MKS マスフローコントローラ ケーブルは、246 または 247 コントローラを 179 または GM50A マスフローコントローラに接続します。15 ピン タイプ D コネクタ、長さ 10 フィート (3 メートル)。
MKS部品番号: RCBDMFC-1-10。 MKSマスフローコントローラケーブルは、179、258、358、558、1159、1162、1179、1259、1261、1359、1449、1459、1479、1559、1562、1679、2159、2162、2259、GE50A、GM50A、GM100A、IE50A、IM50A、P250A、IM250A、M10B、M100マスフローコントローラを、15ピンタイプD高密度サブミニチュアコネクタから15ピン標準サブミニチュアコネクタまで接続する246、247、または660コントローラに接続します。ケーブルのみの販売です。
MKS 946 は、多目的ハーフラック真空計測定および制御システムであり、最大 6 台の異なる真空計や質量流量コントローラに電力を供給し、同時に読み取りを行うとともに、圧力を制御するオプションを備えています。
電源／表示器は、あらゆる流量トランスデューサの制御と表示を目的として設計されています。流量設定値は、前面パネルのコントロール、または背面パネルのアナログインターフェースを介してリモートで調整できます。946真空システムコントローラは、6チャンネル／シーケンシャル選択可能なシングル表示器です。マスフローコントローラおよびマスフロー表示器と互換性があります。MKS 946用の信号ケーブルは、このウェブサイトから入手できます。
