MKS 1179C 质量流量电子绝对压力控制器,50 sccm He 当量,15 针,Swagelok® 4 VCR®。
MKS Instruments 零件编号:1179C00151CR1BV。 MKS 1179C 是一款全金属质量流量控制器,设计用于测量各种应用中的气体流量。输入和输出接口均为 Swagelok® 4 VCR® 接口。MKS 1179C 质量流量控制器的量程范围从 10 sccm 到 20 slm,可提供快速、可重复的流量计量,最低精度可达 0.1 sccm。1179C 可直接替代目前市场上最常见的质量流量计,无需改动现有气体管路。其标准的 3 英寸尺寸使其可以直接安装在原有空间内。电气连接器采用与行业同类产品相同的 D 型连接器,引脚排列、信号和功能也相同。1179C 兼容 MKS 或其他制造商的质量流量控制器电源和显示电子元件。
Swagelok® 和 VCR® 是 Swagelok 公司的注册商标。Vac Goop™ 是 Swagelok 公司的商标。Ideal Vacuum Products 并非 Swagelok 公司的授权经销商。