MKS通用流量控制阀，500 sccm，4 VCR® M Swagelok® 管接头，Viton 密封件MKS零件编号：148JA52CR1M
这款通用型改进型电磁阀在施加控制电流后，即可调节气体流量。与 MKS 控制器和合适的流量传感器配合使用时，148J 型阀可在保持精确压力或流量的同时调节气体流量。应用范围包括流量控制、上游或下游压力控制。这款 148JA52CR1M 型阀的氮气满量程流量为 500 标准立方厘米/分钟 (sccm)，配备 4 个 VCR® M 管接头和 Viton 密封件。阀门关闭时的泄漏导通率小于 1× 10⁻⁵ scc/sec He。
Swagelok® 和 VCR® 是 Swagelok 公司的注册商标。Vac Goop™ 是 Swagelok 公司的商标。Ideal Vacuum Products 并非 Swagelok 公司的授权经销商。
