MKS 937B ハーフラック コンビネーション コントローラ、最大 6 個の真空圧力センサーを同時に操作、カードなし、RS232 および RS485 (内蔵)。MKS 部品番号: 937B-US-NANANA-NA。MKS 937B デジタル コンビネーション真空ゲージ コントローラは、最大 6 個の真空圧力センサーを同時に操作します。この非常に柔軟な真空ゲージ コントローラは、冷陰極、熱陰極、標準ピラニ、対流ピラニ、Baratron® 静電容量マノメータ、絶対ピエゾ センサーなど、超高真空から大気圧以上の測定範囲に対応する幅広いセンサー技術をサポートしています。937B コントローラは、汎用性、信頼性、経済性を考慮して設計されています。大きくて読みやすい液晶ディスプレイは、最大 6 個のセンサーを同時に表示します。バックライト付き LCD ディスプレイ、直感的なメニュー、シンプルなプッシュ ボタン式のフロント パネルにより、937B のセットアップが簡単になります。このコントローラでは、各センサー カード スロットで任意のセンサー カードを使用できます。 937B は、最大 3 つのホット カソードまたはコールド カソード タイプのゲージ、または最大 6 つのゲージ接続用の 3 つのデュアル センサー カードで構成できます。設定ポイント: 12 個の独立して調整可能な設定ポイントが標準です。これにより、プロセス関連機能を自動化できます。設定ポイントの値は不揮発性で、電源を切ったり停電したりしても変わりません。チャンネル設定画面で簡単に表示および構成できます。937B には、必要な圧力でコールド カソードまたはホット カソード ゲージの電源をオフまたはオンにする調整可能な制御設定ポイントも含まれており、センサーの寿命を延ばします。リーク テスト: リーク テスト モードには、システム内のリークの位置を特定するためのバー グラフと可変の可聴アラートが含まれています。この機能は、コールド カソード、ホット カソード、ピラニ、および対流センサーで動作します。トレーサー ガスの感度の違いを利用することで、粗いシステム リークの位置を特定するための優れたツールとなります。アナログ出力信号: コントローラーは、背面パネル コネクターからアクセスできるアナログ出力信号を提供します。3 種類のアナログ信号が利用可能です。未処理のアナログ信号を使用すると、応答時間が最速になります。対数出力電圧は、0.6 ボルトが 10 の圧力に相当するようにスケール調整されます。最大 3 つのセンサーを組み合わせて、10-11 ～ 20,000 Torr の範囲で複合出力を作成できます。デジタル信号: アナログ出力に加えて、937B は RS232 または RS485 用の組み込み接続を使用して、コンピューターと直接通信するためにデジタル通信を行います。937B シャーシの通信スロットには、オプションの Profibus DPV1 ボードを装着できます。937B は、これらのポートのいずれかを使用してホスト コンピューターと通信できます。設定ポイントのリモート制御や冷陰極高電圧の無効化は、通信オプションで利用できる多くの機能の一部です。MKS 937B 用の信号ケーブルとオプションのカードは、この Web サイトで入手できます。

MKS 真空センサー カード 容量マノメーターおよびピエゾ、シリーズ 937B および 946 コントローラー用。MKS 部品番号: 20057714-001 旧 MKS 部品番号: 100015267 MKS 真空センサー カードは、937B および 946 真空システム コントローラーで容量マノメーターとピエゾ センサーをサポートします。これらのカードは、あらゆる流量トランスデューサーを制御および表示するように設計されたコントローラーで使用されます。流量設定値は、フロント パネル コントロールまたはリア パネル アナログ インターフェイスを介してリモートで調整できます。946 および 937B 真空システム コントローラーは、最大 6 つのセンサーとゲージを同時に読み取り、制御します。

