HPS®シリーズ902絶対圧圧電トランスデューサは、MEMSベースの圧電センサの圧力測定技術と統合型電子回路を組み合わせた製品です。902は、ガス種に依存しない経済的な絶対圧測定を提供します。フルスケール0.1～1,000 Torrの測定範囲を持つこのセンサは、半導体製造、薄膜コーティング、凍結乾燥、ランプおよび電球製造、医療機器、自動車、航空宇宙などの用途に最適です。電源とディスプレイの両方が必要なお客様は、このウェブサイトで販売されているPDR900シリーズコントローラと902を組み合わせて使用できます。
詳細な仕様および操作情報については、ダウンロードページをご覧ください。
仕様および価格は予告なく変更される場合があります。HPS®およびMicroPirani™は、MKS Instruments, Inc.の登録商標です。
