Ideal Vacuum 气体钢瓶混合组件，304L 不锈钢钢瓶，Matheson 3530A 单级调压器。钢瓶等级：DOT-3E-1800，304L 不锈钢。Ideal Vacuum 气体钢瓶混合组件旨在简化各种应用中工艺气体的混合。该系统包含气体调压器和气体调压器吹扫阀组件，采用高压针阀（最高可达 6000 PSI）来精确控制进入混合钢瓶的气体流量。该系统配备的钢瓶采用 304L 不锈钢材质，壁厚 2.4mm，建议最大压力为 1800 PSI（@ 37°C）。本网站还提供内涂层为 PTFE 或内表面经电抛光处理的钢瓶。钢瓶最大额定压力会随温度而变化。请勿将气瓶加压至超过其各自的温度限制。吹扫系统对于在气瓶不使用时保持减压阀清洁至关重要。腐蚀性气体的混合最终会腐蚀减压阀的密封件，导致其逐渐失效。为避免这种情况，吹扫组件可连接至惰性气体气瓶和真空泵。建议在使用混合组件处理任何数量的腐蚀性气体后，使用惰性气体对减压阀进行多次抽真空和吹扫，以显著延长减压阀的使用寿命。潜在应用包括：质谱仪残余气体分析仪 (RGA) 测试、气相色谱、培养箱气体混合物存储、半导体气体采样、激光光谱、前驱体输送、大气外样品存储、化学气体激光器填充气体、通用气体混合和存储应用。

理想真空气瓶混合组件，304L 不锈钢气瓶，Matheson 3530A 单级调节气瓶等级：DOT-3E-1800 理想真空气瓶混合组件旨在简化各种应用中工艺气体的混合。该系统配有气体调节器和气体调节器吹扫阀组件，使用高压针阀（高达 6000 PSI）来帮助精确控制进入混合气瓶的气体流量。该系统配备的气缸为 304L 不锈钢，壁厚为 2.4mm，可加压至建议的最大压力 1800 PSI（@ 37°C）。本网站还提供带有内部 PTFE 涂层或内部电抛光表面处理的气缸。气缸最大压力额定值因温度而异。请勿对钢瓶加压超过其各自的温度限制 吹扫系统对于在钢瓶不使用时保持调节器清洁至关重要。混合的腐蚀性气体最终会腐蚀调节器的密封件，导致其随着时间的推移而失效。为了避免这种情况，吹扫装配线可以连接到惰性气体钢瓶和真空泵。建议在将混合组件与任何数量的腐蚀剂一起使用后，用惰性气体对调节器进行抽真空和吹扫几次，以大大延长调节器的使用寿命。潜在应用包括： 质谱仪 残余气体分析仪 (RGA) 测试 气相色谱仪 培养箱 气体混合物存储 半导体气体采样 激光光谱学 前体输送 大气层外样品存储 化学气体的填充气体 激光 一般气体混合和存储应用

原子层沉积 (ALD) 液态前驱体蒸汽输送钢瓶系统 钢瓶容积：150cm³ 钢瓶等级：DOT-3E-1800 在化学气相沉积 (CVD)、金属有机化学气相沉积 (MOCVD) 和原子层沉积 (ALD) 工艺中，需要对液态前驱体蒸汽进行可控输送。这些液态蒸汽输送钢瓶内置鼓泡器，有助于将前驱体蒸汽控制在缓冲气流中。这些蒸汽输送钢瓶采用耐化学腐蚀的 316 不锈钢制成，入口和排气口均配有四分之一圈球阀。钢瓶额定压力高达 1800 PSI（37°C）。钢瓶最大额定压力随温度而异。切勿使钢瓶压力超过其各自的温度限制。每个阀门上都印有流向标识。当缓冲气体沿正确的方向流向沉积过程时，钢瓶底部会形成气泡，气泡会上升穿过前驱体液体。这使得稀释的前驱体蒸汽能够在缓冲气体（通常为氦气、氖气或氩气）中保持稳定持续的流动。这些液态前驱体蒸汽输送气瓶可以加热或冷却，以控制前驱体的蒸汽压力和浓度。这可以实现精确的流量浓度控制。入口和出口阀是 1/4 英寸 Swagelok® 球阀，不适用于易燃液体。对于使用高度易燃易燃液体的 ALD 应用，我们的输送气瓶已升级为隔膜阀，以提高安全性，从而适用于三甲基铝 (TMA)、三乙基铝 (TEA)、二乙基锌 (DEZn) 和三甲基镓 (TMGa) 等易燃液体。Swagelok® 和 VCR® 是 Swagelok 公司的注册商标。Vac Goop™ 是 Swagelok 公司的商标。Ideal Vacuum Products 不是 Swagelok 公司的授权经销商。