폭발 방지 모터, KF-25 입구, 3상 200-230/380-480VAC가 장착된 Anest Iwata ISP-500C 오일 프리 건식 스크롤 펌프.
아네스트 이와타 부품 번호: ISP-500C-TV-EX. 방폭 모터를 탑재한 아네스트 이와타 ISP-500C 무급유 건식 스크롤 펌프는 경제적이고 운영 비용이 저렴합니다. 고성능, 컴팩트한 디자인, 그리고 매우 가벼운 무게를 자랑합니다. 정기적인 유지 보수가 거의 필요 없고, 오일 교환이나 필터, 포어라인 트랩 교체가 필요 없습니다. 오일 밀봉 로터리 베인 펌프의 훌륭한 대안입니다. 이 아네스트 이와타 ISP-500C-TV-EX 무급유 건식 스크롤 펌프는 3상 200-230/380-480VAC, 50/60Hz에서 작동합니다. 이 아네스트 이와타 ISP-500C의 토출량은 60Hz에서 21.2CFM이며, 최대 압력은
7.5x10-3Torr 입니다. 이 펌프는 3상 모터를 사용합니다. 부품 번호 ISP-500C-TV는 수직 흡입 플랜지(V)를 갖춘 3상(T) 펌프를 나타냅니다. 작동 지침서는 아래 PDF 파일에서 확인하실 수 있습니다.
응용 프로그램- 스퍼터링 장비, 진공증착 장비, 이온플레이팅 장비
- 가속기, 싱크로트론 방사선
- 표면 개질, 전자빔 공정
- 가스 회수 장치
- 진공 장비
- 누출 감지기
- 장치 처리 시스템
- 진공로, 열처리로
- 실험실 사용
- 진공 포장기
아네스트 이와타 ISP 시리즈 진공 펌프는 깨끗한 진공 환경을 제공하고 번거로운 윤활유 유지 관리나 실링수 관리의 번거로움을 해소합니다. ISP 시리즈는 공랭식 시스템으로 설치 제한이 없습니다. ISP 진공 펌프는 대기압에서 최대 압력까지 낮은 전력 소비를 유지합니다.
