MKS HPS® シリーズ 974 QuadMag MicroPirani™ ピエゾ冷陰極トランスデューサー、KF-40、RS-232。
MKS 部品番号: 974-91020 974 QuadMag は、1x10 -8 ～ 1500 Torr の測定範囲を提供し、冷陰極反転マグネトロン、MicroPirani™、および Piezo 差動センサー技術を組み合わせています。 974 は、真空ロードロック内の圧力測定用に特別に設計されています。大気圧から 10 -8 Torr までの絶対圧力測定と大気圧切り替え機能により、ロードロック上の複数の圧力測定装置を置き換える機能を備えています。その後、OEM はロードロック設計を簡素化することでコストを削減できます。 974 は、絶対圧力測定と大気切り替え機能の両方を必要とするロードロックまたは真空チャンバーで使用できます。シリーズ 974 QuadMag には、トランスデューサ パラメータを設定し、リアルタイムの圧力測定を行うための RS232 または RS485 デジタル通信インターフェイスが備わっています。
974 QuadMag トランスデューサには、0.5VDC/decade のアナログ圧力出力もあり、圧力の読み出しや制御のために外部アナログ機器に接続できます。他のアナログ出力と曲線は、デジタル ユーザー インターフェイスを介して選択できます。シリーズ 974 QuadMag には、インターロック バルブやポンプなどのプロセス制御に使用できる最大 3 つの機械式リレーがあります。 974 QuadMag トランスデューサには、ユーザーが交換可能な冷陰極陽極モジュールが搭載されており、トランスデューサ電子機器を分解することなく簡単に保守できます。電源とディスプレイの両方が必要なお客様は、この Web サイトで販売されている PDR900 シリーズ コントローラと 974 QuadMag を使用できます。完全な仕様と操作情報については、以下の利用可能なダウンロードを参照してください。
仕様および価格は予告なく変更される場合があります。 HPS® は ©2009 MKS Instruments, Inc. の登録商標、MicroPirani™ は登録商標です。無断複写・転載を禁じます。オプション、(PN) 部品番号と価格:新しい MKS HPS® シリーズ 974 QuadMag MicroPirani™ ピエゾ冷陰極トランスデューサーNW25 KF、RS-232、SUBD 15pinHD オス - リレーなしPN 974-21020、2009 価格 $1295
2 3/4 インチ CF、RS-232、SUBD 15pinHD オス - リレーなしPN 974-71020、2009 価格 $1365
NW40 KF、RS-232、SUBD 15pinHD オス - リレーなしPN 974-91020、2009 価格 $1325
NW25 KF、RS-485、SUBD 15pinHD オス - リレーなしPN 974-22020、2009 価格 $1295
2 3/4 インチ CF、RS-485、SUBD 15pinHD オス - リレーなしPN 974-72020、2009 価格 $1335
NW40 KF、RS-485、SUBD 15pinHD オス - リレーなしPN 974-92020、2009 価格 $1275
NW25 KF、RS-232、SUBD 15pinHD オス 3 リレーPN 974-21030、2009 価格 $1305
2 3/4 インチ CF、RS-232、SUBD 15pinHD オス-3 リレーPN 974-71030、2009 価格 $1375
NW40 KF、RS-232、SUBD 15pinHD オス-3 リレーPN 974-91030、2009 価格 $1315
NW25 KF、RS-485、SUBD 15pinHD オス 3 リレーPN 974-22030、2009 価格 $1305
2 3/4 インチ CF、RS-485、SUBD 15pinHD オス-3 リレーPN 974-72030、2009 価格 $1395
NW40 KF、RS-485、SUBD 15pinHD オス 3 リレーPN 974-92030、2009 価格 $1315
●すべての価格は予告なく変更される場合があります●
