Ideal Vacuum Super-Seal 製小型空気圧ベローズ90°アングルバルブは、KF-40の入口ポートと出口ポートを備えています。主に高真空領域（10 ^-8 Torr）での使用を想定して設計されており、リークレートは10 ^-9 Torr l/s（He）ですが、60～80 psiの正圧まで使用できます。これらのバルブは、304Lステンレス鋼製のバルブ本体と機構、アルミニウム製アクチュエータ、およびVitonベローズシートOリングシールで構成されています。Super-Sealバルブは、バルブ本体のみで100°Cまでベーキング可能です。これらのバルブは、あらゆる方向に取り付け可能です。

これらの小型スーパーシールバルブは、開くために空気を必要とし、スプリング式の閉鎖機構を備えています。60～80psiの範囲の少量の乾燥した圧縮空気が必要です。自動的に閉じるため、安全弁として有用であり、電源や空気の供給が失われた場合でもチャンバー内の真空を維持する故障保護を提供します。

バルブを開くための空気の流れは、単動式の電動ソレノイドによって制御されます。ソレノイド電圧は、12 VDC、24 VDC、110 VAC、220 VACの4種類から選択できます。

スーパーシールバルブには、機械式リードスイッチと2種類のトランジスタタイプ（NPNおよびPNP）を含む3種類の位置表示センサーが用意されています。各センサーにはLEDが付いており、バルブの状態（開状態または閉状態）を視覚的に確認できます。これらのセンサーは、補助装置のスイッチ操作やトリガーにも使用できます。

Super-Seal バルブ ファミリには、3/4 インチ OD チューブ (KF-16) から 10 インチ OD チューブ (ISO-K 250) までの溶接可能なチューブ、KF、ISO-K、および Conflat (CF) フランジ オプションが含まれており、多くの製品が直角 (90°) およびインライン バージョンで利用できます。

これらのバルブは優れた価値と極めて高い信頼性を備えており、半導体製造、プラズマ物理学研究、原子核加速器などの用途に適しています。真空プロセスオートメーションの主要コンポーネントであり、平均故障時間（MTTF）は100万サイクル以上です。

ソレノイドおよび位置表示センサーは別売りです。

Ideal Vacuum Super-Seal シリーズの空気圧ベローズ バルブおよびアクセサリに関する詳細な情報については、以下の技術仕様を参照し、ユーザー マニュアルをダウンロードしてください。