HVA 高真空 HV 空気圧ゲート バルブ ISO-F DN63 フランジ、バイトン ゲートおよびボンネット シール、304 ステンレス鋼、PN: 11210-0253R。 ISO-63 ボルトダウン フランジ、M8 x 1.25 ネジ付き。内蔵リードスイッチ位置インジケーターが含まれています。 HVA 部品番号: 11210-0253R。これらの HVA ブランドの空気圧操作シリーズ 11000 ゲート バルブは米国製で、M8 x 1.25 ブラインドタップ穴付きの ISO-F DN 63 真空フランジを備えています。これらは高真空 (HV) に評価されており、DIN 28404 および ISO 1609 に記載されている真空技術規格に従っています。HVA 部品番号: 11210-0253R。 HVA の空気圧操作の真空ゲート バルブは、電源または空気圧の喪失時にバルブをロックした状態に保つポジティブ ロックオーバー センター機構を備えています。ゲート、ボンネット、ベローズシールはバイトンフッ素エラストマー (FKM) 材料で作られています。これらは耐食性 304 ステンレス鋼のゲートとバルブ本体で作られており、保守が必要になるまでの標準寿命は 100,000 サイクル (プロセスによって異なります) です。 HVA バルブ ボディの内部表面積は、真空バルブ業界で最も小さいものの 1 つです。本体とすべての主要な内部コンポーネントは、独自のプロセスを使用して 1100°C、1x10-6 Torr で真空炉でろう付けされており、接合部の完全性を最大限に確保し、動作中のガス放出を最小限に抑え、実質的な漏れや閉じ込め領域の可能性を排除し、本体の歪みを最小限に抑えます。従来の溶接バルブの場合。 ASA、ISO、または KF フランジを備えた HVA ゲート バルブは高真空用途向けに評価されており、O リングのガス透過性により到達圧力は 10-8 Torr の範囲に制限されます。 HVA ゲート バルブのヘリウム リーク レートは 1.5 x 10-10 Torr l/秒で、150 °C までベーク可能です (バルブが開いていても閉じていても)。これらの空気圧操作バルブには、外径 1/4 インチのチューブのプッシュ接続継手が含まれています。開位置および閉位置センサーが空気圧アクチュエータに組み込まれており、すべての HVA 空気圧ゲート バルブに標準装備されています。これらのオン/オフ スイッチを使用して、インジケータをアクティブにすることができます。ライト、またはより複雑または自動化された真空保護システムの制御に使用されます。空気圧バルブ用のソレノイドは、24 VDC および 120 VAC の種類があり、別売りされています。修理キットは、当社が取り扱うすべての HVA ゲート バルブで利用可能です。HVA ゲート バルブはよく使用されます。クライオ、ターボ、拡散、およびイオン高真空ポンプと組み合わせて、次のサイズの高真空および超高真空の種類が用意されています: クイック フランジ サイズ KF-16、KF-25、KF-40、および KF- 50 ISO LF フランジ付き ISO-63、-100、-160、-200、-250、-320、-400、および -500 サイズ ASA ANSI サイズ 2、4、および 6 インチ サイズ コンフラット (CF) 1.33、2.75、3.375 、4.5、6、8、10、12、13.25、14 インチのサイズ インストールマニュアルおよび操作説明書は、ダウンロードで入手できます。

HVA 高真空 HV 空気圧ゲート バルブ ISO-F DN100 フランジ、バイトン ゲートおよびボンネット シール、304 ステンレス鋼、PN: 11210-0403R。 ISO-100 ボルトダウン フランジ、M8 x 1.25 ネジ付き。内蔵リードスイッチ位置インジケーターが含まれています。 HVA 部品番号: 11210-0403R。これらの HVA ブランドの空気圧操作シリーズ 11000 ゲート バルブは米国製で、M8 x 1.25 ブラインドタップ穴付きの ISO-F DN 100 真空フランジを備えています。これらは高真空 (HV) に評価されており、DIN 28404 および ISO 1609 に記載されている真空技術規格に従っています。HVA 部品番号: 11210-0403R。 HVA の空気圧操作の真空ゲート バルブは、電源または空気圧の喪失時にバルブをロックした状態に保つポジティブ ロックオーバー センター機構を備えています。ゲート、ボンネット、ベローズシールはバイトンフッ素エラストマー (FKM) 材料で作られています。これらは耐食性 304 ステンレス鋼のゲートとバルブ本体で作られており、保守が必要になるまでの標準寿命は 100,000 サイクル (プロセスによって異なります) です。 HVA バルブ ボディの内部表面積は、真空バルブ業界で最も小さいものの 1 つです。本体とすべての主要な内部コンポーネントは、独自のプロセスを使用して 1100°C、1x10-6 Torr で真空炉でろう付けされており、接合部の完全性を最大限に確保し、動作中のガス放出を最小限に抑え、実質的な漏れや閉じ込め領域の可能性を排除し、本体の歪みを最小限に抑えます。従来の溶接バルブの場合。 