HVA 高真空 HV 气动闸阀 ISO-F DN63 法兰，Viton 闸门和阀盖密封件，304 不锈钢，PN：11210-0253R。 ISO-63 螺栓固定法兰，带 M8 x 1.25 螺纹。包括内置簧片开关位置指示器。 HVA 零件号：11210-0253R。这些 HVA 品牌气动操作系列 11000 闸阀在美国制造，配有带 M8 x 1.25 盲攻孔的 ISO-F DN 63 真空法兰。它们的额定值为高真空 (HV)，并遵循 DIN 28404 和 ISO 1609 中所述的真空技术标准。HVA 零件号：11210-0253R。 HVA 气动真空闸阀具有强制锁定中心机构，可在断电或气压损失时保持阀门锁定关闭。闸板、阀盖和波纹管密封件由 Viton 氟橡胶 (FKM) 材料制成。它们由耐腐蚀的 304 不锈钢闸门和阀体制成，在需要维修之前的典型寿命为 100,000 次循环（取决于工艺）。 HVA 阀体是真空阀行业中内表面积最小的阀体之一。阀体和所有主要内部部件均采用专有工艺在 1100°C、1x10-6 Torr 的真空炉中钎焊，可确保最大程度的接头完整性、最大限度地减少操作过程中的排气、消除虚拟泄漏或滞留区域的可能性，并最大限度地减少发现的阀体变形在传统焊接阀门中。带有 ASA、ISO 或 KF 法兰的 HVA 闸阀额定用于高真空应用，但由于 O 形圈透气性，极限压力限制在 10-8 Torr 范围内。 HVA 闸阀的氦泄漏率为 1.5 x 10-10 Torr l/sec，可烘烤至 150 °C（阀门打开或关闭）。这些气动操作阀包括 1/4" OD 管推接接头。气动执行器内置有打开和关闭位置传感器，并且是所有 HVA 气动闸阀的标准配置。这些开/关开关可用于激活指示器灯或用于控制更复杂或自动化的真空保护系统。气动阀电磁阀有 24 VDC 和 120 VAC 型号，单独出售。我们提供的所有 HVA 闸阀都有维修套件。HVA 闸阀经常使用与低温泵、涡轮泵、扩散泵和离子高真空泵结合使用。它们有高真空和超高真空品种，尺寸如下：快速法兰尺寸 KF-16、KF-25、KF-40 和 KF- 50 ISO LF 法兰 ISO-63、-100、-160、-200、-250、-320、-400 和 -500 尺寸 ASA ANSI 尺寸 2、4 和 6 英寸尺寸 Conflat (CF) 1.33 、2.75、3.375 、4.5、6、8、10、12、13.25 和 14 英寸尺寸 安装手册和操作说明可在下载中找到。

HVA 高真空 HV 气动闸阀 ISO-F DN100 法兰，Viton 闸阀和阀盖密封件，304 不锈钢，PN：11210-0403R。ISO-100 螺栓固定法兰，带 M8 x 1.25 螺纹。包括内置簧片开关位置指示器。HVA 零件编号：11210-0403R。这些 HVA 品牌气动 11000 系列闸阀在美国制造，具有 ISO-F DN 100 真空法兰和 M8 x 1.25 盲孔。它们适用于高真空 (HV) 并遵循 DIN 28404 和 ISO 1609 中所述的真空技术标准。HVA 零件编号：11210-0403R。HVA 气动真空闸阀具有正锁定中心机构，可在断电或断气时保持阀门锁定关闭。闸板、阀盖和波纹管密封件均由 Viton 氟橡胶 (FKM) 材料制成。它们由耐腐蚀的 304 不锈钢闸板和阀体制成，在需要维修之前，其典型使用寿命为 100,000 次循环（取决于工艺）。HVA 阀体是真空阀门行业中内表面面积最小的阀体之一。阀体和所有主要内部组件均采用专有工艺在 1100°C 和 1x10-6 Torr 下真空炉钎焊而成，可确保最大程度的接头完整性，最大限度地减少操作过程中的排气，消除虚拟泄漏或滞留区域的可能性，并最大限度地减少传统焊接阀门中存在的阀体变形。