Pfeiffer HiPace 300H 高性能ターボポンプ、TC 110 駆動ユニット付き、Conflat CF 6.0 インチ入口フランジ、260 l/s ポンピング速度、水冷式、PN: PM P05 541 C

Pfeiffer HiPace 300H高性能ターボ分子高真空ポンプは、DN100 CF Conflat CF 6.0インチ入口フランジを備え、排気速度は260リットル/秒（l/s）、到達圧力は3.5 x 10 ^-10 Torrです。この高性能ポンプは、特に軽いガスに対して高い圧縮率を誇ります。このPfeiffer HiPace 300Hポンプには、ポンプ側面に一体型のTC 110駆動ユニットが取り付けられており、ISO KF-16排気フォアラインフランジが付いています。ポンプはどの方向にも取り付けることができます。最大180ワットの24 VDC入力電力が必要です。CF 6.0インチ入口とTC 110駆動ユニットを備えたこのHiPace 300H高性能ターボポンプには、水冷キットが標準装備されており、Pfeiffer部品番号：PM P05 541 Cです。

付属のTC 110ドライブユニットは、ポンプ電源供給用のX3（15ピンD-Sub）コネクタ1個、RS485通信ポート1個、およびアクセサリポート（空冷ファンまたはソレノイドベントバルブの制御用）1個を備えたコンパクトなオンボードコントローラです。OEM（相手先ブランド供給）およびシステム統合アプリケーションの場合、ポンプの起動に必要なのは、適切な24VDC電源と始動/停止ロジックだけです。研究室アプリケーションには、電源供給とポンプ制御の両方が可能な300ワットのPfeiffer OmniControl 300コントローラをお勧めします。OmniControl 300は、ベンチトップまたはラックマウント可能なリモートユーザーインターフェイス/電源で、Pfeiffer HiPaceシリーズターボポンプとRS485を介して通信し、完全な監視と制御を提供します。

当社では、OmniControl 300 ポンプ コントローラ、入口スクリーン、強制空冷キット、ソレノイド作動式ベント バルブ、ヒーター バンド (Conflat CF フランジ ポンプのみ) など、さまざまなオプション アクセサリを提供しています。

Pfeiffer HiPace 300H 高性能ターボポンプ（CF 6.0インチインレットおよびTC 110ドライブユニット搭載）仕様：

• 部品番号: PM P05 541 C
• インレットフランジ：コンフラットCF 6.0インチ
• ベース圧力: 3.5 x 10 ^-10 Torr
• 高真空フランジでの最大ベークアウト温度：120℃
• 動作速度: 60,000 RPM
• 取り付け方向: 任意
• ポンプ速度: 260 l/s
• 冷却方法 標準：水（50 l/h、15～25 °C）
• 冷却方法 オプション: 強制空冷
• 排気フランジ：KF-16、G 1/4”（BSPP）
• 排気接続：G 1/8”（BSPP）
• 一体型コントローラ：TC 110 ドライブユニット
• 動作電圧: 24 VDC
• 最大電力: 300ワット
• 準備時間: 1.8 分。
• インターフェース: M12コネクタ経由のRS485
• リモート: 高密度 26 ピン D-Sub コネクタ
• アクセサリポート: 2つのM12ソケット、ラベルAとB
• 推奨粗引きポンプ: HiScroll 12 ドライスクロールポンプ

Pfeiffer Vacuum HiPaceシリーズのターボポンプは、実績のあるハイブリッドベアリングを採用した独自のローター設計を特徴としています。HiPaceポンプは、高い排気速度と高いガス処理量に加え、軽質ガスの高圧縮を実現します。HiPaceポンプは、ターボ分子ステージとドラッグステージの両方を備え、高いバッキングライン圧力への耐性が向上し、あらゆるガス種において優れた排気速度を実現します。HiPaceハイブリッドベアリングは、前真空側にセラミックボールベアリング、高真空側に永久磁石ラジアルベアリングを組み合わせたものです。このベアリング技術は電磁石を必要とせず、標準メンテナンス間隔が約4年と長寿命です。性能向上に加え、すべてのHiPaceターボポンプには現場でメンテナンス可能なオイルカートリッジとシャフトベアリングが装備されており、ダウンタイムを大幅に削減します。

Conflat CFフランジを採用したPfeiffer HiPaceポンプは、真の超高真空（UHV）ポンプであり、到達圧力は10 ^-10 Torr（全金属製の吸気シールガスケットを使用し、真空チャンバーを完全に洗浄・ベーキングした場合）の範囲に達します。ISOフランジを採用したターボポンプは、ゴム/エラストマー製Oリングシールの透過およびガス放出により、到達圧力が10 ^-8 Torrに制限されます。Conflatフランジ採用のHiPaceポンプの吸気部は、ターボが水冷式の場合、最大120 °Cまでベーキング可能です。

一般的なターボポンプの用途は次のとおりです:

• 一般的なクリーンポンプ用途
• 走査型電子顕微鏡（SEM）
• ビームラインと高エネルギー物理学
• 質量分析
• 電子顕微鏡
• サンプル準備
• 研究開発
• 高エネルギー物理学
• 産業
• 半導体
• コーティング
• 表面科学機器

ポンプの取扱説明書と Pfeiffer HiPace ポンプの製品パンフレットはダウンロードで入手できます。