ASA、ISO、または KF フランジを備えた HVA ゲート バルブは高真空用途向けに評価されており、O リングのガス透過性により到達圧力は 10-8 Torr の範囲に制限されます。 HVA ゲート バルブのヘリウム リーク レートは 1.5 x 10-10 Torr l/秒で、150 °C までベーク可能です (バルブが開いていても閉じていても)。これらの空気圧操作バルブには、外径 1/4 インチのチューブのプッシュ接続継手が含まれています。開位置および閉位置センサーが空気圧アクチュエータに組み込まれており、すべての HVA 空気圧ゲート バルブに標準装備されています。これらのオン/オフ スイッチを使用して、インジケータをアクティブにすることができます。ライト、またはより複雑または自動化された真空保護システムの制御に使用されます。空気圧バルブ用のソレノイドは、24 VDC および 120 VAC の種類があり、別売りされています。修理キットは、当社が取り扱うすべての HVA ゲート バルブで利用可能です。HVA ゲート バルブはよく使用されます。クライオ、ターボ、拡散、およびイオン高真空ポンプと組み合わせて、次のサイズの高真空および超高真空の種類が用意されています: クイック フランジ サイズ KF-16、KF-25、KF-40、および KF- 50 ISO LF フランジ付き ISO-63、-80、-100、-160、-200、-250、-320、-400、および -500 サイズ ASA ANSI サイズ 2、4、および 6 インチ サイズ コンフラット (CF) 1.33 、 2.75、3.375、4.5、6、8、10、12、13.25、14 インチ サイズ。インストール マニュアルと操作説明書はダウンロードで入手できます。

MKS R シリーズ ゲート バルブ ISO-F 100、DN100、空気圧、24 VDC ソレノイド、デュアル ポジション インジケータ スイッチ (N/O)、4 インチ ID、バイトン シール、ボルトダウン フランジ (M8 x 1.25)、ステンレス鋼ボディ。これらの MKS R シリーズ ゲート バルブは、半導体および一般真空アプリケーションの両方における粗引きポンプおよび粗引きラインの隔離用に最適化されています。これらの R シリーズ ゲート バルブは、1x10-7 Torr までの高真空 (HV) アプリケーションに最適で、空気圧インジケーターや位置インジケーターなどのオプションがあります。 R シリーズは、アクチュエータ シールにエラストマー シャフト シールを採用しており、粗引き真空用途向けのコスト効率の高い高価値パッケージで高性能を実現します。このリストは、24 VDC ソレノイド バルブとデュアル ポジション インジケータ スイッチ (ノーマル オープン) を含む空気圧エア アクチュエータを備えた ISO-100 ボルトダウン真空フランジ バージョンのものです。製品の特徴: 優れた温度均一性により、内面にコールドスポットが発生しません DN80 および DN100 > 200,000 サイクル DN160 > 100,000 サイクル DN80、DN100、および DN160mm サイズが利用可能 製品構成: バルブボア/フランジサイズ: DN100 材質: ステンレス鋼 作動: 空気圧シール材質: Viton/FKM リミット スイッチ: 両方のスイッチ通常開 (N/O) 磁気リード スイッチ: 定格電流 < 80mA ソレノイド: 24 VDC 加熱オプション: 105°C まで加熱可能 圧力範囲 (高真空 HV): 1x10-7 ～ 1200 Torr ( 1.3* 10-10 - 1.6 bar) 空気圧: 5.4 ±1.3 atm (80 ±20 psig) アクチュエーター シール: エラストマー シャフト シール - バイトン 側面から側面へのリーク レート: 1x10-9 atm*cc/秒 外部リーク レート: 1x10- 9 atm*cc/秒 最大デルタ圧力 - 動作時: 22.5 Torr (30 mbar) チャンバー側高最大デルタ圧力 - 閉時: 1.6 atm、いずれかの方向

MKS T2BA バタフライ排気スロットル バルブ、KF40、「F シール」 (フラッパー上のバイトン O リング)、低電力モーター (8 インチポンド)、105°C、RS232、+/-15VDC センサー電源付き (バラトロン用) ）。 MKS 部品番号: T2BA01K320003V210025。 MKS T2BA 排気スロットル バルブは、シンプルでありながら高度な圧力制御システムが必要な用途向けに特別に設計されています。 T2BA は、すべての制御、通信、ドライバー回路をスロットル バルブ アセンブリ内に統合しているため、別個の圧力制御電子モジュールを取り付ける必要がありません。独自のモデルベースの制御アルゴリズムと高速動作により、システムは最小限のオーバーシュートで迅速に設定点に到達し、オペレーターの介入なしで再現可能なプロセスレシピを保証します。