带有 ASA、ISO 或 KF 法兰的 HVA 闸阀适用于高真空应用，由于 O 形圈的透气性，极限压力限制在 10-8 Torr 范围内。 HVA 闸阀的氦气泄漏率为 1.5 x 10-10 Torr l/秒，可烘烤至 150°C（阀门打开或关闭时）。这些气动阀门包括 1/4" OD 管道推入式连接配件。气动执行器内置有开启和关闭位置传感器，是所有 HVA 气动闸阀的标准配置。这些开/关开关可用于激活指示灯或用于控制更复杂或自动化的真空保护系统。气动阀的螺线管有 24 VDC 和 120 VAC 两种，单独出售。我们出售的所有 HVA 闸阀均提供维修套件。HVA 闸阀通常与低温、涡轮、扩散和离子高真空泵结合使用。它们有以下尺寸的高真空和超高真空品种：快速法兰尺寸 KF-16、KF-25、KF-40 和 KF-50 ISO LF 法兰 ISO-63、-80、-100、-160、-200、-250、-320、-400 和 -500 尺寸 ASA ANSI 尺寸 2、4、和 6 英寸尺寸 Conflat (CF) 1.33、2.75、3.375、4.5、6、8、10、12、13.25 和 14 英寸尺寸安装手册和操作说明可在下载中找到。

MKS R 系列闸阀 ISO-F 100、DN100、气动、24 VDC 电磁阀、双位置指示器开关 (N/O)、4 英寸内径、Viton 密封件、螺栓固定法兰 (M8 x 1.25)、不锈钢阀体。这些 MKS R 系列闸阀针对半导体和一般真空应用中的低真空泵和低真空管线的隔离进行了优化。这些 R 系列闸阀非常适合低至 1x10-7 Torr 的高真空 (HV) 应用，并具有包括气动和位置指示器在内的选项。 R 系列采用弹性体轴密封件作为执行器密封件，可为粗真空应用提供经济高效、高价值的高性能套件。此清单适用于 ISO-100 螺栓固定式真空法兰版本，配有气动空气执行器，包括 24 VDC 电磁阀和双位置指示器开关（常开）。产品特点：卓越的温度均匀性确保内表面无冷点 DN80 和 DN100 > 200,000 次循环 DN160 > 100,000 次循环 DN80、DN100 和 DN160mm 尺寸可供选择 产品配置：阀门孔径/法兰尺寸：DN100 材料：不锈钢 驱动方式：气动 密封材料： Viton/FKM 限位开关：两个开关均为常开 (N/O) 磁簧开关：额定电流 < 80mA 电磁阀：24 VDC 加热选项：可加热至 105°C 压力范围（高真空 HV）：1x10-7 至 1200 Torr（ 1.3* 10-10 - 1.6 bar) 气动压力：5.4 ±1.3 atm (80 ±20 psig) 执行器密封：弹性体轴密封 - Viton 侧向泄漏率：1x10-9 atm*cc/sec 外部泄漏率：1x10- 9 atm*cc/sec 最大压差 - 运行：22.5 Torr (30 mbar) 腔室侧高最大压差 - 关闭：1.6 atm，任一方向

MKS T2BA 蝶形排气节流阀，KF40，“F 型密封”（挡板上的 Viton O 形圈），低功率电机（8 英寸磅），105°C，RS232，带 +/-15VDC 传感器电源（适用于 Baratron） ）。 MKS 零件号：T2BA01K320003V210025。 MKS T2BA 排气节流阀专为需要简单而先进的压力控制系统的应用而设计。 T2BA 将所有控制、通信和驱动电路集成在节流阀组件内，从而无需安装单独的压力控制电子模块。独特的基于模型的控制算法和高速运行驱动系统以最小的超调快速达到设定点，并确保可重复的工艺配方，无需操作员参与。产品特点：紧凑的压力控制系统 - 带有集成板载控制器电子设备的阀门 - 易于集成，无需额外的电缆或机架空间 提供高速配置（<250 毫秒。