これらの中型 Ideal Vacuum Super-Seal 空気圧ベローズ 90° アングルバルブは、外径 3 インチの溶接可能なチューブ入口および出口ポートを備えているため、さまざまなタイプの入口および出口ポートフランジでカスタマイズするのに最適です。主に高真空範囲 (10 ^-8 Torr) での使用を想定して設計されており、リーク率は 10 ^-9 Torr l/s (He) ですが、最大 15 psi の正圧まで使用できます。これらのバルブは、304L ステンレス鋼製のバルブ本体と機構、アルミニウム製アクチュエータ、およびバイトン製ベローズシート O リングシールで構成されています。Super-Seal バルブは、100℃ までベーキング可能です (バルブ本体のみ)。これらのバルブは、どの方向にも取り付けることができます。

これらの中型スーパーシールバルブは、開閉に空気が必要です。スプリングリターン機構がないため、自動的に閉じることはありません。60～80psiの低容量で乾燥した圧縮空気が必要です。自動スプリング閉鎖機構がないため、電源や空気供給が途絶えた場合でもチャンバーの真空状態を維持するための故障保護機能は提供できません。

バルブの開閉に必要な空気の流れは、（中型）複動式の電気駆動ソレノイドによって制御されます。ソレノイドの電圧は、12VDC、24VDC、110VAC、220VACの4種類から選択可能です。

スーパーシールバルブには、機械式リードスイッチと2種類のトランジスタ（NPN型とPNP型）を含む3種類の位置表示センサーが用意されています。各センサーにはLEDが搭載されており、バルブの状態（開閉状態）を視覚的に確認できます。これらのセンサーは、補助機器のスイッチングやトリガーにも使用できます。

スーパーシールバルブシリーズには、溶接可能なチューブ、KF、ISO-K、およびコンフラット（CF）フランジのオプションがあり、外径3/4インチのチューブ（KF-16）から外径10インチのチューブ（ISO-K 250）まで対応しています。また、多くの製品は直角（90°）タイプとインラインタイプが用意されています。

これらのバルブはコストパフォーマンスに優れ、極めて高い信頼性を誇るため、半導体製造、プラズマ物理学研究、原子力加速器などの用途に最適です。真空プロセス自動化における主要コンポーネントであり、平均故障間隔（MTTF）は100万サイクル以上です。

ソレノイドと位置表示センサーは別売りです。

技術仕様については下記をご覧ください。また、Ideal Vacuum Super-Sealシリーズの空気圧ベローズバルブおよび付属品に関する詳細情報については、ユーザーマニュアルをダウンロードしてください。