製品の特徴: コンパクトな圧力制御システム - 統合されたオンボードコントローラー電子機器を備えたバルブ - 統合が簡単で、追加のケーブルやラックスペースは不要 高速構成が利用可能 (開閉まで 250 ミリ秒未満) - より速い設定値と流量からの回復および圧力摂動 - 高いツールスループットを実現 選択可能な高トルクドライブ - 過酷なプロセス条件で稼働時間を延長 レンジ自動切り替え機能付きデュアルチャンネル Baratron® センサー入力 - 広い動的圧力制御範囲をサポート - 高い圧力制御精度を実現 高度なモデルベースの圧力制御アルゴリズム- 設定点までの時間を最小限に抑えます - オペレーターの関与なしで再現可能なプロセスレシピを保証します 低コンダクタンスのソフトシールバージョンで利用可能 - 低流量でも高圧プロセスをサポート (Epi、RTP、SACVD など) - 「屋内排気」または大気環境に適していますアプリケーション 接続された Baratron 静電容量圧力計に電力を供給します (オプション、一部のモデル) T2BA 排気スロットル バルブは、フラッパー位置決めまたは圧力制御という 2 つの主要モードで動作でき、どちらも I/O インターフェイスを介してユーザーが起動できます。調整可能なセットアップ パラメータ、実行時動作、および診断情報はすべて、通信インターフェイスを通じて利用できます。 EtherCAT T2BA は EtherCAT 圧力計と完全な互換性があります。アナログ圧力計にはゲートウェイが必要です。下流圧力制御技術は広いダイナミックレンジを提供し、あらゆるタイプのポンプで動作し、高速応答を提供し、ほとんどの流出ガスに耐性があります。 「インテリジェント機器」コンセプトにより、システムの貴重なスペースが節約され、ノイズ耐性が向上し、タイムクリティカルなプロセスと校正情報、およびオンボード診断機能に簡単にアクセスできるようになります。 T2BA は、ダイレクトドライブ高速ステッピング モーターを利用します。バルブドライバーは高分解能の圧力制御を提供します。オプションの高トルク ダイレクト ドライブ モーターは稼働時間を延長し、予防保守サイクルを延長します。これは、わずか 1 時間のダウンタイムで数千ドルのコストがかかる可能性がある要求の厳しいプロセスにおいて大きな利点となります。 T2BA はギア付きバージョンも用意されており、最大のトルクを提供し、過酷な環境での長期間の動作を可能にします。T2BA バルブは、オプションで利用可能な MKS 外部ヒーターを使用して最大 200°C まで加熱可能です (シール材料の適切な選択が必要です)。 T2BA には独自の MKS 低コンダクタンス バージョンが用意されており、バルブ コンダクタンスを最小限に抑えるための O リングベースの設計に依存することなく、排気圧力制御、CVD、RTP などの大気アプリケーションでの高速圧力制御が可能になります。エンコーダベースの位置フィードバック システムが診断目的で提供されています。このバルブは、ほとんどのプロセスガスと互換性のある耐食性 316 ステンレス鋼で構成されており、内径 1 インチから 4 インチの標準 ISO フランジ スタイルで利用できます (カスタムベースで代替サイズも利用可能)。提供される標準シールは Viton® ですが、さまざまなプロセス化学薬品や加熱用途との互換性のために代替材料を指定することもできます。

MKS T2BA バタフライ排気スロットル バルブ、ISO100、ノンシール (O リングなし、0.003 インチ ラジアル ギャップ)、低出力モーター (8 インチポンド)、105 °C、バイトン (ボディ シール)、RS232、+/- 付き15VDC センサー電源 (バラトロン用). MKS 部品番号: T2BA04N220303V210025. MKS T2BA 排気スロットル バルブは、シンプルでありながら高度な圧力制御システムが必要なアプリケーション向けに特別に設計されています. T2BA は、すべての制御、通信、およびドライバー回路を統合していますスロットルバルブアセンブリ内に組み込まれているため、別個の圧力制御電子モジュールを取り付ける必要がなくなり、独自のモデルベースの制御アルゴリズムと高速動作により、システムは最小限のオーバーシュートで迅速に設定値に到達し、オペレータの介入なしに再現可能なプロセスレシピを保証します。製品の特徴: コンパクトな圧力制御システム - 統合されたオンボードコントローラー電子機器を備えたバルブ - 統合が簡単で、追加のケーブルやラックスペースは不要 高速構成が利用可能 (<250 ミリ秒、開閉まで) - より速い設定値と回復流量と圧力の変動 - 高いツールスループットを実現 選択可能な高トルクドライブ - 過酷なプロセス条件で稼働時間を延長 レンジ自動切り替え機能付きデュアルチャンネル Baratron® センサー入力 - 広い動的圧力制御範囲をサポート - 高い圧力制御精度を実現 高度なモデルベースの圧力制御アルゴリズム - 設定点までの時間を最小限に抑えます - オペレーターの介入なしで再現可能なプロセスレシピを保証します 低コンダクタンスのソフトシールバージョンが利用可能 - 低流量でも高圧プロセスをサポート (Epi、RTP、SACVD など) - 「住宅排気」または大気用途 接続された Baratron 静電容量圧力計 (オプション、一部のモデル) に電力を供給します。 T2BA 排気スロットル バルブは、フラッパー位置決めまたは圧力制御という 2 つの主要モードで動作でき、どちらも I/O インターフェイスを介してユーザーが起動できます。調整可能なセットアップ パラメータ、実行時動作、および診断情報はすべて、通信インターフェイスを通じて利用できます。 