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Ideal Spectroscopy社のSpectraJet™シングルパルス放電ジェットノズルは、回転冷却された超音速分子ビーム中でラジカル、過渡分子、および反応中間体を生成するための、研究実績のある光源です。SpectraJetは、高速パルスバルブ、放電部、および超音速膨張ノズルをコンパクトなアセンブリに統合し、真空チャンバー内への設置用に設計されています。
運転中、選択された化学前駆体の微量濃度が、アルゴンやヘリウムなどの高圧不活性緩衝ガス中に取り込まれる。内蔵されたパルスバルブは、放電部を通して短く制御されたガスパルスを供給し、そこで正確なタイミングで電気放電が行われ、ガスが真空チャンバー内に膨張する直前に前駆体が断片化または解離される。
急速な自由噴流膨張により、新たに生成された分子種は低い回転温度まで冷却され、ノズル下流での衝突や二次反応が最小限に抑えられます。こうして得られるパルス状の分子ビームは、レーザー誘起蛍光（LIF）、分散蛍光（DF）、発光分光法、およびその他の気相分子分光法に最適です。
SpectraJetは、単一の前駆体、または前駆体と緩衝ガスを混合した混合物から目的の分子種を生成できる実験に最適な装置です。放電タイミング、バルブタイミング、前駆体濃度、緩衝ガスの選択、および背圧はすべて、対象となる特定の分子に合わせて最適化できます。
放電部は、 Ideal Spectroscopy社製パルス放電ドライバPDD-100によって駆動されます。TTL互換のトリガー機能により、放電をパルスバルブ、レーザー、検出器、および実験室のタイミングシステムと正確に同期させることができます。高電圧出力は、SHVケーブルと適切な真空フィードスルーを介してノズル電極アセンブリに供給されます。
SpectraJetは、個々のバルブ、電極、絶縁部品、ノズル、高電圧接続部からパルス放電源を組み立てる従来の方法に代わる、実用的で再現性の高いソリューションを研究室に提供します。真空チャンバーの設置から反応性種の生成、分光データの収集までを効率的に進めたい研究者向けに設計されています。
カスタム材料科学および表面処理アプリケーション
SpectraJet™およびTwinJet™プラットフォームは、分子分光法にとどまらず、真空チャンバー内への気体前駆体および反応性種の時間制御された供給、活性化、混合、または指向性膨張を必要とする実験的な材料科学アプリケーションにも応用可能です。潜在的な研究アプリケーションとしては、パルス状および反応性分子ビーム実験、ガス表面反応研究、前駆体スクリーニング、ラジカル支援表面処理、薄膜およびコーティング開発、ナノ粒子またはクラスター形成、特殊なガス源、ハイブリッド、またはプラズマ支援エピタキシー研究などが挙げられます。
独立制御可能なTwinJet™構成は、2つの前駆体がノズル出口付近で活性化または混合されるまで隔離された状態を維持する必要がある場合に特に有効です。成膜システムは、動作圧力、ガス負荷、基板形状、動作温度、材料適合性、ビーム距離、プロセス制御要件などにおいて大きく異なるため、これらの製品はそれぞれの用途に合わせて評価および構成する必要があります。
Ideal Vacuum社は、新しい真空処理および先端材料研究用途向けに、カスタム設計の真空源、ノズル、電極、バルブ、取り付け部、フィードスルー、加熱、冷却、および制御システムの設計依頼を歓迎します。
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