MKS GM50A マスフローコントローラ (MFC) アナログ制御、範囲 10 ~ 500 sccm、15 ピン D-sub ミニチュア コネクタ、4 VCR® オス。
MKS部品番号:GM50A013502RMM020。このMKS GM50Aマスフローコントローラは、窒素ガスまたは同等ガス用に校正されており、制御範囲は10~500 sccmです。15ピンDサブミニチュアアナログコネクタ(接地付き)を備え、流量の入出力信号は0~5VDCです。ガス入口および出口継手はSwagelok® 4 VCR®オス型です。バルブシールは通常閉状態で、テフロン™製です。標準的な応答時間は約500ミリ秒です。
Swagelok®、VCR-TM Swagelok®社
テフロン™ ケマーズ社 FC, LLC. Swagelok®およびVCR®は、Swagelok社の登録商標です。Vac Goop™は、Swagelok社の商標です。Ideal Vacuum Productsは、Swagelok社の正規販売代理店ではありません。