EtherCAT T2BA は EtherCAT 圧力計と完全な互換性があります。アナログ圧力計にはゲートウェイが必要です。下流圧力制御技術は広いダイナミックレンジを提供し、あらゆるタイプのポンプで動作し、高速応答を提供し、ほとんどの流出ガスに耐性があります。 「インテリジェント機器」コンセプトにより、システムの貴重なスペースが節約され、ノイズ耐性が向上し、タイムクリティカルなプロセスと校正情報、およびオンボード診断機能に簡単にアクセスできるようになります。 T2BA は、ダイレクトドライブ高速ステッピング モーターを利用します。バルブドライバーは高分解能の圧力制御を提供します。オプションの高トルク ダイレクト ドライブ モーターは稼働時間を延長し、予防保守サイクルを延長します。これは、わずか 1 時間のダウンタイムで数千ドルのコストがかかる可能性がある要求の厳しいプロセスにおいて大きな利点となります。 T2BA はギア付きバージョンも用意されており、最大のトルクを提供し、過酷な環境での長期間の動作を可能にします。T2BA バルブは、オプションで利用可能な MKS 外部ヒーターを使用して最大 200°C まで加熱可能です (シール材料の適切な選択が必要です)。 T2BA には独自の MKS 低コンダクタンス バージョンが用意されており、バルブ コンダクタンスを最小限に抑えるための O リングベースの設計に依存することなく、排気圧力制御、CVD、RTP などの大気アプリケーションでの高速圧力制御が可能になります。エンコーダベースの位置フィードバック システムが診断目的で提供されています。このバルブは、ほとんどのプロセスガスと互換性のある耐食性 316 ステンレス鋼で構成されており、内径 1 インチから 4 インチの標準 ISO フランジ スタイルで利用できます (カスタムベースで代替サイズも利用可能)。提供される標準シールは Viton® ですが、さまざまなプロセス化学薬品や加熱用途との互換性のために代替材料を指定することもできます。

HVA 高真空 HV 空気圧ゲート バルブ ISO-F DN80 フランジ、バイトン ゲートおよびボンネット シール、304 ステンレス鋼、PN: 11210-0303R。 ISO-80 ボルトダウン フランジ、M8 x 1.25 ネジ付き。内蔵リードスイッチ位置インジケーターが含まれています。 HVA 部品番号: 11210-0303R。これらの HVA ブランドの空気圧操作シリーズ 11000 ゲート バルブは米国製で、M8 x 1.25 のブラインドタップ穴が付いた ISO-F DN 80 真空フランジを備えています。これらは高真空 (HV) に対応しており、DIN 28404 および ISO 1609 に記載されている真空技術規格に準拠しています。HVA 部品番号: 11210-0303R。 HVA の空気圧操作の真空ゲート バルブは、電源または空気圧の喪失時にバルブをロックして閉じた状態に保つポジティブ ロックオーバー センター機構を備えています。ゲート、ボンネット、ベローズシールはバイトンフッ素エラストマー (FKM) 材料で作られています。これらは耐食性 304 ステンレス鋼のゲートとバルブ本体で作られており、保守が必要になるまでの標準寿命は 100,000 サイクル (プロセスによって異なります) です。 HVA バルブ ボディの内部表面積は、真空バルブ業界で最も小さいものの 1 つです。本体とすべての主要な内部コンポーネントは、独自のプロセスを使用して 1100°C、1x10-6 Torr で真空炉でろう付けされており、接合部の完全性を最大限に確保し、動作中のガス放出を最小限に抑え、実質的な漏れや閉じ込め領域の可能性を排除し、本体の歪みを最小限に抑えます。従来の溶接バルブの場合。 ASA、ISO、または KF フランジを備えた HVA ゲート バルブは高真空用途向けに評価されており、O リングのガス透過性により到達圧力は 10-8 Torr の範囲に制限されます。 HVA ゲート バルブのヘリウム リーク レートは 1.5 x 10-10 Torr l/秒で、150 °C までベーク可能です (バルブが開いていても閉じていても)。これらの空気圧操作バルブには、外径 1/4 インチのチューブのプッシュ接続継手が含まれています。開位置および閉位置センサーが空気圧アクチュエータに組み込まれており、すべての HVA 空気圧ゲート バルブに標準装備されています。これらのオン/オフ スイッチを使用して、インジケータをアクティブにすることができます。ライトや、より複雑または自動化された真空保護システムの制御に使用されます。空気圧バルブ用のソレノイドは、24 VDC および 120 VAC の種類があり、別売りされています。修理キットは、当社が取り扱うすべての HVA ゲート バルブで利用可能です。HVA ゲート バルブはよく使用されます。クライオ、ターボ、拡散、およびイオン高真空ポンプと組み合わせて、次のサイズの高真空および超高真空の種類が用意されています: クイック フランジ サイズ KF-16、KF-25、KF-40、および KF- 50 ISO LF フランジ付き ISO-63、-80、-100、-160、-200、-250、-320、-400、および -500 サイズ ASA ANSI サイズ 2、4、および 6 インチ サイズ コンフラット (CF) 1.33 、 2.75、3.375、4.5、6、8、10、12、13.25、14 インチ サイズ。インストール マニュアルと操作説明書はダウンロードで入手できます。

