のガス種では、正しい圧力値を得るためにガス換算が必要です。一般的なガスは、窒素、アルゴン、二酸化炭素、ヘリウム、クリプトン、ネオンです。

機能には以下が含まれます:

• コンパクトな筐体で信号ケーブルに簡単にアクセス可能
• センサーは150°C（300°F）まで加熱可能で、ユーザーが交換可能
• シンプルなプロセス制御とインターロックのための調整可能な設定ポイント
• リモートキャリブレーションが可能
• 圧力範囲 10 ^-4 Torr

ピラニゲージと対流強化ピラニゲージの背景
ピラニ真空計は、加熱されたワイヤの抵抗を測定して真空圧力を求める熱電対計と非常によく似た熱伝導率計に分類できます。ピラニ真空計は、加熱されたフィラメントがホイートストンブリッジ回路の一方のアームを形成する際の抵抗不均衡を測定するように設計されています。真空圧力が上昇すると、ガス分子がフィラメントから熱を奪い、圧力センサーの抵抗値が低下し、回路のバランスが崩れます。したがって、真空圧力はホイートストンブリッジ回路における圧力誘起不均衡から計算されます。熱電対真空計と同様に、分子衝突による熱伝導率は、0.001～1 Torrの圧力範囲において圧力に比例して増加します。しかし、圧力がさらに上昇して粘性流状態になると、熱除去は非線形になり、ガス同士の衝突によって分子が加熱されたワイヤに向かって再配向されます。分子は、センサーの外側の本体（熱シンク）に到達するまでに何度も衝突する必要があります。対流強化ピラニゲージは、センサー内部の対流を利用して、圧力測定範囲を大気圧まで拡張します。

ピラニ真空計は間接的な圧力測定センサーで、測定値はガスの種類によって異なります。重いガスは熱伝達率が低いこと、および対流強化型ピラニ真空計は N2 用に校正されている (基本的に空気と同じ校正) ことから注意が必要です。そのため、アルゴンなどの重いガスを真空システムに充填すると、危険な過圧状態になる可能性があります。真空システムのオペレーターが正しいガスの種類に合わせて真空計の表示値を修正しないと危険が生じます。たとえば、チャンバーがアルゴン 760 Torr のときに、N2 用に校正された標準の真空計が 24 Torr と表示した場合などです。オペレーターはチャンバーがまだ真空状態にあると勘違いし、システムを臨界過圧状態まで増加させ続けます。対流強化型ピラニ真空計が正しく取り付けられていない場合にも、別の誤差の原因となる可能性があります。市販されているセンサーのほとんどは、地面と平行に取り付ける必要があります。これにより、センサー内の慣性電流が設計された方向に流れ続けます (慣性強化ピラニ センサーが水平に取り付けられていない場合、20% 以上の誤差が簡単に発生する可能性があります)。

これらの対流強化型ピラニ圧力計を急速排気すると、数秒という短時間で大きな測定誤差が生じます。急速に排気されたガスが膨張すると、圧力センサーフィラメントからの熱除去は通常の対流ではなく、強制対流によって行われます。真空圧が急速に低下する間、ガスは膨張して冷却されますが、これは高温のセンサーワイヤから熱を除去する二次的な経路となります。対流強化型ピラニ圧力計は、システム排気中に最大1000 Torrの高圧を誤って表示することがあります。ガスの流れが止まると、圧力表示は再び実際の測定値に安定します。これらの理由から、対流強化型ピラニ圧力計は、動的な排気条件下での圧力変化の測定には適していません。総じて、対流強化型ピラニ圧力計は、大気圧から1x10-4 Torrまで測定でき、1 Torr未満の測定が最も正確で、コスト効率に優れた一般的な大まかな真空圧力計です。