MKS 626D 0.1 Torr バラトロン絶対容量マノメーター、真空圧力ゲージセンサー、KF-16 フランジサイズ MKS 部品番号: 626D.1TDEMKS 626D 非加熱絶対バラトロン®容量マノメーターは、最新のアナログ容量ベースの高性能真空および圧力トランスデューサーです。±15 VDC の入力電圧が必要で、圧力に比例する高レベルの 0-10 VDC アナログ出力信号を提供します。このアナログ出力は、MKS PDR2000 圧力コントローラー、MKS 電源/表示機器、またはこれらの要件を満たす任意の機器と接続できます。圧力/真空の変化は、センサーのダイヤフラムと隣接する電極ディスク間の容量の変化を測定することによって決定されます。この容量の変化は、特許取得済みの信号調整電子回路によって使用可能な出力に変換されます。センサー内のラジアルテンションされたインコネル®ダイヤフラムは、非常に高速な応答（多くの場合20ミリ秒未満）、低いヒステリシス、優れた再現性、非常に高い分解能（フルスケールの0.001%まで）、非常に高い耐腐食性、およびオペレーターの安全のための二重壁溶接構造を提供します。センサー自体は、永久的な劣化やずれを起こすことなく45 psia（3.1 bar）に繰り返しさらされることができ、事実上あらゆるプロセス システムで動作できます。MKS 626D Baratron容量マノメーターは、常温常圧で動作します。0.1～1000 Torrのフルスケール圧力/真空範囲で利用可能で、多くの産業、電子機器、および研究用途に適しています。このリストは、15ピンDサブミニチュア信号コネクタ、0.1 Torrのフルスケール最大真空圧力読み取り値、KF-16真空フランジ接続を備え、MKS部品番号626D.1TDEのMKSタイプ626D容量マノメーターです。対応コントローラおよびケーブル： P102063 - Ideal Vacuum MKS PDR 2000電源およびデジタル表示ケーブル用ケーブル 15ピンYケーブル、CB2000S-1-M1相当 P102062 - MKS PDR 2000デジタル電源およびデジタル表示容量マノメータコントローラ P1010127 - Ideal Vacuumデュアル容量マノメータコントローラ（DCM）、電源およびデジタル圧力表示 製品の特徴： 15ピンD-subコネクタ付き0～10VDC比例アナログ出力 ガスの種類や組成に関係なくチャンバー全圧を直接測定 最先端のプロセス再現性を実現する長期出力安定性 基本センサのインコネル®およびインコロイ®ニッケル合金構造 ほぼあらゆる化学環境で損傷なく動作 高い過圧制限により、システム障害発生時の信頼性を確保 最高の精度とプロセス歩留まりの向上を実現するため、読み取り値のパーセントで指定

MKS 626D 0.1 Torr Baratron 絶対容量マノメーター圧力計センサー、UHV 真空フィッティング Conflat CF 1.33 インチフランジ MKS 部品番号: 626D.1TCEMKS 626D 非加熱絶対 Baratron® 容量マノメーターは、最新のアナログ容量ベースの高性能真空および圧力トランスデューサーです。±15 VDC の入力電圧が必要で、圧力に比例する高レベルの 0-10 VDC アナログ出力信号を提供します。このアナログ出力は、MKS PDR2000 圧力コントローラー、MKS 電源/表示機器、またはこれらの要件を満たす任意の機器と接続できます。圧力/真空の変化は、センサーのダイヤフラムと隣接する電極ディスク間の容量の変化を測定することによって決定されます。この容量の変化は、特許取得済みの信号調整電子回路によって使用可能な出力に変換されます。センサー内のラジアルテンションされたインコネル®ダイヤフラムは、非常に高速な応答（多くの場合20ミリ秒未満）、低いヒステリシス、優れた再現性、非常に高い分解能（フルスケールの0.001%まで）、非常に高い耐腐食性、およびオペレーターの安全性を確保するための二重壁溶接構造を提供します。センサー自体は、永久的な劣化やずれを起こすことなく45 psia（3.1 bar）に繰り返しさらされることができ、事実上あらゆるプロセスシステムで動作可能です。MKS 626D Baratron容量マノメーターは、常温常圧で動作します。0.1～1000 Torrのフルスケール圧力/真空範囲で利用可能で、多くの産業、電子機器、および研究用途に適しています。この出品は、15ピンDサブミニチュア信号コネクタ、0.1 Torrのフルスケール最大真空圧力読み取り値、Conflat CF 1.33インチ超高真空UHVフランジ接続を備え、MKS部品番号626D.1TCEを持つMKSタイプ626D容量マノメーターです。対応コントローラおよびケーブル： P102063 - Ideal Vacuum MKS PDR 2000電源およびデジタル表示ケーブル用ケーブル 15ピンYケーブル、CB2000S-1-M1相当 P102062 - MKS PDR 2000デジタル電源およびデジタル表示容量マノメータコントローラ P1010127 - Ideal Vacuumデュアル容量マノメータコントローラ（DCM）、電源およびデジタル圧力表示 製品の特徴： 15ピンD-subコネクタ付き0～10VDC比例アナログ出力 ガスの種類や組成に関係なくチャンバー全圧を直接測定 最先端のプロセス再現性を実現する長期出力安定性 基本センサのインコネル®およびインコロイ®ニッケル合金構造 ほぼあらゆる化学環境で損傷なく動作 高い過圧制限により、システム障害発生時の信頼性を確保 最高の精度とプロセス歩留まりの向上を実現するため、読み取り値のパーセントで指定