HVA 高真空 HV 空気圧ゲート バルブ ISO-F DN160 フランジ、バイトン ゲートおよびボンネット シール、304 ステンレス鋼、PN: 11210-0603R。 ISO-160 ボルトダウン フランジ、M10 x 1.50 ネジ。内蔵リードスイッチ位置インジケーターが含まれています。 HVA 部品番号: 11210-0603R。これらの HVA ブランドの空気圧操作シリーズ 11000 ゲート バルブは米国製で、M10 x 1.50 ブラインドタップ穴付きの ISO-F DN 160 真空フランジを備えています。これらは高真空 (HV) に評価されており、DIN 28404 および ISO 1609 に記載されている真空技術規格に準拠しています。HVA 部品番号: 11210-0603R。 HVA の空気圧操作の真空ゲート バルブは、電源または空気圧の喪失時にバルブをロックした状態に保つポジティブ ロックオーバー センター機構を備えています。ゲート、ボンネット、ベローズシールはバイトンフッ素エラストマー (FKM) 材料で作られています。これらは耐食性 304 ステンレス鋼のゲートとバルブ本体で作られており、保守が必要になるまでの標準寿命は 100,000 サイクル (プロセスによって異なります) です。 HVA バルブ ボディの内部表面積は、真空バルブ業界で最も小さいものの 1 つです。本体とすべての主要な内部コンポーネントは、独自のプロセスを使用して 1100°C、1x10-6 Torr で真空炉でろう付けされており、接合部の完全性を最大限に確保し、動作中のガス放出を最小限に抑え、実質的な漏れや閉じ込め領域の可能性を排除し、本体の歪みを最小限に抑えます。従来の溶接バルブの場合。 ASA、ISO、または KF フランジを備えた HVA ゲート バルブは高真空用途向けに評価されており、O リングのガス透過性により到達圧力は 10-8 Torr の範囲に制限されます。 HVA ゲート バルブのヘリウム リーク レートは 1.5 x 10-10 Torr l/秒で、150 °C までベーク可能です (バルブが開いていても閉じていても)。これらの空気圧操作バルブには、外径 1/4 インチのチューブのプッシュ接続継手が含まれています。開位置および閉位置センサーが空気圧アクチュエータに組み込まれており、すべての HVA 空気圧ゲート バルブに標準装備されています。これらのオン/オフ スイッチを使用して、インジケータをアクティブにすることができます。ライト、またはより複雑または自動化された真空保護システムの制御に使用されます。空気圧バルブ用のソレノイドは、24 VDC および 120 VAC の種類があり、別売りされています。修理キットは、当社が取り扱うすべての HVA ゲート バルブで利用可能です。HVA ゲート バルブはよく使用されます。クライオ、ターボ、拡散、およびイオン高真空ポンプと組み合わせて、次のサイズの高真空および超高真空の種類が用意されています: クイック フランジ サイズ KF-16、KF-25、KF-40、および KF- 50 ISO LF フランジ付き ISO-63、-100、-160、-200、-250、-320、-400、および -500 サイズ ASA ANSI サイズ 2、4、および 6 インチ サイズ コンフラット (CF) 1.33、2.75、3.375 、4.5、6、8、10、12、13.25、14 インチのサイズ インストールマニュアルおよび操作説明書は、ダウンロードで入手できます。

HVA 高真空 HV 空気圧ゲート バルブ ISO-F DN200 フランジ、バイトン ゲートおよびボンネット シール、304 ステンレス鋼、PN: 11210-0603R。 ISO-200 ボルトダウン フランジ、M10 x 1.50 ネジ。内蔵リードスイッチ位置インジケーターが含まれています。 HVA 部品番号: 11210-0803R。これらの HVA ブランドの空気圧操作シリーズ 11000 ゲート バルブは米国製で、M10 x 1.50 ブラインドタップ穴付きの ISO-F DN 200 真空フランジを備えています。これらは高真空 (HV) に評価されており、DIN 28404 および ISO 1609 に記載されている真空技術規格に従っています。HVA 部品番号: 11210-0803R。 HVA の空気圧操作の真空ゲート バルブは、電源または空気圧の喪失時にバルブをロックした状態に保つポジティブ ロックオーバー センター機構を備えています。ゲート、ボンネット、ベローズシールはバイトンフッ素エラストマー (FKM) 材料で作られています。これらは耐食性 304 ステンレス鋼のゲートとバルブ本体で作られており、保守が必要になるまでの標準寿命は 100,000 サイクル (プロセスによって異なります) です。 HVA バルブ ボディの内部表面積は、真空バルブ業界で最も小さいものの 1 つです。本体とすべての主要な内部コンポーネントは、独自のプロセスを使用して 1100°C、1x10-6 Torr で真空炉でろう付けされており、接合部の完全性を最大限に確保し、動作中のガス放出を最小限に抑え、実質的な漏れや閉じ込め領域の可能性を排除し、本体の歪みを最小限に抑えます。