Pfeiffer HiPace 450 ターボ ポンプ、TC 400 ドライブ ユニット Conflat CF 8.0 インチ付き入口フランジ 380 l/s 排気速度 水冷、PN: PM P070 511 40

DN160 CF Con flat CF 8.0 インチ入口フランジを備えた Pfeiffer HiPace 450 ターボ分子高真空ポンプは、380 リットル/秒 (l/s) のポンピング速度と 3.5 x 10 ^-10 Torr の到達圧力を備えています。この Pfeiffer HiPace 450 ポンプには、ポンプの側面に統合された TC 400 ドライブ ユニットが付属しており、ISO KF-16 排気フォアライン フランジが付いています。ポンプは任意の方向に取り付けることができます。最大 300 ワットの 24 VDC 入力電力が必要です。 CF 8.0 インチ入口と TC 400 ドライブ ユニットを備えたこの HiPace 450 ターボ ポンプには、水冷キットが標準装備されており、Pfeiffer 部品番号: PM P070 511 40 です。

付属の TC 400 ドライブ ユニットは、RS485 通信インターフェイス、リモート操作用の D-sub コネクタ、および 2 つのアクセサリ ポート (空冷ファンまたはソレノイド ベント バルブのいずれかを制御するため) を備えたコンパクトなオンボード コントローラです。 OEM およびシステム統合アプリケーションの場合、ポンプの起動に必要なのは、開始/停止ロジックを備えた適切な 24 VDC 電源だけです。実験室用途には、電力供給とポンプ制御の両方が可能な 300 ワットの Pfeiffer OmniControl 300 コントローラーをお勧めします。 OmniControl 300 は、ベンチトップまたはラックマウント可能なリモート ユーザー インターフェイス/電源であり、RS485 を介して Pfeiffer HiPace シリーズ ターボ ポンプと通信し、完全な監視と制御を提供します。

当社は、OmniControl 300 ポンプ コントローラー、吸気スクリーン、強制空冷キット、ソレノイド駆動ベント バルブ、ヒーター バンド (Conflat CF フランジ ポンプのみ) など、さまざまなオプションのアクセサリを提供しています。

Pfeiffer HiPace 450 ターボ ポンプ、CF 8.0 インチ入口および TC 400 ドライブ ユニット仕様:

• 部品番号: PM P070 511 40
• インレットフランジ：コンフラットCF 8.0インチ
• 基本圧力: 3.5 x 10 ^-10 Torr
• 高真空フランジでの最大ベークアウト温度: 120 °C
• 動作速度: 66,000 RPM
• 取付方向：任意
• ポンピング速度: 380 l/s
• 冷却方式 標準：水（100リットル/h、15～25℃）
• 冷却方法 オプション: 強制空冷
• 排気フランジ: KF-16、G 3/8” (BSPP)
• 通気接続: G 1/8 インチ (BSPP)
• 統合コントローラー: TC 400 ドライブユニット
• 動作電圧：DC24V
• 最大電力: 300 ワット
• 準備時間: 4 分
• インターフェイス: M12 コネクタを介した RS485
• リモート: 高密度 26 ピン Sub-D コネクタ
• アクセサリポート: 2 つの M12 ソケット、A および B のラベルが付いています
• 推奨荒引きポンプ: HiScroll 12 ドライスクロールポンプ

Pfeiffer Vacuum HiPace シリーズのターボポンプは、実証済みのハイブリッド ベアリングを備えた独自のローター設計を特徴としています。 HiPace ポンプは、軽ガスの高圧縮に加えて、高い排気速度と高いガス スループットを実現します。 HiPace ポンプにはターボ分子ステージと抗力ステージの両方があり、より高いバッキング ライン圧力に対する耐性が向上し、すべてのガス種にわたってポンピング速度が向上します。 HiPace ハイブリッドベアリングは、前真空側にセラミックボールベアリング、高真空側に永久磁石ラジアルベアリングを組み合わせたものです。このベアリング技術は電磁石を必要とせず、耐用年数が長く、通常のメンテナンス間隔は約 4 年です。パフォーマンスの向上に加え、すべての HiPace ターボ ポンプには現場で保守可能なオイル カートリッジとシャフト ベアリングが装備されており、ダウンタイムが大幅に短縮されます。

Con flat CF フランジを備えた Pfeiffer HiPace ポンプは、到達圧力が 10 ^-10 Torr の範囲に達する真の超高真空 (UHV) ポンプです (全金属製吸気シール ガスケットが使用され、真空チャンバーが完全に洗浄およびベークアウトされている場合) 。 ISO フランジを備えたターボ ポンプは、(ゴム/エラストマー O リング シールの浸透とガス放出によって) 到達圧力が 10 ^-8 Torr の範囲に制限されます。コンフラット フランジ付き HiPace ポンプの吸気口は、ターボが水冷されている場合、最大 120 °C まで加熱される可能性があります。

一般的なターボ ポンプの用途には次のようなものがあります。

• 一般的なクリーンポンプ用途
• 走査型電子顕微鏡 - SEM
• ビームラインと高エネルギー物理学
• 質量分析法
• 電子顕微鏡法
• サンプルの準備
• 研究開発
• 高エネルギー物理学
• 産業用
• 半導体
• コーティング
• 表面科学機器

ポンプの取扱説明書と Pfeiffer HiPace ポンプの製品パンフレットは、ダウンロードで入手できます。