アジレント・バリアン社製 TwisTorr 804 FS ターボ分子真空ポンプ、コンフラットCF 10インチ入口フランジ、排気速度720 L/S。型番：X3511-64027

これらの Agilent Varian TwisTorr 804 FS ターボ分子真空ポンプは、Conflat CF 10 インチ入口フランジを備え、特許取得済みの TwisTorr ドラッグ ステージを備えた Agilent フローティング サスペンションを搭載しています。これらの Agilent Varian TwisTorr 804 FS ターボ分子高真空ポンプは、新設計のラビリンス Twistorr ドラッグ ステージ技術と Agilent フローティング サスペンション (AFS) に加え、最適化された熱設計マッピングなど、新しく改良された性能を備えています。TwisTorr ドラッグ ステージは、水素やヘリウムなどの軽ガスに対して高い圧縮比を実現し、高いスループットと高い前線圧力耐性を提供することで、より小型で経済的なバックポンプの使用を可能にします。 Agilent Varian TwisTorr 804 FSターボポンプ（コンフラット吸気口付き）は、真の超高真空（UHV）ポンプであり、正しく使用すれば、到達圧力は1×10⁻¹⁰ Torrまで低減できます。例えば、コンフラットバージョンのポンプでは、吸気フランジを120℃まで加熱することが可能です。必要なファン式空冷キットは別売りです。

この技術により、エネルギー効率が高く、動作温度が低いコンパクトなローター設計が実現します。Agilent Floating Suspension System (AFS) は、騒音と振動を低減し、ベアリングの最適な動作条件を確保することで、動作寿命を延ばし、システムのダウンタイムを最小限に抑え、長期間にわたって安定したポンプ性能を保証します。独自の永久潤滑セラミックボールベアリングは、オイルやメンテナンスを不要にし、ポンプをあらゆる向きで動作させることができます。これらの TwisTorr 804 FS ターボポンプには、ファン強制空冷または水冷の冷却キットと、外部リモートラックマウントまたはオンボードポンプサイドマウントコントローラーが必要です。これらはすべて、Ideal Vacuum 社から別売りされています。

アジレントのターボポンプは、実際の用途で最適な性能を発揮するように設計されており、ポンプシステムやマルチフローポンプの統合も可能です。コンパクトなポンプは、厳しい設置スペース要件を持つ業界のニーズを満たします。この新しいアジレント TwisTorr 804 FS ターボポンプは、メンテナンスがほとんど不要で、誤使用からも保護します。これらのポンプは、長寿命、衝撃、振動、パッケージング、熱、騒音など、さまざまな品質および信頼性テストを受けています。

Agilent Varian TwistTorr 804 FSターボポンプは、Conflat CF 10インチ入口フランジを備え、窒素の排気速度は720 l/s、フロントラインフランジはKF-25（交換可能なKF-40も付属）、周囲動作温度は5℃～+35℃です。これらの804 FSポンプの起動時間は3分、回転速度は最大49,500 rpmです。推奨されるフロントラインポンプは、ドライタイプのIDP-10、IDP-15、またはウェットタイプのDS-302です。冷却要件は、周囲温度が5℃～35℃の場合は強制空冷、水温が15℃～25℃で流量が100 l/h、水圧が最大75 psiの水冷です。

新型Agilent Twistorr 804 FSは、幅広い用途に適した性能と機能を兼ね備えています。非常に汎用性の高いターボであり、様々な分野で使用できます。

ターボポンプの代表的な用途は以下のとおりです。

• 質量分析法
• ガスクロマトグラフィー質量分析法（GC/MS）
• 液体クロマトグラフィー質量分析法（LC/MS）
• 誘導結合プラズマ質量分析法（ICP-MS）
• 飛行時間型質量分析法（TOF）

研究開発における空白：

• 高エネルギー物理学
• フュージョンテクノロジー
• 一般的な超高真空研究
• シンクロトロン光源粒子加速器

ナノテクノロジー機器：

• 電子顕微鏡
• 走査型電子顕微鏡（SEM）
• 透過型電子顕微鏡（TEM）
• 集束イオンビームシステム（FIB）
• 表面分析
• 半導体製造

工業用真空処理：

• 薄膜堆積
• ガラスコーティング装置（建築用ガラス、自動車用ガラス、フラットパネルディスプレイ用）
• 薄膜太陽電池の製造（光起電力）
• 光データ媒体（CD、DVD、光磁気ディスク）
• 磁気記憶媒体
• 表面処理
• 光学コーティング（眼科用、精密光電子工学用）
• フィルムまたは箔へのロール／ウェブコーティング

デバイス処理:

• テレビ・モニター用ブラウン管の製造
• ランプの撤去（高速道路照明、プロジェクターランプ）
• X線管および電子装置

一般的なプロセス：

• 真空炉
• 冶金