従来の溶接バルブの場合。 ASA、ISO、または KF フランジを備えた HVA ゲート バルブは高真空用途向けに評価されており、O リングのガス透過性により到達圧力は 10-8 Torr の範囲に制限されます。 HVA ゲート バルブのヘリウム リーク レートは 1.5 x 10-10 Torr l/秒で、150 °C までベーク可能です (バルブが開いていても閉じていても)。これらの空気圧操作バルブには、外径 1/4 インチのチューブのプッシュ接続継手が含まれています。開位置および閉位置センサーが空気圧アクチュエータに組み込まれており、すべての HVA 空気圧ゲート バルブに標準装備されています。これらのオン/オフ スイッチを使用して、インジケータをアクティブにすることができます。ライト、またはより複雑または自動化された真空保護システムの制御に使用されます。空気圧バルブ用のソレノイドは、24 VDC および 120 VAC の種類があり、別売りされています。修理キットは、当社が取り扱うすべての HVA ゲート バルブで利用可能です。HVA ゲート バルブはよく使用されます。クライオ、ターボ、拡散、およびイオン高真空ポンプと組み合わせて、次のサイズの高真空および超高真空の種類が用意されています: クイック フランジ サイズ KF-16、KF-25、KF-40、および KF- 50 ISO LF フランジ付き ISO-63、-100、-160、-200、-250、-320、-400、および -500 サイズ ASA ANSI サイズ 2、4、および 6 インチ サイズ コンフラット (CF) 1.33、2.75、3.375 、4.5、6、8、10、12、13.25、14 インチ サイズ インストールマニュアルおよび操作説明書は、ダウンロードで入手できます。

HVA 高真空 HV 空気圧ゲート バルブ ISO-F DN250 フランジ、バイトン ゲートおよびボンネット シール、304 ステンレス鋼、PN: 11210-1003R。 ISO-250 ボルトダウン フランジ、M10 x 1.50 ネジ付き。内蔵リードスイッチ位置インジケーターが含まれています。 HVA 部品番号: 11210-1003R。これらの HVA ブランドの空気圧操作シリーズ 11000 ゲート バルブは米国製で、M10 x 1.50 ブラインドタップ穴付きの ISO-F DN 250 真空フランジを備えています。これらは高真空 (HV) に評価されており、DIN 28404 および ISO 1609 に記載されている真空技術規格に従っています。HVA 部品番号: 11210-1003R。 HVA の空気圧操作の真空ゲート バルブは、電源または空気圧の喪失時にバルブをロックした状態に保つポジティブ ロックオーバー センター機構を備えています。ゲート、ボンネット、ベローズシールはバイトンフッ素エラストマー (FKM) 材料で作られています。これらは耐食性 304 ステンレス鋼のゲートとバルブ本体で作られており、保守が必要になるまでの標準寿命は 100,000 サイクル (プロセスによって異なります) です。 HVA バルブ ボディの内部表面積は、真空バルブ業界で最も小さいものの 1 つです。本体とすべての主要な内部コンポーネントは、独自のプロセスを使用して 1100°C、1x10-6 Torr で真空炉でろう付けされており、接合部の完全性を最大限に確保し、動作中のガス放出を最小限に抑え、実質的な漏れや閉じ込め領域の可能性を排除し、本体の歪みを最小限に抑えます。従来の溶接バルブの場合。 ASA、ISO、または KF フランジを備えた HVA ゲート バルブは高真空用途向けに評価されており、O リングのガス透過性により到達圧力は 10-8 Torr の範囲に制限されます。 HVA ゲート バルブのヘリウム リーク レートは 1.5 x 10-10 Torr l/秒で、150 °C までベーク可能です (バルブが開いていても閉じていても)。これらの空気圧操作バルブには、外径 1/4 インチのチューブのプッシュ接続継手が含まれています。開位置および閉位置センサーが空気圧アクチュエータに組み込まれており、すべての HVA 空気圧ゲート バルブに標準装備されています。これらのオン/オフ スイッチを使用して、インジケータをアクティブにすることができます。ライト、またはより複雑または自動化された真空保護システムの制御に使用されます。空気圧バルブ用のソレノイドは、24 VDC および 120 VAC の種類があり、別売りされています。修理キットは、当社が取り扱うすべての HVA ゲート バルブで利用可能です。HVA ゲート バルブはよく使用されます。クライオ、ターボ、拡散、およびイオン高真空ポンプと組み合わせて、次のサイズの高真空および超高真空の種類が用意されています: クイック フランジ サイズ KF-16、KF-25、KF-40、および KF- 50 ISO LF フランジ付き ISO-63、-100、-160、-200、-250、-320、-400、および -500 サイズ ASA ANSI サイズ 2、4、および 6 インチ サイズ コンフラット (CF) 1.33、2.75、3.375 、4.5、6、8、10、12、13.25、14 インチ サイズ インストールマニュアルおよび操作説明書は、ダウンロードで入手できます。

