これらの中型Ideal Vacuum Super-Seal空気圧ベローズ90°角度バルブには、外径3インチの溶接可能なチューブ入口および出口ポートがあり、さまざまなタイプの入口および出口ポートフランジでカスタマイズするのに最適です。これらは主に高真空範囲（10 ^-8 Torr）での使用向けに設計されており、リーク率は10 ^-9 Torr l/s（He）ですが、60～80 psiの正圧まで使用できます。これらのバルブは、304Lステンレス鋼のバルブ本体とメカニズム、アルミニウムアクチュエータ、およびVitonベローズシートOリングシールで構成されています。スーパーシールバルブは、100°Cまでベーキング可能です（バルブ本体のみ）。これらのバルブは、どの方向にも取り付けることができます。

これらの中型スーパーシールバルブは、開閉に空気を必要とします。スプリングリターン機構がないため、自動的に閉じることはありません。60～80psiの範囲の少量の乾燥した圧縮空気が必要です。スプリングによる自動閉鎖機構がないため、電源または空気供給が失われた場合にチャンバー内の真空を維持する故障保護機能はありません。

バルブの開閉に必要な空気流量は、（中）複動式電動ソレノイドによって制御されます。ソレノイド電圧は、12 VDC、24 VDC、110 VAC、220 VACの4種類から選択できます。

スーパーシールバルブには、機械式リードスイッチと2種類のトランジスタタイプ（NPNおよびPNP）を含む3種類の位置表示センサーが用意されています。各センサーにはLEDが付いており、バルブの状態（開状態または閉状態）を視覚的に確認できます。これらのセンサーは、補助装置のスイッチ操作やトリガーにも使用できます。

Super-Seal バルブ ファミリには、3/4 インチ OD チューブ (KF-16) から 10 インチ OD チューブ (ISO-K 250) までの溶接可能チューブ、KF、ISO-K、および Conflat (CF) フランジ オプションが含まれており、直角 (90°) およびインライン バージョンも多数用意されています。

これらのバルブは優れた価値と極めて高い信頼性を備えており、半導体製造、プラズマ物理研究、原子核加速器などの用途に適しています。真空プロセスオートメーションの主要コンポーネントであり、平均故障時間（MTTF）は100万サイクル以上です。

ソレノイドおよび位置表示センサーは別売りです。

Ideal Vacuum Super-Seal シリーズの空気圧ベローズ バルブおよびアクセサリに関する詳細な情報については、以下の技術仕様を参照し、ユーザー マニュアルをダウンロードしてください。