MKS Granville-Phillips 355 マイクロイオン ATM モジュラー真空圧力トランスデューサー、デジタル表示 Torr 読み取り、DeviceNet、イットリアコーティングイリジウムフィラメント、2.75 インチ CF 入口
1 × 10⁻⁹ Torrから大気圧までの圧力測定
MKS Granville-Phillips 355マイクロイオンATMモジュールは、実績のあるマイクロイオンイオン化圧力計技術と小型コンダクトロン熱損失センサーを組み合わせることで、高真空から大気圧まで、正確かつ連続的な圧力測定を実現します。ダイヤフラムセンサーを採用したこの製品は、大気圧までの正確な絶対圧力測定に加え、真空チャンバーと周囲圧力の差圧を精密に表示できます。独自のセンサー設計により、高圧下で熱損失センサーの性能に影響を与える可能性のある熱効果を排除しています。
この小型モジュールは、4つのセンサーと制御電子機器をコンパクトなモジュール設計に統合しており、チャンバーに必要なゲージの数を減らし、設置スペースを最小限に抑えます。全範囲の圧力測定は、DeviceNetデジタルインターフェースを介して行われます。このDeviceNetバージョンには、プロセス制御用の設定可能な設定値が含まれており、リレーを真空圧力範囲全体にわたる任意の圧力、または特定の差圧値に割り当てることができます。
メリットには以下が含まれます。- 1 × 10⁻⁹ Torrの高真空から大気圧までの連続圧力測定。
- 大気圧下における高精度差圧測定。
- 個別の大気スイッチが不要になります。
- 3つの別々のセンサーが不要になります。
- イットリアコーティングされたイリジウムイオン化ゲージフィラメントは、装置の稼働時間を向上させます。
- イオン化ガスゲージの自動起動および停止機能。
- プロセス制御用の設定可能な設定値リレー。
- 現場で交換可能なゲージアセンブリ。
- DeviceNetデジタル出力。
モジュール式真空計は、前面パネルの表示や操作部を必要としない用途に最適なソリューションです。これらのコンパクトで使いやすく、信頼性が高く、コスト効率にも優れたモジュールは、制御回路が真空計本体に直接搭載されています。オールメタル製の筐体は堅牢で、電気ノイズに対する高い耐性を備えています。
ミニコンベクトロンモジュールは、最新の電子技術を用いてグランビル・フィリップス
®コンベクトロン
®圧力計を動作させます。コンベクトロン圧力計は業界標準となっています。これは、センサーワイヤからの熱損失率に基づいて圧力を測定する、熱伝導式圧力計の独自のバリエーションです。伝導による熱損失のみに依存する従来の熱電対やピラニ圧力計とは異なり、コンベクトロン圧力計は高圧下での対流による熱損失も利用します。これにより、正確で再現性の高い圧力測定範囲が大気圧まで広がります。