打开到关闭） - 更快的设定点和流量恢复和压力扰动 - 实现高工具吞吐量 可选的高扭矩驱动器 - 延长恶劣过程条件下的正常运行时间 带量程自动切换功能的双通道 Baratron® 传感器输入 - 支持宽动态压力控制范围 - 实现高压力控制精度 基于先进模型的压力控制算法- 最大限度地缩短达到设定点的时间 - 确保可重复的工艺配方，无需操作员参与 提供低电导软密封版本 - 即使在低流量下也支持高压工艺（Epi、RTP、SACVD 等） - 适用于“室内排气”或大气应用 为连接的 Baratron 电容压力计（某些型号可选）提供电源 T2BA 排气节流阀可以在两种主要模式下运行：挡板定位或压力控制，其中任何一种模式都可以由用户通过 I/O 接口激活。所有可调节的设置参数、运行时操作和诊断信息均可通过通信接口获得。 EtherCAT T2BA 与 EtherCAT 压力计完全兼容。模拟压力计需要网关。下游压力控制技术提供宽动态范围，适用于所有类型的泵，提供快速响应，并且能够耐受大多数废气。 “智能仪器”概念可以节省宝贵的系统空间，提高抗噪能力，并轻松访问时间关键的过程和校准信息以及板载诊断功能。 T2BA 采用直接驱动高速步进电机。阀门驱动器提供高分辨率压力控制。可选的高扭矩直驱电机可延长正常运行时间并延长预防性维护周期，这在要求严苛的流程中具有巨大优势，因为仅一小时的停机时间就可能导致数千美元的损失。 T2BA 还提供齿轮版本，可提供最大扭矩并能够在恶劣环境下长期运行。T2BA 阀门可选择使用 MKS 外部加热器加热至 200°C（需要正确选择密封材料）。 T2BA 提供独特的 MKS 低电导版本，可在大气应用中实现高速压力控制，包括排气压力控制、CVD 和 RTP，而无需依赖基于 O 形圈的设计来最大限度地减少阀门电导。提供基于编码器的位置反馈系统用于诊断目的。该阀门采用耐腐蚀 316 不锈钢制成，与大多数工艺气体兼容，并提供标准 ISO 法兰样式，孔径为 1" 至 4"（可根据定制提供其他尺寸）。提供的标准密封件是 Viton®，可以指定替代材料，以与各种工艺化学和/或加热应用兼容。

MKS T2BA 蝶形排气节流阀，ISO100，非密封（无 O 形圈；0.003 英寸径向间隙），低功率电机（8 英寸磅），105°C，氟橡胶（阀体密封），RS232，带 +/- 15VDC 传感器电源（用于 Baratron）。MKS 零件号：T2BA04N220303V210025。MKS T2BA 排气节流阀专为需要简单而先进的压力控制系统的应用而设计。T2BA 集成了所有控制、通信和驱动电路在节流阀组件内，从而无需安装单独的压力控制电子模块。独特的基于模型的控制算法和高速运行驱动系统以最小的超调快速设定点，并确保可重复的工艺配方，无需操作员参与产品特点：紧凑的压力控制系统 - 带有集成板载控制器电子设备的阀门 - 易于集成，无需额外的电缆或机架空间 提供高速配置（<250 毫秒。打开到关闭） - 更快的设定点和恢复流量和压力扰动 - 实现高工具吞吐量 可选的高扭矩驱动器 - 延长恶劣过程条件下的正常运行时间 带量程自动切换功能的双通道 Baratron® 传感器输入 - 支持宽动态压力控制范围 - 实现高压力控制精度 基于先进模型的压力控制算法 - 最大限度地缩短达到设定点的时间 - 确保可重复的工艺配方，无需操作员参与 提供低电导软密封版本 - 即使在低流量下也支持高压工艺（Epi、RTP、SACVD 等） - 适用于“室内排气”或大气应用 为连接的 Baratron 电容压力计（某些型号可选）提供电源 T2BA 排气节流阀可以在两种主要模式下运行：挡板定位或压力控制，其中任何一种模式都可以由用户通过 I/O 接口激活。所有可调节的设置参数、运行时操作和诊断信息均可通过通信接口获得。 