Pfeiffer HiPace 80 Neoターボポンプ（TC 80ドライブユニット、DN63 ISO-K 63インレットフランジ、排気速度67 l/s、空冷または水冷）。PN: PM P080 301 10

Pfeiffer HiPace 80 Neoターボ分子高真空ポンプは、DN63 ISO-Kインレットフランジを備え、排気速度は67リットル/秒（l/s）、到達圧力は7.5 x 10 ^-8 Torrです。このPfeiffer HiPace 80 Neoターボポンプには、ポンプ側面に一体型のTC 80駆動ユニットが取り付けられており、ISO KF-16排気フォアラインフランジも備えています。ポンプは任意の方向に取り付け可能です。最大110ワットの24 VDC入力電力が必要です。ISO-K 63インレットとTC 80駆動ユニットを備えたこのHiPace 80 NeoターボポンプのPfeiffer部品番号はPM PM P080 301 10です。

付属の TC 80 ドライブ ユニットはコンパクトなオンボード コントローラで、ポンプ電源、RS485 通信、アクセサリ ポート (空冷ファンまたはソレノイド ベント バルブのいずれかを制御するため) を供給するための単一の X3 (15 ピン D-Sub) コネクタを備えています。OEM (相手先ブランド供給) およびシステム統合アプリケーションの場合、ポンプを起動するために必要なのは、適切な 24 VDC 電源と開始/停止ロジックだけです。研究室アプリケーションには、電源供給とポンプの制御の両方が可能な 200 ワットの Pfeiffer OmniControl 200 コントローラをお勧めします。OmniControl 200 は、ベンチトップまたはラック マウント可能なリモート ユーザー インターフェイス/電源で、RS485 を介して Pfeiffer HiPace シリーズ ターボ ポンプと通信し、完全な監視と制御を提供します。または、より経済的な Pfeiffer TC 80 コントローラを使用して、電源を供給し、ポンプを制御することもできます。ポンプとコントローラを相互接続し、RS485 コネクタとアクセサリ ポートをブレークアウトするには、Pfeiffer ケーブル部品番号 P103335 または P1011168 を使用します。

当社では、OmniControl 200 および DCU 110 ポンプ コントローラ、入口スクリーン、強制空冷および水冷キット、ソレノイド作動式ベント バルブ、ヒーター バンド (Conflat CF フランジ ポンプのみ) など、さまざまなオプション アクセサリを提供しています。

Pfeiffer HiPace 80 Neo ターボポンプ（DN63 ISO-K 63 インレットおよび TC 80 ドライブユニット付き）仕様：

• 部品番号: PM P080 301 10
• 入口フランジ：ISO-63K（フランジはダブルクロークランプで接続）
• ベース圧力: 7.5 x 10 ^-8 Torr
• 動作速度: 90,000 RPM
• 取り付け方向: 任意
• ポンピング速度: 67 l/s
• 冷却方法標準：対流
• 冷却方法 オプション: 強制空気または水（75 l/h、15～25 °C）
• 排気フランジ：KF-16、G 1/4”（BSPP）
• 排気接続：G 1/8”（BSPP）
• 一体型コントローラ：TC 110 ドライブユニット
• 動作電圧: 24 VDC
• 最大電力: 110ワット
• 助走時間 1.7分
• インターフェース: RS485、リモート、15ピンD-Sub X3コネクタ経由
• アクセサリポート: 15ピンD-Sub X3コネクタ経由2個
• 入力電源: 15ピンD-Sub X3コネクタ経由
• 動作モード表示: 3つのLED
• 推奨粗引きポンプ：HiScroll 6ドライスクロールポンプ

Pfeiffer Vacuum HiPaceシリーズのターボポンプは、実績のあるハイブリッドベアリングを採用した独自のローター設計を特徴としています。HiPaceポンプは、高い排気速度と高いガス処理量に加え、軽質ガスの高圧縮を実現します。HiPaceポンプは、ターボ分子ステージとドラッグステージの両方を備え、高いバッキングライン圧力への耐性が向上し、あらゆるガス種において優れた排気速度を実現します。HiPaceハイブリッドベアリングは、前真空側にセラミックボールベアリング、高真空側に永久磁石ラジアルベアリングを組み合わせたものです。このベアリング技術は電磁石を必要とせず、標準メンテナンス間隔が約4年と長寿命です。性能向上に加え、すべてのHiPaceターボポンプには現場でメンテナンス可能なオイルカートリッジとシャフトベアリングが装備されており、ダウンタイムを大幅に削減します。

Conflat CFフランジを採用したPfeiffer HiPaceポンプは、真の超高真空（UHV）ポンプであり、到達圧力は10 ^-10 Torr（全金属製の吸気シールガスケットを使用し、真空チャンバーを完全に洗浄・ベーキングした場合）の範囲に達します。ISOフランジを採用したターボポンプは、ゴム/エラストマー製Oリングシールの透過およびガス放出により、到達圧力が10 ^-8 Torrに制限されます。Conflatフランジ採用のHiPaceポンプの吸気部は、ターボが水冷式の場合、最大120 °Cまでベーキング可能です。

一般的なターボポンプの用途は次のとおりです:

• 一般的なクリーンポンプ用途
• 走査型電子顕微鏡（SEM）
• ビームラインと高エネルギー物理学
• 質量分析
• 電子顕微鏡
• サンプル準備
• 研究開発
• 高エネルギー物理学
• 産業
• 半導体
• コーティング
• 表面科学機器

ポンプの取扱説明書と Pfeiffer HiPace ポンプの製品パンフレットはダウンロードで入手できます。