全新 MKS HPS® 910 系列 DualTrans™ 微皮拉尼绝对压电传感器，KF25，RS485，带显示屏，无继电器
MKS 910-21024 DualTrans™ MicroPirani™/绝对压电真空传感器专为宽范围压力测量应用而设计，采用 NW25 ISO-KF 法兰接口。与传统的热导式压力计相比，其组合输出具有更高的精度、稳定性、重复性和更快的响应速度。910 融合了两种压力测量技术，从而提供卓越的性能和功能。910 可测量 11 至 1500 Torr 范围内的绝对压力，且测量精度高于热导式传感器，与气体种类无关。与传统的皮拉尼压力计不同，MicroPirani 传感器的元件采用 1 毫米见方的硅芯片，因此可以在极小的空间内进行测量。得益于 MicroPirani 技术，910 的测量范围可低至10⁻⁵ Torr，比标准皮拉尼传感器低二十个数量级。该传感器设计最大限度地减少了对流的影响，因此 910 可以任意方向安装而不会影响精度。
压电式绝对压力传感器可直接读取压力值，因此测量结果不受气体种类影响。该压电传感器的测量范围为小于 1 Torr 至 1500 Torr。910 型真空计配备 RS232 数字通信接口，用于设置传感器参数并提供实时压力测量。910 型还具有 1VDC/十倍频程的模拟压力输出，可与外部模拟设备连接，用于压力读数或控制。其他模拟输出和曲线可通过数字用户界面进行选择。910 型内置三个机械继电器，可用于过程控制，例如联锁隔离阀和真空泵。每个设定点均可分配给压电式测量或组合式绝对压电/皮拉尼真空计测量。910 型的紧凑设计显著减少了真空计占用的空间。这对于系统设计人员来说尤其具有吸引力，并有助于构建更紧凑的真空系统。注：完整规格请参见“下载”页面旁的 PDF 文件。
