애질런트 바리안 563 유리 이온 게이지 튜브, 텅스텐 필라멘트, 1인치 NONEX 포트, 진공 압력 게이지. 이온 게이지 튜브는 1인치 포트 진공 연결부를 갖추고 있으며 작동 범위는
1x10⁻³ Torr 에서
2x10⁻¹⁰ Torr까지입니다. 이 이온 게이지 튜브는 대부분의 최신 열음극 이온 게이지 튜브와 호환됩니다. 감도는 Torr⁻¹이며 표준 작동 전압(컬렉터 0VDC, 그리드 +180VDC, 필라멘트 +30VDC, 필라멘트 전압 4VAC)을 사용합니다. 고진공 및 초고진공 범위에서는 백금 차폐막이 외부 전기장이 낮은 이온 전류에 영향을 미치는 것을 방지합니다. 생성되는 이온 수가 훨씬 많은 고압 범위에서는 백금 전도성 코팅이 유리 튜브 내부에 축적될 수 있는 정전하를 제거합니다. 따라서 563 튜브는 튜브의 전체 작동 범위에서 탁월한 성능을 제공합니다.
당사의 교체용 이온 게이지 튜브는 Granville Phillips, MKS Instruments, Perkin Elmer, Varian 및 Veeco에서 제조한 대부분의 열음극 이온 게이지 컨트롤러와 호환됩니다.
Agilent Varian 563 이온 게이지 사용 설명서는 아래 다운로드 링크에서 PDF 파일을 다운로드하십시오. 일반적으로 다음과 같은 대상과 협업합니다:- 그랜빌 필립스 모델 260, 270, 280, 303, 306, 307, 330, 340, 350 등.
- MKS Instruments 290, 919, 929
- 퍼킨 엘머 DGC3
- Varian 831, 836, 842, 844, 845, 880, 971-0003, 971-0014, 971-1008, 멀티 게이지, Varian 572 튜브 K7360301
- 비코 RG2, RG3, RG21, RG31, RG81, RG83, RG84, RG830, RG840, RG1000, RG1002
