MKS R シリーズ ゲート バルブ ISO-F 100、DN100、空気圧、24 VDC ソレノイド、デュアル ポジション インジケータ スイッチ (N/O)、4 インチ ID、バイトン シール、
ボルト締めフランジ (M8 x 1.25)、ステンレス鋼ボディ。これらの MKS R シリーズ ゲート バルブは、半導体および一般真空アプリケーションの両方における粗引きポンプおよび粗引きラインの隔離用に最適化されています。これらの R シリーズ ゲート バルブは、1x10
-7 Torr までの高真空 (HV) アプリケーションに適しており、空気圧インジケーターや位置インジケーターなどのオプションがあります。 R シリーズは、アクチュエータ シールにエラストマー シャフト シールを採用しており、粗引き真空用途向けのコスト効率の高い高価値パッケージで高性能を実現します。このリストは、24 VDC ソレノイド バルブとデュアル ポジション インジケータ スイッチ (ノーマル オープン) を含む空気圧エア アクチュエータを備えた ISO-100 ボルトダウン真空フランジ バージョンのものです。
製品の特徴：
- 優れた温度均一性により、内面にコールドスポットが発生しません
- DN80 および DN100 > 200,000 サイクル
- DN160 > 100,000 サイクル
- DN80、DN100、DN160mm サイズをご用意
製品構成:
- バルブボア/フランジサイズ: DN100
- 材質: ステンレス鋼
- 作動: 空気圧
- シール材質：バイトン/FKM
- リミットスイッチ: 両方のスイッチが通常開 (N/O)
- 磁気リードスイッチ: 定格電流 < 80mA
- ソレノイド：DC24V
- 加熱オプション: 105°Cまで加熱可能
- 圧力範囲 (高真空 HV): 1x10-7 ～ 1200 Torr (1.3* 10-10 ～ 1.6 bar)
- 空気圧: 5.4 ±1.3 atm (80 ±20 psig)
- アクチュエーターシール: エラストマーシャフトシール - バイトン
- 側面から側面へのリーク率: 1x10-9 atm*cc/秒
- 外部リーク率: 1x10-9 atm*cc/秒
- 最大デルタ圧力 - 動作時: 22.5 Torr (30 mbar) チャンバー側高
- 最大デルタ圧力 - 閉: 1.6 atm、両方向
