新型エドワーズ XDS46iC 耐腐食性オイルフリードライスクロール真空ポンプ
エドワーズPN A73106983
このポンプは、大型チャンバーのサイクル運転や排気には適していません。サイクル運転時の最大チャンバー容量は50リットルで、最大運転サイクル数は6サイクル/時です。大気からの排気の場合、あらゆる用途における最大チャンバー容量は100リットルを超えてはなりません。連続排気時の入口における最大許容連続圧力は40ミリバールを超えてはなりません。
このEdwards XDS46iCオイルフリードライスクロール真空ポンプは、真空環境をあらゆる潤滑剤から隔離するように設計された特許取得済みのベアリングシールドを備えています。この機能により、ベアリングは完全に乾燥した状態に保たれ、プロセスガスからも保護されます。調整可能なガスバラストにより蒸気を扱うことができ、これまでスクロールポンプには適していなかった多くの用途にも対応できます。XDS46iCポンプはXDS35iをベースに開発されたため、多くの機能と利点を共有しています。
XDS46iCは、1mbar～10mbarの入口圧力で最大排気速度が得られるように最適化されており、LCMSおよびICPMSアプリケーションに最適です。チップシール技術の最近の改良により、チップシールの摩耗が低減され、メンテナンス間隔が長くなりました。このポンプの排気量は、60Hzで35CFMです。購入価格にはメーカー保証が含まれています。このポンプの部品および付属品は、このウェブサイトで入手できます。
動作入力位相と電圧：
A73106983 Edwards XDS46iC オイルフリードライスクロール真空ポンプ 100-120/200-230V、単相、50/60Hz、ポンプ設定電圧230V
オプションアクセサリー：
A50626801 XDS-46i用0.25mm穴付きガスバラストアダプター
A50597001 XDS-46i オイルフリードライスクロール真空ポンプ用排気サイレンサー
A73101801 XDS-46i用チップシールキットおよび排気サービスキット
