これは、入口および出口ポートに Conflat CF 4.5インチ (4-1/2インチ) フランジを備えた、手動操作式の 90° 直角 Ideal Vacuum Super-Seal ベローズバルブです。Conflat フランジ付き Super-Seal バルブは、真空ラインへの最適な接続のために回転可能なフランジを備えています。このバルブは超高真空 (10 ^-10 Torr) での使用が想定されており、最大 15 psig の正圧範囲で使用できます。これらの Super-Seal バルブのリーク率は 10 ^-11 Torr l/s (He) です。すべての超高真空定格 Super-Seal バルブは、バルブ本体と機構に 304L ステンレス鋼、ボンネットシールに OFHC 銅ガスケット、ポペットシール O リングに Viton® を使用しています。これらのバルブは、ポリマーエラストマー表面の摩擦が少なく摩耗がないため、数千サイクルにわたって繰り返しシール動作が可能です。Super-Seal バルブは、排気ガス流量を最大化するために高い伝導性を提供します。これらのバルブは150℃までの加熱処理が可能で（バイトン製Oリングの制限による）、最大15psigの差圧に耐えることができます。また、どの方向にも取り付け可能です。

手動操作式のスーパーシールベローズバルブは、自動化が不要な場合に最適なソリューションです。同様の空気圧式ベローズバルブに比べて、価格が大幅に安く、設置も迅速です。手動ベローズバルブは、粗引き工程や高真空前処理ラインで頻繁に使用され、チャンバーの排気バルブとしても最適です。Ideal Vacuum社の手動ベローズ式スーパーシールバルブは、半導体製造、プラズマ物理学研究、原子力加速器など、幅広い用途で使用されています。

仕様および寸法データについては、パンフレットをご覧ください。手動操作式ベローズバルブおよびアクセサリであるIdeal Vacuum Super-Sealシリーズの詳細については、ユーザーマニュアルをダウンロードしてください。自動化が必要な場合には、Super-Sealソレノイド式空気圧ベローズバルブシリーズもご用意しております。