理想的な真空スーパーシール Conflat CF 4.5 インチ UHV 90° 直角手動ベローズ バルブ、スルー ホール回転可能フランジ、銅製ボンネット シール。これは手動で操作する 90° 直角 Ideal Vacuum Super-Seal ベローズ バルブで、入口ポートと出口ポートに Conflat CF 4.5 インチ (4-1/2 インチ) フランジが付いています。Conflat フランジ付き Super-Seal バルブには回転可能なフランジがあり、真空ラインへの接続を最適化します。このバルブは超高真空用 (10 -10 Torr) として定格されており、60 ~ 80 psig の正圧範囲まで使用できます。これらの Super-Seal バルブのリーク レートは 10 -11 Torr l/s (He) です。すべての超高真空定格 Super-Seal バルブでは、バルブ本体とメカニズムに 304L ステンレス鋼、ボンネット シールに OFHC 銅ガスケット、および Viton® ポペット シール O リングが使用されています。これらのバルブは低摩擦でポリマー エラストマー表面の摩耗がなく、何千サイクルにもわたる繰り返しのシール動作が可能です。スーパーシールバルブは高いコンダクタンス性能を備え、排気ガス流量を最大化します。これらのバルブは150℃(Viton Oリングによる制限あり)までベーキング可能で、最大差圧15psigまで耐えることができます。また、あらゆる方向に取り付け可能です。
手動操作式スーパーシールベローズバルブは、自動化が不要な場合に最適なソリューションです。同様の空気圧式ベローズバルブに比べて大幅に安価で、迅速に導入できます。手動ベローズバルブは、粗引きや高真空フォアラインで頻繁に使用され、チャンバーベントバルブとしても優れています。Ideal Vacuumの手動ベローズスーパーシールバルブは、半導体製造、プラズマ物理学研究、原子核加速器など、幅広い用途で使用されています。
仕様と寸法データについてはパンフレットをご覧ください。Ideal Vacuum Super-Sealシリーズの手動操作式ベローズバルブとアクセサリに関する詳細は、ユーザーマニュアルをダウンロードしてご覧ください。また、自動化が必要な場合には、Super-Sealソレノイド操作式空気圧ベローズバルブも豊富に取り揃えています。