HVA 高真空 HV 空気圧ゲート バルブ ISO-F DN320 フランジ、バイトン ゲートおよびボンネット シール、304 ステンレス鋼、PN: 11210-1203R。 ISO-320 ボルトダウン フランジ、M12 x 1.75 ネジ付き。内蔵リードスイッチ位置インジケーターが含まれています。 HVA 部品番号: 11210-1203R。これらの HVA ブランドの空気圧操作シリーズ 11000 ゲート バルブは米国製で、M12 x 1.75 ブラインドタップ穴付きの ISO-F DN 320 真空フランジを備えています。これらは高真空 (HV) に評価されており、DIN 28404 および ISO 1609 に記載されている真空技術規格に従っています。HVA 部品番号: 11210-1203R。 HVA の空気圧操作の真空ゲート バルブは、電源または空気圧の喪失時にバルブをロックした状態に保つポジティブ ロックオーバー センター機構を備えています。ゲート、ボンネット、ベローズシールはバイトンフッ素エラストマー (FKM) 材料で作られています。これらは耐食性 304 ステンレス鋼のゲートとバルブ本体で作られており、保守が必要になるまでの標準寿命は 100,000 サイクル (プロセスによって異なります) です。 HVA バルブ ボディの内部表面積は、真空バルブ業界で最も小さいものの 1 つです。本体とすべての主要な内部コンポーネントは、独自のプロセスを使用して 1100°C、1x10-6 Torr で真空炉でろう付けされており、接合部の完全性を最大限に確保し、動作中のガス放出を最小限に抑え、実質的な漏れや閉じ込め領域の可能性を排除し、本体の歪みを最小限に抑えます。従来の溶接バルブの場合。 ASA、ISO、または KF フランジを備えた HVA ゲート バルブは高真空用途向けに評価されており、O リングのガス透過性により到達圧力は 10-8 Torr の範囲に制限されます。 HVA ゲート バルブのヘリウム リーク レートは 1.5 x 10-10 Torr l/秒で、150 °C までベーク可能です (バルブが開いていても閉じていても)。これらの空気圧操作バルブには、外径 1/4 インチのチューブのプッシュ接続継手が含まれています。開位置および閉位置センサーが空気圧アクチュエータに組み込まれており、すべての HVA 空気圧ゲート バルブに標準装備されています。これらのオン/オフ スイッチを使用して、インジケータをアクティブにすることができます。ライト、またはより複雑または自動化された真空保護システムの制御に使用されます。空気圧バルブ用のソレノイドは、24 VDC および 120 VAC の種類があり、別売りされています。修理キットは、当社が取り扱うすべての HVA ゲート バルブで利用可能です。HVA ゲート バルブはよく使用されます。クライオ、ターボ、拡散、およびイオン高真空ポンプと組み合わせて、次のサイズの高真空および超高真空の種類が用意されています: クイック フランジ サイズ KF-16、KF-25、KF-40、および KF- 50 ISO LF フランジ付き ISO-63、-100、-160、-200、-250、-320、-400、および -500 サイズ ASA ANSI サイズ 2、4、および 6 インチ サイズ コンフラット (CF) 1.33、2.75、3.375 、4.5、6、8、10、12、13.25、14 インチのサイズ インストールマニュアルおよび操作説明書は、ダウンロードで入手できます。

HVA 高真空 HV 空気圧ゲート バルブ ISO-F DN400 フランジ、バイトン ゲートおよびボンネット シール、304 ステンレス鋼、PN: 11212-1603R。 ISO-400 ボルトダウン フランジ、M12 x 1.75 ネジ付き。内蔵リードスイッチ位置インジケーターが含まれています。 HVA 部品番号: 11212-1603R。これらの HVA ブランドの空気圧操作シリーズ 11000 ゲート バルブは米国製で、M12 x 1.75 ブラインドタップ穴付きの ISO-F DN 400 真空フランジを備えています。これらは高真空 (HV) に評価されており、DIN 28404 および ISO 1609 に記載されている真空技術規格に準拠しています。HVA 部品番号: 11212-1603R。 HVA の空気圧操作の真空ゲート バルブは、電源または空気圧の喪失時にバルブをロックした状態に保つポジティブ ロックオーバー センター機構を備えています。ゲート、ボンネット、ベローズシールはバイトンフッ素エラストマー (FKM) 材料で作られています。これらは耐食性 304 ステンレス鋼のゲートとバルブ本体で作られており、保守が必要になるまでの標準寿命は 100,000 サイクル (プロセスによって異なります) です。 HVA バルブ ボディの内部表面積は、真空バルブ業界で最も小さいものの 1 つです。本体とすべての主要な内部コンポーネントは、独自のプロセスを使用して 1100°C、1x10-6 Torr で真空炉でろう付けされており、接合部の完全性を最大限に確保し、動作中のガス放出を最小限に抑え、実質的な漏れや閉じ込め領域の可能性を排除し、本体の歪みを最小限に抑えます。