Ideal Vacuum 가스 실린더 혼합 어셈블리, 304L 스테인리스 스틸 실린더, Matheson 3530A 단일 단계 레귤레이터, 실린더 등급: DOT-3E-1800, 304L 스테인리스 스틸. Ideal Vacuum 가스 실린더 혼합 어셈블리는 다양한 응용 분야에서 공정 가스 혼합을 간소화하도록 설계되었습니다. 가스 레귤레이터와 가스 레귤레이터 퍼지 밸브 어셈블리가 포함된 이 시스템은 고압 니들 밸브(최대 6000 PSI)를 사용하여 혼합 실린더로 유입되는 가스 흐름을 정밀하게 제어합니다. 이 시스템에 사용되는 실린더는 304L 스테인리스 스틸 재질이며, 벽 두께는 2.4mm이고, 권장 최대 압력은 1800 PSI(37°C 기준)입니다. 내부 PTFE 코팅 또는 내부 전해 연마 마감 처리된 실린더도 이 웹사이트에서 구매 가능합니다. 실린더의 최대 압력 등급은 온도에 따라 다릅니다. 해당 온도 제한을 초과하여 실린더에 압력을 가하지 마십시오. 퍼지 시스템은 실린더를 사용하지 않을 때 레귤레이터를 깨끗하게 유지하는 데 매우 중요합니다. 부식성 가스를 혼합하면 결국 레귤레이터의 씰이 마모되어 시간이 지남에 따라 고장이 발생할 수 있습니다. 이를 방지하기 위해 퍼지 어셈블리 라인을 불활성 가스 실린더와 진공 펌프에 연결할 수 있습니다. 부식성 가스를 혼합한 후에는 레귤레이터를 여러 번 진공 상태로 만들고 불활성 가스로 퍼지하는 것이 레귤레이터의 수명을 크게 연장하는 데 도움이 됩니다. 잠재적 응용 분야는 다음과 같습니다. 질량 분석기, 잔류 가스 분석기(RGA) 테스트, 기체상 크로마토그래피, 배양기, 가스 혼합물 저장, 반도체 가스 샘플링, 레이저 분광법, 전구체 공급, 대기 외 샘플 저장, 화학 가스 레이저용 충전 가스, 일반 가스 혼합 및 저장 응용 분야

이상적인 진공 가스 실린더 혼합 어셈블리, 304L 스테인레스 스틸 실린더, Matheson 3530A 단일 단계 조절기 실린더 등급: DOT-3E-1800 이상적인 진공 가스 실린더 혼합 어셈블리는 다양한 응용 분야에서 공정 가스의 혼합을 단순화하도록 설계되었습니다. 가스 조절기 및 가스 조절기 퍼지 밸브 어셈블리가 완비된 이 시스템은 고압 니들 밸브(최대 6000PSI)를 사용하여 혼합 실린더로의 가스 흐름을 정밀하게 제어합니다. 이 시스템에 장착된 실린더는 304L 스테인리스 스틸이고 벽 두께가 2.4mm이며 권장 최대 1800PSI(@ 37°C)까지 가압할 수 있습니다. 내부 PTFE 코팅 또는 내부 전자연마 마감 처리된 실린더도 이 웹사이트에서 제공됩니다. 실린더 최대 압력 등급은 온도에 따라 다릅니다. 실린더에 해당 온도 제한 이상으로 압력을 가하지 마십시오. 퍼지 시스템은 실린더를 사용하지 않는 동안 조절기를 깨끗하게 유지하는 데 중요합니다. 부식성 가스가 혼합되면 결국 조절기의 씰이 침식되어 시간이 지남에 따라 작동하지 않게 됩니다. 이를 방지하기 위해 퍼지 조립 라인을 불활성 가스 실린더와 진공 펌프에 연결할 수 있습니다. 레귤레이터의 수명을 크게 연장하려면 어느 정도의 부식성 물질이 포함된 혼합 어셈블리를 사용한 후에는 불활성 가스로 레귤레이터를 여러 번 비우고 퍼지하는 것이 좋습니다. 잠재적 응용 분야는 다음과 같습니다: 질량 분석기 잔류 가스 분석기(RGA) 테스트 기체 상 크로마토그래피 인큐베이터 가스 혼합물 저장 반도체 가스 샘플링 레이저 분광학 전구체 전달 외기권 시료 저장 화학 가스용 가스 충전 레이저 일반 가스 혼합 및 저장 응용 분야

원자층 증착(ALD) 액체 전구체 증기 공급 실린더 시스템 실린더 용량: 150cm³ 실린더 등급: DOT-3E-1800 화학 기상 증착(CVD), 유기금속 화학 기상 증착(MOCVD) 및 원자층 증착(ALD) 공정에서는 액체 전구체로부터 기체 상태의 증기를 제어하여 공급해야 합니다. 이 액체 증기 공급 실린더에는 전구체 증기가 완충 가스 흐름 내에 유지되도록 버블러가 내장되어 있습니다. 이 증기 공급 실린더는 내화학성이 뛰어난 316 스테인리스강으로 제작되었으며, 입구와 출구에 1/4회전 볼 밸브가 있습니다. 실린더는 37°C에서 최대 1800 PSI의 압력을 견딜 수 있도록 설계되었습니다. 실린더의 최대 압력 등급은 온도에 따라 달라집니다. 해당 온도 제한을 초과하여 실린더에 압력을 가하지 마십시오. 각 밸브에는 흐름 방향이 표시되어 있으며, 완충 가스가 증착 공정 방향으로 흐르면 실린더 바닥에서 기포가 생성되어 전구체 액체를 통해 상승합니다. 이 시스템은 완충 가스(일반적으로 헬륨, 네온 또는 아르곤) 내에서 희석된 전구체 증기를 일정하고 안정적으로 공급합니다. 이러한 액체 전구체 증기 공급 가스 실린더는 가열 또는 냉각 기능을 통해 전구체의 증기압과 농도를 제어할 수 있습니다. 이를 통해 정확한 유량 농도를 생성할 수 있습니다. 입구 및 출구 밸브는 1/4인치 Swagelok® 피팅 볼 밸브이며, 발화성 액체에는 적합하지 않습니다. 인화성이 높은 발화성 액체를 사용하는 ALD 공정의 경우, 안전성 향상을 위해 다이어프램 밸브로 업그레이드된 공급 실린더를 제공하며, 트리메틸알루미늄(TMA), 트리에틸알루미늄(TEA), 디에틸아연(DEZn), 트리메틸갈륨(TMGa)과 같은 발화성 액체에도 적용 가능합니다. Swagelok® 및 VCR®은 Swagelok Company의 등록 상표입니다. Vac Goop™은 Swagelok Company의 상표입니다. Ideal Vacuum Products는 Swagelok Company의 공식 유통업체가 아닙니다.