이 중형 Ideal Vacuum Super-Seal 공압 벨로우즈 90° 각도 밸브는 외경 3인치(3인치)의 용접 가능한 튜브 입구 및 출구 포트를 갖추고 있어 다양한 유형의 입구 및 출구 포트 플랜지로 맞춤 제작하기에 적합합니다. 이 밸브는 주로 고진공 범위( ^10⁻⁸ Torr)에서 사용하도록 설계되었으며, 누출률은 ^10⁻⁹ Torr l/s(He)이지만 최대 60~80psi의 양압에서도 사용할 수 있습니다. 이 밸브는 304L 스테인리스강 밸브 본체 및 메커니즘, 알루미늄 액추에이터, 그리고 Viton 벨로우즈 시트 O링 씰로 구성되어 있습니다. Super-Seal 밸브는 최대 100°C까지 베이킹 가능합니다(밸브 본체에 한함). 이 밸브는 어떤 방향으로든 장착할 수 있습니다.

이 중형 슈퍼씰 밸브는 개폐 모두에 공기가 필요합니다. 스프링 복귀 기능이 없으므로 자동으로 닫히지 않습니다. 60~80psi 범위의 저용량 건조 압축 공기가 필요합니다. 자동 스프링 폐쇄 기능이 없기 때문에 전원 또는 공기 공급이 중단될 경우 챔버 진공을 유지하는 고장 보호 기능을 제공하지 못합니다.

밸브를 열고 닫는 공기 흐름은 (중형) 복동식 전기 솔레노이드에 의해 제어됩니다. 솔레노이드 전압은 12VDC, 24VDC, 110VAC, 220VAC의 네 가지 옵션 중에서 선택할 수 있습니다.

슈퍼씰 밸브에는 기계식 리드 스위치와 트랜지스터 방식(NPN 및 PNP)을 포함한 세 가지 위치 표시 센서가 제공됩니다. 각 센서에는 밸브의 상태(열림 또는 닫힘)를 시각적으로 확인할 수 있는 LED가 있습니다. 이 센서는 보조 장치를 작동시키거나 제어하는 데에도 사용할 수 있습니다.

Super-Seal 밸브 제품군은 용접 가능한 튜브, KF, ISO-K 및 Conflat(CF) 플랜지 옵션을 제공하며, 외경 3/4인치 튜브(KF-16)부터 외경 10인치 튜브(ISO-K 250)까지 다양한 크기로 제공되고, 많은 제품이 직각(90°) 및 인라인 버전으로도 제공됩니다.

이 밸브는 가격 대비 성능이 뛰어나고 신뢰성이 매우 높아 반도체 제조, 플라즈마 물리학 연구, 원자력 가속기 등의 응용 분야에 유용합니다. 진공 공정 자동화의 핵심 부품이며 평균 고장률(MTTF)이 백만 사이클 이상입니다.

솔레노이드와 위치 표시 센서는 별도로 판매됩니다.

아래에서 기술 사양을 확인하시고, Ideal Vacuum Super-Seal 공압 벨로우즈 밸브 및 액세서리 제품군에 대한 자세한 내용은 사용자 설명서를 다운로드하십시오.