MKS HPS 317 対流強化ピラニ真空センサー Con flat CF 2.75 インチ。 PN: 103170014SH

MKS HPS® 317 対流強化型ピラニ センサーは、非常に低コストで信頼性の高い安定した圧力測定を提供し、MKS 947 対流強化型ピラニ ゲージ コントローラーと互換性があります。真空にさらされる材料はステンレス鋼、ニッケル、ガラス、プラチナのみであるため、このセンサーは幅広いプロセスガスと互換性があり、特に UHV アプリケーションに適しています。プラチナ フィラメントは、対流センサーのより高い測定範囲全体にわたって読み取り値の変動を効果的に排除します。 317 センサーは熱電対センサーよりも正確で、より広い圧力範囲にわたって測定し、プロセス圧力の変化により迅速に応答します。対流強化型ピラニ センサーの測定上限は、従来のピラニ センサーの測定上限よりも 0.001 から 1,000 Torr まで増加しています。この上限は、大気圧からベース圧力までの真空システムのポンプダウンを監視するときに役立ちます。センサーは、10°C ～ 50°C の範囲の室温の変化を補正します。

すべての熱伝導率センサーと同様、317 センサーは本質的にガスの種類に敏感です。この機能により、真空システムにおける中程度から微量の漏れを特定するための簡単なソリューションになります。これは質量分析計のリーク検出器を補完し、より小さなリークをより効率的に発見します。このセンサーは RF ノイズからシールドされており、CE マーク要件を満たしており、100°C でベークすることができます。この 317 センサーには、CF 2.75 コンフラット フランジなどの標準真空接続が含まれています。このセンサー用のケーブルは付属していませんが、標準的な 10 フィートの長さが用意されています。 317 センサーは、この Web サイトでも販売されているシリーズ 947 対流ピラニ真空ゲージ コントローラーと併用できます。完全な仕様パンフレットと操作マニュアルは、以下から PDF 形式でダウンロードできます。