MKS R 系列闸阀 ISO-F 100、DN100、气动、24 VDC 电磁阀、双位指示器开关 (N/O)、4 英寸内径、Viton 密封件、
螺栓固定法兰 (M8 x 1.25)，不锈钢主体。这些 MKS R 系列闸阀针对半导体和一般真空应用中的低真空泵和低真空管线的隔离进行了优化。这些 R 系列闸阀非常适合低至 1x10
-7 Torr 的高真空 (HV) 应用，并具有包括气动和位置指示器在内的选项。 R 系列采用弹性体轴密封件作为执行器密封件，以经济高效的高价值封装实现高性能，适合粗真空应用。此清单适用于 ISO-100 螺栓固定式真空法兰版本，配有气动空气执行器，包括 24 VDC 电磁阀和双位置指示器开关（常开）。
产品特点：
- 出色的温度均匀性确保内表面无冷点
- DN80 和 DN100 > 200,000 次循环
- DN160 > 100,000 次循环
- 提供 DN80、DN100 和 DN160mm 尺寸
产品配置：
- 阀门孔径/法兰尺寸：DN100
- 材质：不锈钢
- 驱动方式：气动
- 密封材料： Viton/FKM
- 限位开关：两个开关均为常开 (N/O)
- 磁簧开关：额定电流 < 80mA
- 电磁阀：24 VDC
- 加热选项：可加热至 105°C
- 压力范围（高真空 HV）：1x10-7 至 1200 Torr (1.3* 10-10 - 1.6 bar)
- 气动压力：5.4 ±1.3 atm (80 ±20 psig)
- 执行器密封： 弹性体轴密封 - Viton
- 侧向泄漏率：1x10-9 atm*cc/sec
- 外部泄漏率：1x10-9 atm*cc/sec
- 最大压差 - 运行：22.5 Torr (30 mbar) 室侧高
- 最大压差 - 关闭：1.6 atm，任一方向
