시리즈 937B 및 946 진공 게이지 컨트롤러용 MKS 하프 랙 장착 키트.
MKS 부품 번호: RM-13. MKS 하프 랙 마운팅 키트는 937B 및 946 시리즈 진공 게이지 컨트롤러와 호환됩니다. 본 키트는 하드웨어만 포함합니다.
MKS 946은 다용도 하프랙 진공 게이지 측정 및 제어 시스템으로, 최대 6개의 다양한 진공 게이지 및/또는 질량 유량 컨트롤러에 대한 전원과 동시 판독값을 제공하며, 압력 제어 옵션도 제공합니다.
전원 공급 장치/판독 장치는 모든 유량 변환기를 제어하고 표시하도록 설계되었습니다. 유량 설정점은 전면 패널 제어 장치 또는 후면 패널 아날로그 인터페이스를 통해 원격으로 조정할 수 있습니다. 946 진공 시스템 컨트롤러는 6채널/순차 선택 가능한 단일 판독 장치입니다. 질량 유량 컨트롤러 및 질량 유량 판독 장치와 호환됩니다. MKS 946용 신호 케이블은 이 웹사이트에서 구매할 수 있습니다.