理想的な真空キューブ 6 x 12 観察窓プレートアセンブリ 3/8インチ フューズドクォーツ

この理想的な真空キューブは、6 x 12インチの真空チャンバー用で、溶融石英製の観察窓プレートアセンブリです。当社の6 x 6 x 12または6 x 12 x 12のモジュラーキューブチャンバーに適合するように設計されています。

溶融石英ウィンドウ表示プレートアセンブリは、光学的透明度の向上、可視範囲を超えた波長の透過率の拡張、コストが考慮される実験でよく選択されます。

当社の溶融石英ウィンドウは最高品質の天然石英を使用して製造されており、最高レベルの純度と最低レベルの介在物および気泡レベルを実現しています。これらのウィンドウは Heraeus TSC-3 に匹敵し、透過率が向上し、標準ガラスよりも広い波長範囲で使用できます。特性として、屈折率の変化が少なく、熱膨張係数が低いことが挙げられます。溶融石英は、プラズマ エッチングや堆積システムなどの半導体用途に使用され、低アルカリおよび低アルミニウム含有量が求められる場合に推奨されます。高いレーザー損傷閾値が求められる可視光線および近赤外から中赤外波長の透過型光学系によく使用されます。溶融石英は 2600 ～ 2900 nm の領域に吸収帯があり、溶融シリカに似ていますが、それほど強くはありません。270 nm 領域で吸収があるため、UV 作業には適していません。

Ideal Vacuum はプレミアム窓製品としてフューズドシリカへの移行を進めているため、フューズドクォーツの在庫は限られています。また、フューズドクォーツ窓に誤ってフューズドシリカの品番が記載されている場合がありますのでご注意ください。窓の材質は、販売請求書でご確認いただけます。

キューブウィンドウプレートアセンブリおよび交換用ウィンドウパネルには、標準の低鉄強化ガラスまたは溶融シリカガラスもご用意しています。強化ガラスは、粗加工や高真空チャンバープロセスの一般的な直接観察に広く使用され、チャンバーコンポーネントの光学的な位置合わせを容易にしたり、流体の脱ガスを観察したり、直接観察による真空内プロセスの教育にも活用できます。ガラス素材は標準の低鉄フロートガラスです。表面品質と平坦度は、ASTM 1036-06および1048-04規格のQ4です。鉄含有量が低いため、わずかに青みがかった色合いになっています。この経済的なガラスは、可視光線以下または近赤外線（NIR）波長を超えるレーザー実験には適していません。

当社の高純度フューズドシリカ交換用ウィンドウは、両面とも光学グレードに研磨されており、総厚み変動（TTV）は10µm未満、表面仕上げはS/D 40/20、表面粗さはRa 1nm未満です。これらのウィンドウは、標準ガラスに比べて透過率が大幅に向上し、使用可能な波長範囲が広くなっています。その特徴として、極めて低い屈折率変動、低い複屈折値、そして極めて低い熱膨張係数が挙げられます。フューズドシリカは、高いレーザー損傷閾値が求められる透過型光学系に使用されます。また、深紫外線、可視光線、近赤外線の波長域で動作する光学系にも使用されます。


当社のキューブ型ビューイングウィンドウは、革新的な金属とガラスの接触ゼロ設計を採用し、3/8インチ厚の窓ガラスをアルミニウム製の取り付けプレートに固定します。このクッション性のある窓取り付けシステムは、作業者の安全性を確保し、高真空下でも他のビューポートウィンドウ構成に比べて漏れにくい設計となっています。Ideal Vacuum Cubeウィンドウは完全に組み立てられた状態で納品され、Viton Oリングとテフロン製スペーサーを使用しています。ベークアウト温度は150℃まで許容されます。

観察窓プレートアセンブリは他のCubeプレートと交換可能で、Ideal Vacuum Cubeシステムにいつでも追加できます。観察窓は、Cubeチャンバーに固定側として、またはドア（オプションのヒンジアセンブリとハードウェアキット（ P106868 ）を使用）として実装できます。

他のキューブプレートと同様に、ビューイングウィンドウプレートアセンブリは、特許取得済みのテーパーシール技術を採用しています。この技術は、傾斜したシーリング構造を採用することで、真空シール面の損傷を防ぎます。Ideal真空キューブプレートはすべて、軽量な6061-T6アルミニウム合金の単一ブロックからCNCフライス加工されています。

出荷前に、すべての表示ウィンドウ プレート アセンブリは、ウィンドウ メディアの欠陥がないか目視検査され、ヘリウム漏れテスト、洗浄、密封が行われ、正しく安全に動作し、納品後すぐに設置できる状態であることが保証されます。

注意：すべてのビューイングウィンドウまたはビューポートは本質的に壊れやすいため、慎重に取り扱い、使用前に必ず点検してください。Ideal Vacuum Viewing Windows は真空専用に設計および定格されており、急激な温度変化（10°C /分以上）にさらされると熱衝撃の影響を受けやすくなります。ウィンドウを通してレーザー光線を照射する場合は、レーザーの波長がウィンドウの材質を適度に透過することを確認してください。IVP Cube Viewing Window Assembly Manual のすべての安全に関する警告をダウンロードしてお読みください。