EtherCAT T2BA 与 EtherCAT 压力计完全兼容。模拟压力计需要网关。下游压力控制技术提供宽动态范围，适用于所有类型的泵，提供快速响应，并且能够耐受大多数废气。 “智能仪器”概念可以节省宝贵的系统空间，提高抗噪能力，并轻松访问时间关键的过程和校准信息以及板载诊断功能。 T2BA 采用直接驱动高速步进电机。阀门驱动器提供高分辨率压力控制。可选的高扭矩直驱电机可延长正常运行时间并延长预防性维护周期，这在要求严苛的流程中具有巨大优势，因为仅一小时的停机时间就可能导致数千美元的损失。 T2BA 还提供齿轮版本，可提供最大扭矩并能够在恶劣环境下长期运行。T2BA 阀门可选择使用 MKS 外部加热器加热至 200°C（需要正确选择密封材料）。 T2BA 提供独特的 MKS 低电导版本，可在大气应用中实现高速压力控制，包括排气压力控制、CVD 和 RTP，而无需依赖基于 O 形圈的设计来最大限度地减少阀门电导。提供基于编码器的位置反馈系统用于诊断目的。该阀门采用耐腐蚀 316 不锈钢制成，与大多数工艺气体兼容，并提供标准 ISO 法兰样式，孔径为 1" 至 4"（可根据定制提供其他尺寸）。提供的标准密封件是 Viton®，可以指定替代材料，以与各种工艺化学和/或加热应用兼容。

HVA 高真空 HV 气动闸阀 ISO-F DN80 法兰，Viton 闸门和阀盖密封件，304 不锈钢，PN：11210-0303R。 ISO-80 螺栓固定法兰，带 M8 x 1.25 螺纹。包括内置簧片开关位置指示器。 HVA 零件号：11210-0303R。这些 HVA 品牌气动操作系列 11000 闸阀在美国制造，配有带 M8 x 1.25 盲攻孔的 ISO-F DN 80 真空法兰。它们的额定值为高真空 (HV)，并遵循 DIN 28404 和 ISO 1609 中所述的真空技术标准。HVA 零件号：11210-0303R。 HVA 气动真空闸阀具有强制锁定中心机构，可在断电或气压损失时保持阀门锁定关闭。闸板、阀盖和波纹管密封件由 Viton 氟橡胶 (FKM) 材料制成。它们由耐腐蚀的 304 不锈钢闸门和阀体制成，在需要维修之前的典型寿命为 100,000 次循环（取决于工艺）。 HVA 阀体是真空阀行业中内表面积最小的阀体之一。阀体和所有主要内部部件均采用专有工艺在 1100°C、1x10-6 Torr 的真空炉中钎焊，可确保最大程度的接头完整性、最大限度地减少操作过程中的排气、消除虚拟泄漏或滞留区域的可能性，并最大限度地减少发现的阀体变形在传统焊接阀门中。带有 ASA、ISO 或 KF 法兰的 HVA 闸阀额定用于高真空应用，但由于 O 形圈透气性，极限压力限制在 10-8 Torr 范围内。 HVA 闸阀的氦泄漏率为 1.5 x 10-10 Torr l/sec，可烘烤至 150 °C（阀门打开或关闭）。这些气动操作阀包括 1/4" OD 管推接式接头。气动执行器内置有打开和关闭位置传感器，并且是所有 HVA 气动闸阀的标准配置。这些开/关开关可用于激活指示器灯或用于控制更复杂或自动化的真空保护系统。气动阀电磁阀有 24 VDC 和 120 VAC 型号，单独出售。我们提供的所有 HVA 闸阀都有维修套件。HVA 闸阀经常使用与低温泵、涡轮泵、扩散泵和离子高真空泵结合使用。它们有高真空和超高真空品种，尺寸如下：快速法兰尺寸 KF-16、KF-25、KF-40 和 KF- 50 ISO LF 法兰 ISO-63、-80、-100、-160、-200、-250、-320、-400 和 -500 尺寸 ASA ANSI 尺寸 2、4 和 6 英寸尺寸 Conflat (CF) 1.33 、 2.75、3.375、4.5、6、8、10、12、13.25 和 14 英寸尺寸 可下载安装手册和操作说明。

