MKS Granville Phillips 355 マイクロイオン ATM モジュラー真空圧力トランスデューサ、デジタルディスプレイ、DeviceNet、イットリアコーティングイリジウムフィラメント、2.75 CF

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MKS Granville-Phillips 355 マイクロイオン ATM モジュラー真空圧力トランスデューサ、デジタル表示 Torr 読み取り、DeviceNet、イットリアコーティングイリジウムフィラメント、2.75 インチ CF 入口圧力測定 1 × 10⁻⁹ Torr から大気圧まで MKS Granville-Phillips 355 マイクロイオン ATM モジュールは、実績のあるマイクロイオンイオン化ゲージ技術と小型コンダクトロン熱損失センサーを組み合わせ、高真空から大気圧までの正確で連続的な圧力測定を提供します。ダイヤフラムセンサーを使用することで、この製品は、大気圧までの正確な絶対圧力と、周囲からの真空チャンバー差圧の精密な表示を提供できます。独自のセンサー設計により、高圧での熱損失センサーの性能に影響を与える可能性のある熱効果を排除します。この小型モジュールは、4 つのセンサーと制御エレクトロニクスすべてをコンパクトなモジュール設計に統合し、チャンバーに必要なゲージの数を減らし、必要な設置スペースを最小限に抑えます。フルレンジの圧力測定は、DeviceNet デジタルインターフェースを介して提供されます。この DeviceNet バージョンには、プロセス制御用の設定可能な設定値が含まれており、リレーを真空圧力範囲全体にわたる任意の圧力、または特定の差圧値に割り当てることができます。 利点: 1 × 10⁻⁹ Torr の高真空から大気圧までの連続圧力測定。 大気圧での高精度差圧測定。 個別の大気圧スイッチが不要になります。 3 つの別々のセンサーが不要になります。 イットリアコーティングされたイリジウム電離ゲージフィラメントにより、機器の稼働時間が長くなります。 電離ゲージの自動起動と非起動。 プロセス制御用の設定可能な設定値リレー。 フィールド交換可能なゲージアセンブリ。 DeviceNet デジタル出力。 モジュール式真空ゲージは、前面パネルのディスプレイや制御を必要としないアプリケーションに最適なソリューションです。 これらのコンパクトで便利、信頼性が高く、コスト削減にもなるモジュールは、制御エレクトロニクスがゲージに直接取り付けられています。 全金属製のパッケージにより、堅牢な筐体と電気ノイズに対する高い耐性が実現されています。ミニコンベクトロンモジュールは、最新の電子技術を用いてグランビル・フィリップス®コンベクトロン®圧力計を動作させます。コンベクトロン圧力計は業界標準となっています。これは、センサーワイヤからの熱損失率に基づいて圧力を測定する、熱伝導式圧力計の独自のバリエーションです。伝導による熱損失のみに依存する従来の熱電対やピラニ圧力計とは異なり、コンベクトロン圧力計は高圧下での対流による熱損失も利用します。これにより、正確で再現性の高い圧力測定範囲が大気圧まで拡張されます。