これらの小型のIdeal Vacuum Super-Seal空気圧ベローズインラインバルブは、KF-16の入口および出口ポートを備えています。主に高真空領域（ ^10⁻⁸ Torr）での使用を想定して設計されており、リーク率は^10⁻⁹ Torr l/s（He）ですが、15 psiの正圧まで使用できます。これらのバルブは、304Lステンレス鋼製のバルブ本体と機構、アルミニウム製アクチュエータ、およびバイトン製ベローズシートOリングシールで構成されています。Super-Sealバルブは、100℃までベーキング可能です（バルブ本体のみ）。これらのバルブは、どの方向にも取り付けることができます。

これらの小型スーパーシールバルブは、開くのに空気が必要で、スプリング式の閉鎖機構を備えています。60～80psiの低容量で乾燥した圧縮空気が必要です。自動的に閉じるため、安全弁として有用であり、停電や空気供給の喪失時にチャンバーの真空状態を維持するための故障保護機能を提供します。

バルブを開閉するための空気流量は、単動式の電気駆動ソレノイドによって制御されます。ソレノイドの電圧は、12VDC、24VDC、110VAC、220VACの4種類から選択可能です。

スーパーシールバルブには、機械式リードスイッチと2種類のトランジスタ（NPN型とPNP型）を含む3種類の位置表示センサーが用意されています。各センサーにはLEDが搭載されており、バルブの状態（開閉状態）を視覚的に確認できます。これらのセンサーは、補助機器のスイッチングやトリガーにも使用できます。

スーパーシールバルブシリーズには、溶接可能なチューブ、KF、ISO-K、およびコンフラット（CF）フランジのオプションがあり、外径3/4インチのチューブ（KF-16）から外径10インチのチューブ（ISO-K 250）まで対応しています。また、多くの製品は直角（90°）タイプとインラインタイプが用意されています。

これらのバルブはコストパフォーマンスに優れ、極めて高い信頼性を誇るため、半導体製造、プラズマ物理学研究、原子力加速器などの用途に最適です。真空プロセス自動化における主要コンポーネントであり、平均故障間隔（MTTF）は100万サイクル以上です。

ソレノイドと位置表示センサーは別売りです。

技術仕様については下記をご覧ください。また、Ideal Vacuum Super-Sealシリーズの空気圧ベローズバルブおよび付属品に関する詳細情報については、ユーザーマニュアルをダウンロードしてください。