HVA 高真空 HV 气动闸阀 ISO-F DN160 法兰，Viton 闸门和阀盖密封件，304 不锈钢，PN：11210-0603R。 ISO-160 螺栓固定法兰，带 M10 x 1.50 螺纹。包括内置簧片开关位置指示器。 HVA 零件号：11210-0603R。这些 HVA 品牌气动操作系列 11000 闸阀在美国制造，配有带 M10 x 1.50 盲攻孔的 ISO-F DN 160 真空法兰。它们的额定值为高真空 (HV)，并遵循 DIN 28404 和 ISO 1609 中所述的真空技术标准。HVA 零件号：11210-0603R。 HVA 气动真空闸阀具有强制锁定中心机构，可在断电或气压损失时保持阀门锁定关闭。闸板、阀盖和波纹管密封件由 Viton 氟橡胶 (FKM) 材料制成。它们由耐腐蚀的 304 不锈钢闸门和阀体制成，在需要维修之前的典型寿命为 100,000 次循环（取决于工艺）。 HVA 阀体是真空阀行业中内表面积最小的阀体之一。阀体和所有主要内部部件均采用专有工艺在 1100°C、1x10-6 Torr 的真空炉中钎焊，可确保最大程度的接头完整性、最大限度地减少操作过程中的排气、消除虚拟泄漏或滞留区域的可能性，并最大限度地减少发现的阀体变形在传统焊接阀门中。带有 ASA、ISO 或 KF 法兰的 HVA 闸阀额定用于高真空应用，但由于 O 形圈透气性，极限压力限制在 10-8 Torr 范围内。 HVA 闸阀的氦泄漏率为 1.5 x 10-10 Torr l/sec，可烘烤至 150 °C（阀门打开或关闭）。这些气动操作阀包括 1/4" OD 管推接式接头。气动执行器内置有打开和关闭位置传感器，并且是所有 HVA 气动闸阀的标准配置。这些开/关开关可用于激活指示器灯或用于控制更复杂或自动化的真空保护系统。气动阀电磁阀有 24 VDC 和 120 VAC 型号，单独出售。我们提供的所有 HVA 闸阀都有维修套件。HVA 闸阀经常使用与低温泵、涡轮泵、扩散泵和离子高真空泵结合使用。它们有高真空和超高真空品种，尺寸如下：快速法兰尺寸 KF-16、KF-25、KF-40 和 KF- 50 ISO LF 法兰 ISO-63、-100、-160、-200、-250、-320、-400 和 -500 尺寸 ASA ANSI 尺寸 2、4 和 6 英寸尺寸 扁平 (CF) 1.33、2.75、3.375 、4.5、6、8、10、12、13.25 和 14 英寸尺寸 安装手册和操作说明可在下载中找到。

HVA 高真空 HV 气动闸阀 ISO-F DN200 法兰，Viton 闸门和阀盖密封件，304 不锈钢，PN：11210-0603R。 ISO-200 螺栓固定法兰，带 M10 x 1.50 螺纹。包括内置簧片开关位置指示器。 HVA 零件号：11210-0803R。这些 HVA 品牌气动操作系列 11000 闸阀在美国制造，配有带 M10 x 1.50 盲攻孔的 ISO-F DN 200 真空法兰。它们的额定值为高真空 (HV)，并遵循 DIN 28404 和 ISO 1609 中所述的真空技术标准。HVA 零件号：11210-0803R。 HVA 气动真空闸阀具有强制锁定中心机构，可在断电或气压损失时保持阀门锁定关闭。闸板、阀盖和波纹管密封件由 Viton 氟橡胶 (FKM) 材料制成。它们由耐腐蚀的 304 不锈钢闸门和阀体制成，在需要维修之前的典型寿命为 100,000 次循环（取决于工艺）。 HVA 阀体是真空阀行业中内表面积最小的阀体之一。阀体和所有主要内部部件均采用专有工艺在 1100°C、1x10-6 Torr 的真空炉中钎焊，可确保最大程度的接头完整性、最大限度地减少操作过程中的排气、消除虚拟泄漏或滞留区域的可能性，并最大限度地减少发现的阀体变形在传统焊接阀门中。