従来の溶接バルブの場合。 ASA、ISO、または KF フランジを備えた HVA ゲート バルブは高真空用途向けに評価されており、O リングのガス透過性により到達圧力は 10-8 Torr の範囲に制限されます。 HVA ゲート バルブのヘリウム リーク レートは 1.5 x 10-10 Torr l/秒で、150 °C までベーク可能です (バルブが開いていても閉じていても)。これらの空気圧操作バルブには、外径 1/4 インチのチューブのプッシュ接続継手が含まれています。開位置および閉位置センサーが空気圧アクチュエータに組み込まれており、すべての HVA 空気圧ゲート バルブに標準装備されています。これらのオン/オフ スイッチを使用して、インジケータをアクティブにすることができます。ライト、またはより複雑または自動化された真空保護システムの制御に使用されます。空気圧バルブ用のソレノイドは、24 VDC および 120 VAC の種類があり、別売りされています。修理キットは、当社が取り扱うすべての HVA ゲート バルブで利用可能です。HVA ゲート バルブはよく使用されます。クライオ、ターボ、拡散、およびイオン高真空ポンプと組み合わせて、次のサイズの高真空および超高真空の種類が用意されています: クイック フランジ サイズ KF-16、KF-25、KF-40、および KF- 50 ISO LF フランジ付き ISO-63、-100、-160、-200、-250、-320、-400、および -500 サイズ ASA ANSI サイズ 2、4、および 6 インチ サイズ コンフラット (CF) 1.33、2.75、3.375 、4.5、6、8、10、12、13.25、14 インチのサイズ インストールマニュアルおよび操作説明書は、ダウンロードで入手できます。

HVA 高真空 HV 空気圧ゲート バルブ ISO-F DN500 フランジ、バイトン ゲートおよびボンネット シール、304 ステンレス鋼、PN: 11212-2003R。 ISO-500 ボルトダウン フランジ、M12 x 1.75 ネジ付き。内蔵リードスイッチ位置インジケーターが含まれています。 HVA 部品番号: 11212-2003R。これらの HVA ブランドの空気圧操作シリーズ 11000 ゲート バルブは米国製で、M12 x 1.75 ブラインドタップ穴付きの ISO-F DN 500 真空フランジを備えています。これらは高真空 (HV) に評価されており、DIN 28404 および ISO 1609 に記載されている真空技術規格に従っています。HVA 部品番号: 11212-2003R。 HVA の空気圧操作の真空ゲート バルブは、電源または空気圧の喪失時にバルブをロックした状態に保つポジティブ ロックオーバー センター機構を備えています。ゲート、ボンネット、ベローズシールはバイトンフッ素エラストマー (FKM) 材料で作られています。これらは耐食性 304 ステンレス鋼のゲートとバルブ本体で作られており、保守が必要になるまでの標準寿命は 100,000 サイクル (プロセスによって異なります) です。 HVA バルブ ボディの内部表面積は、真空バルブ業界で最も小さいものの 1 つです。本体とすべての主要な内部コンポーネントは、独自のプロセスを使用して 1100°C、1x10-6 Torr で真空炉でろう付けされており、接合部の完全性を最大限に確保し、動作中のガス放出を最小限に抑え、実質的な漏れや閉じ込め領域の可能性を排除し、本体の歪みを最小限に抑えます。従来の溶接バルブの場合。 ASA、ISO、または KF フランジを備えた HVA ゲート バルブは高真空用途向けに評価されており、O リングのガス透過性により到達圧力は 10-8 Torr の範囲に制限されます。 HVA ゲート バルブのヘリウム リーク レートは 1.5 x 10-10 Torr l/秒で、150 °C までベーク可能です (バルブが開いていても閉じていても)。これらの空気圧操作バルブには、外径 1/4 インチのチューブのプッシュ接続継手が含まれています。開位置および閉位置センサーが空気圧アクチュエータに組み込まれており、すべての HVA 空気圧ゲート バルブに標準装備されています。これらのオン/オフ スイッチを使用して、インジケータをアクティブにすることができます。ライト、またはより複雑または自動化された真空保護システムの制御に使用されます。空気圧バルブ用のソレノイドは、24 VDC および 120 VAC の種類があり、別売りされています。修理キットは、当社が取り扱うすべての HVA ゲート バルブで利用可能です。HVA ゲート バルブはよく使用されます。クライオ、ターボ、拡散、およびイオン高真空ポンプと組み合わせて、次のサイズの高真空および超高真空の種類が用意されています: クイック フランジ サイズ KF-16、KF-25、KF-40、および KF- 50 ISO LF フランジ付き ISO-63、-100、-160、-200、-250、-320、-400、および -500 サイズ ASA ANSI サイズ 2、4、および 6 インチ サイズ コンフラット (CF) 1.33、2.75、3.375 、4.5、6、8、10、12、13.25、14 インチ サイズ インストールマニュアルおよび操作説明書は、ダウンロードで入手できます。