ファイファー CMR 363 セラミック キャパシタンス ダイアフラム ゲージ、1/2 インチ チューブ、10 hPa (10 mBar/7.5 Torr) フルスケール。PN : PT R24 620 Pfeiffer CMR 363 静電容量式ダイヤフラムゲージは、1/2インチチューブフィッティングを備え、フルスケール測定範囲は10 hPa（10 mBar/7.5 Torr）、最小測定範囲は10 -3 mbar（0.75 mTorr）です。このゲージの応答時間は30msで、測定値の0.2%の精度を誇ります。セラミック酸化アルミニウムの静電容量式センサー素子は、ガスの種類や組成に関わらず、ガスの絶対圧力を測定します。ルックアップテーブルやガス換算計算は不要です。
Pfeiffer CMR 361、362、363、364、365 セラミック容量ダイヤフラムゲージは、Pfeiffer ゲージコントローラ TPG 361、362、366 と互換性があり、センサーケーブルが必要です。このケーブルは、このウェブサイトで 3～10 メートルの長さで販売されています。コントローラとケーブルは別売りです。
操作手順と技術データは以下に記載されており、ダウンロードで入手できます。