带有 ASA、ISO 或 KF 法兰的 HVA 闸阀额定用于高真空应用，但由于 O 形圈透气性，极限压力限制在 10-8 Torr 范围内。 HVA 闸阀的氦泄漏率为 1.5 x 10-10 Torr l/sec，可烘烤至 150 °C（阀门打开或关闭）。这些气动操作阀包括 1/4" OD 管推接接头。气动执行器内置有打开和关闭位置传感器，并且是所有 HVA 气动闸阀的标准配置。这些开/关开关可用于激活指示器灯或用于控制更复杂或自动化的真空保护系统。气动阀电磁阀有 24 VDC 和 120 VAC 型号，单独出售。我们提供的所有 HVA 闸阀都有维修套件。HVA 闸阀经常使用与低温泵、涡轮泵、扩散泵和离子高真空泵结合使用。它们有高真空和超高真空品种，尺寸如下：快速法兰尺寸 KF-16、KF-25、KF-40 和 KF- 50 ISO LF 法兰 ISO-63、-100、-160、-200、-250、-320、-400 和 -500 尺寸 ASA ANSI 尺寸 2、4 和 6 英寸尺寸 Conflat (CF) 1.33 、2.75、3.375 、4.5、6、8、10、12、13.25 和 14 英寸尺寸 安装手册和操作说明可在下载中找到。

HVA 高真空 HV 气动闸阀 ISO-F DN250 法兰，Viton 闸门和阀盖密封件，304 不锈钢，PN：11210-1003R。 ISO-250 螺栓固定法兰，带 M10 x 1.50 螺纹。包括内置簧片开关位置指示器。 HVA 零件号：11210-1003R。这些 HVA 品牌气动操作系列 11000 闸阀在美国制造，配有带 M10 x 1.50 盲攻孔的 ISO-F DN 250 真空法兰。它们的额定值为高真空 (HV)，并遵循 DIN 28404 和 ISO 1609 中所述的真空技术标准。HVA 零件号：11210-1003R。 HVA 气动真空闸阀具有强制锁定中心机构，可在断电或气压损失时保持阀门锁定关闭。闸板、阀盖和波纹管密封件由 Viton 氟橡胶 (FKM) 材料制成。它们由耐腐蚀的 304 不锈钢闸门和阀体制成，在需要维修之前的典型寿命为 100,000 次循环（取决于工艺）。 HVA 阀体是真空阀行业中内表面积最小的阀体之一。阀体和所有主要内部部件均采用专有工艺在 1100°C、1x10-6 Torr 的真空炉中钎焊，可确保最大程度的接头完整性、最大限度地减少操作过程中的排气、消除虚拟泄漏或滞留区域的可能性，并最大限度地减少发现的阀体变形在传统焊接阀门中。带有 ASA、ISO 或 KF 法兰的 HVA 闸阀额定用于高真空应用，但由于 O 形圈透气性，极限压力限制在 10-8 Torr 范围内。 HVA 闸阀的氦泄漏率为 1.5 x 10-10 Torr l/sec，可烘烤至 150 °C（阀门打开或关闭）。这些气动操作阀包括 1/4" OD 管推接式接头。气动执行器内置有打开和关闭位置传感器，并且是所有 HVA 气动闸阀的标准配置。这些开/关开关可用于激活指示器灯或用于控制更复杂或自动化的真空保护系统。气动阀电磁阀有 24 VDC 和 120 VAC 型号，单独出售。我们提供的所有 HVA 闸阀都有维修套件。HVA 闸阀经常使用与低温泵、涡轮泵、扩散泵和离子高真空泵结合使用。它们有高真空和超高真空品种，尺寸如下：快速法兰尺寸 KF-16、KF-25、KF-40 和 KF- 50 ISO LF 法兰 ISO-63、-100、-160、-200、-250、-320、-400 和 -500 尺寸 ASA ANSI 尺寸 2、4 和 6 英寸尺寸 扁平 (CF) 1.33、2.75、3.375 、4.5、6、8、10、12、13.25 和 14 英寸尺寸 安装手册和操作说明可在下载中找到。

HVA 高真空 HV 气动闸阀 ISO-F DN320 法兰，Viton 闸门和阀盖密封件，304 不锈钢，PN：11210-1203R。 ISO-320 螺栓固定法兰，带 M12 x 1.75 螺纹。包括内置簧片开关位置指示器。 HVA 零件号：11210-1203R。这些 HVA 品牌气动操作系列 11000 闸阀在美国制造，配有带 M12 x 1.75 盲攻孔的 ISO-F DN 320 真空法兰。它们的额定值为高真空 (HV)，并遵循 DIN 28404 和 ISO 1609 中所述的真空技术标准。HVA 零件号：11210-1203R。 HVA 气动真空闸阀具有强制锁定中心机构，可在断电或气压损失时保持阀门锁定关闭。闸板、阀盖和波纹管密封件由 Viton 氟橡胶 (FKM) 材料制成。它们由耐腐蚀的 304 不锈钢闸门和阀体制成，在需要维修之前的典型寿命为 100,000 次循环（取决于工艺）。 HVA 阀体是真空阀行业中内表面积最小的阀体之一。阀体和所有主要内部部件均采用专有工艺在 1100°C、1x10-6 Torr 的真空炉中钎焊，可确保最大程度的接头完整性、最大限度地减少操作过程中的排气、消除虚拟泄漏或滞留区域的可能性，并最大限度地减少发现的阀体变形在传统焊接阀门中。带有 ASA、ISO 或 KF 法兰的 HVA 闸阀额定用于高真空应用，但由于 O 形圈透气性，极限压力限制在 10-8 Torr 范围内。 HVA 闸阀的氦泄漏率为 1.5 x 10-10 Torr l/sec，可烘烤至 150 °C（阀门打开或关闭）。这些气动操作阀包括 1/4" OD 管推接接头。气动执行器内置有打开和关闭位置传感器，并且是所有 HVA 气动闸阀的标准配置。这些开/关开关可用于激活指示器灯或用于控制更复杂或自动化的真空保护系统。气动阀电磁阀有 24 VDC 和 120 VAC 型号，单独出售。我们提供的所有 HVA 闸阀都有维修套件。HVA 闸阀经常使用与低温泵、涡轮泵、扩散泵和离子高真空泵结合使用。它们有高真空和超高真空品种，尺寸如下：快速法兰尺寸 KF-16、KF-25、KF-40 和 KF- 50 ISO LF 法兰 ISO-63、-100、-160、-200、-250、-320、-400 和 -500 尺寸 ASA ANSI 尺寸 2、4 和 6 英寸尺寸 Conflat (CF) 1.33 、2.75、3.375 、4.5、6、8、10、12、13.25 和 14 英寸尺寸 安装手册和操作说明可在下载中找到。

HVA 高真空 HV 气动闸阀 ISO-F DN400 法兰，Viton 闸门和阀盖密封件，304 不锈钢，PN：11212-1603R。 ISO-400 螺栓固定法兰，带 M12 x 1.75 螺纹。包括内置簧片开关位置指示器。 HVA 零件号：11212-1603R。这些 HVA 品牌气动操作系列 11000 闸阀在美国制造，配有带 M12 x 1.75 盲攻孔的 ISO-F DN 400 真空法兰。它们的额定值为高真空 (HV)，并遵循 DIN 28404 和 ISO 1609 中所述的真空技术标准。HVA 零件号：11212-1603R。 HVA 气动真空闸阀具有强制锁定中心机构，可在断电或气压损失时保持阀门锁定关闭。闸板、阀盖和波纹管密封件由 Viton 氟橡胶 (FKM) 材料制成。它们由耐腐蚀的 304 不锈钢闸门和阀体制成，在需要维修之前的典型寿命为 100,000 次循环（取决于工艺）。 HVA 阀体是真空阀行业中内表面积最小的阀体之一。阀体和所有主要内部部件均采用专有工艺在 1100°C、1x10-6 Torr 的真空炉中钎焊，可确保最大程度的接头完整性、最大限度地减少操作过程中的排气、消除虚拟泄漏或滞留区域的可能性，并最大限度地减少发现的阀体变形在传统焊接阀门中。带有 ASA、ISO 或 KF 法兰的 HVA 闸阀额定用于高真空应用，但由于 O 形圈透气性，极限压力限制在 10-8 Torr 范围内。 HVA 闸阀的氦泄漏率为 1.5 x 10-10 Torr l/sec，可烘烤至 150 °C（阀门打开或关闭）。这些气动操作阀包括 1/4" OD 管推接接头。气动执行器内置有打开和关闭位置传感器，并且是所有 HVA 气动闸阀的标准配置。这些开/关开关可用于激活指示器灯或用于控制更复杂或自动化的真空保护系统。气动阀电磁阀有 24 VDC 和 120 VAC 型号，单独出售。我们提供的所有 HVA 闸阀都有维修套件。HVA 闸阀经常使用与低温泵、涡轮泵、扩散泵和离子高真空泵结合使用。它们有高真空和超高真空品种，尺寸如下：快速法兰尺寸 KF-16、KF-25、KF-40 和 KF- 50 ISO LF 法兰 ISO-63、-100、-160、-200、-250、-320、-400 和 -500 尺寸 ASA ANSI 尺寸 2、4 和 6 英寸尺寸 Conflat (CF) 1.33 、2.75、3.375 、4.5、6、8、10、12、13.25 和 14 英寸尺寸 安装手册和操作说明可在下载中找到。

HVA 高真空 HV 气动闸阀 ISO-F DN500 法兰，Viton 闸门和阀盖密封件，304 不锈钢，PN：11212-2003R。 ISO-500 螺栓固定法兰，带 M12 x 1.75 螺纹。包括内置簧片开关位置指示器。 HVA 零件号：11212-2003R。这些 HVA 品牌气动操作系列 11000 闸阀在美国制造，配有带 M12 x 1.75 盲攻孔的 ISO-F DN 500 真空法兰。它们的额定值为高真空 (HV)，并遵循 DIN 28404 和 ISO 1609 中所述的真空技术标准。HVA 零件号：11212-2003R。 HVA 气动真空闸阀具有强制锁定中心机构，可在断电或气压损失时保持阀门锁定关闭。闸板、阀盖和波纹管密封件由 Viton 氟橡胶 (FKM) 材料制成。它们由耐腐蚀的 304 不锈钢闸门和阀体制成，在需要维修之前的典型寿命为 100,000 次循环（取决于工艺）。 HVA 阀体是真空阀行业中内表面积最小的阀体之一。阀体和所有主要内部部件均采用专有工艺在 1100°C、1x10-6 Torr 的真空炉中钎焊，可确保最大程度的接头完整性、最大限度地减少操作过程中的排气、消除虚拟泄漏或滞留区域的可能性，并最大限度地减少发现的阀体变形在传统焊接阀门中。带有 ASA、ISO 或 KF 法兰的 HVA 闸阀额定用于高真空应用，但由于 O 形圈透气性，极限压力限制在 10-8 Torr 范围内。 HVA 闸阀的氦泄漏率为 1.5 x 10-10 Torr l/sec，可烘烤至 150 °C（阀门打开或关闭）。这些气动操作阀包括 1/4" OD 管推接接头。气动执行器内置有打开和关闭位置传感器，并且是所有 HVA 气动闸阀的标准配置。这些开/关开关可用于激活指示器灯或用于控制更复杂或自动化的真空保护系统。气动阀电磁阀有 24 VDC 和 120 VAC 型号，单独出售。我们提供的所有 HVA 闸阀都有维修套件。HVA 闸阀经常使用与低温泵、涡轮泵、扩散泵和离子高真空泵结合使用。它们有高真空和超高真空品种，尺寸如下：快速法兰尺寸 KF-16、KF-25、KF-40 和 KF- 50 ISO LF 法兰 ISO-63、-100、-160、-200、-250、-320、-400 和 -500 尺寸 ASA ANSI 尺寸 2、4 和 6 英寸尺寸 Conflat (CF) 1.33 、2.75、3.375 、4.5、6、8、10、12、13.25 和 14 英寸尺寸 安装手册和操作说明可在下载中找到。