MKS 626D 1 Torr Baratron 絶対容量マノメーター圧力計センサー、KF-16 フランジサイズ MKS 部品番号: 626D01TDEMKS 626D 非加熱絶対 Baratron® 容量マノメーターは、最新のアナログ容量ベースの高性能真空および圧力トランスデューサーです。±15 VDC の入力電圧が必要で、圧力に比例する高レベルの 0-10 VDC アナログ出力信号を提供します。このアナログ出力は、MKS PDR2000 圧力コントローラー、MKS 電源/表示機器、またはこれらの要件を満たす任意の機器と接続できます。圧力/真空の変化は、センサーのダイヤフラムと隣接する電極ディスク間の容量の変化を測定することによって決定されます。この容量の変化は、特許取得済みの信号調整電子回路によって使用可能な出力に変換されます。センサー内のラジアルテンションされたインコネル®ダイヤフラムは、非常に高速な応答（多くの場合20ミリ秒未満）、低いヒステリシス、優れた再現性、非常に高い分解能（フルスケールの0.001%まで）、非常に高い耐腐食性、およびオペレーターの安全のための二重壁溶接構造を提供します。センサー自体は、永久的な劣化やずれを起こすことなく45 psia（3.1 bar）に繰り返しさらされることができ、事実上あらゆるプロセス システムで動作できます。MKS 626D Baratron容量マノメーターは、常温常圧で動作します。0.1～1000 Torrのフルスケール圧力/真空範囲で利用可能で、多くの産業、電子機器、および研究用途に適しています。このリストは、15ピンDサブミニチュア信号コネクタ、1 Torrフルスケール最大真空圧力読み取り値、KF-16真空フランジ接続を備え、MKS部品番号626D01TDEのMKSタイプ626D容量マノメーターです。対応コントローラおよびケーブル： P102063 - Ideal Vacuum MKS PDR 2000電源およびデジタル表示ケーブル用ケーブル 15ピンYケーブル、CB2000S-1-M1相当 P102062 - MKS PDR 2000デジタル電源およびデジタル表示容量マノメータコントローラ P1010127 - Ideal Vacuumデュアル容量マノメータコントローラ（DCM）、電源およびデジタル圧力表示 製品の特徴： 15ピンD-subコネクタ付き0～10VDC比例アナログ出力 ガスの種類や組成に関係なくチャンバー全圧を直接測定 最先端のプロセス再現性を実現する長期出力安定性 基本センサのインコネル®およびインコロイ®ニッケル合金構造 ほぼあらゆる化学環境で損傷なく動作 高い過圧制限により、システム障害発生時の信頼性を確保 最高の精度とプロセス歩留まりの向上を実現するため、読み取り値のパーセントで指定

MKS 626D 10 Torr バラトロン絶対容量マノメーター圧力計センサー、KF-16 フランジサイズ MKS 部品番号: 626D11TDEMKS 626D 非加熱絶対バラトロン®容量マノメーターは、最新のアナログ容量ベースの高性能真空および圧力トランスデューサーです。±15 VDC の入力電圧が必要で、圧力に比例する高レベルの 0-10 VDC アナログ出力信号を提供します。このアナログ出力は、MKS PDR2000 圧力コントローラー、MKS 電源/表示機器、またはこれらの要件を満たす任意の機器と接続できます。圧力/真空の変化は、センサーのダイヤフラムと隣接する電極ディスク間の容量の変化を測定することによって決定されます。この容量の変化は、特許取得済みの信号調整電子回路によって使用可能な出力に変換されます。センサー内のラジアルテンションされたインコネル®ダイヤフラムは、非常に高速な応答（多くの場合20ミリ秒未満）、低いヒステリシス、優れた再現性、非常に高い分解能（フルスケールの0.001%まで）、非常に高い耐腐食性、およびオペレーターの安全のための二重壁溶接構造を提供します。センサー自体は、永久的な劣化やずれを起こすことなく45 psia（3.1 bar）に繰り返しさらされることができ、事実上あらゆるプロセス システムで動作できます。MKS 626D Baratron容量マノメーターは、常温常圧で動作します。0.1～1000 Torrのフルスケール圧力/真空範囲で利用可能で、多くの産業、電子機器、および研究用途に適しています。このリストは、15ピンDサブミニチュア信号コネクタ、10 Torrのフルスケール最大真空圧力読み取り値、KF-16真空フランジ接続を備え、MKS部品番号626D11TDEのMKSタイプ626D容量マノメーターです。対応コントローラおよびケーブル： P102063 - Ideal Vacuum MKS PDR 2000電源およびデジタル表示ケーブル用ケーブル 15ピンYケーブル、CB2000S-1-M1相当 P102062 - MKS PDR 2000デジタル電源およびデジタル表示容量マノメータコントローラ P1010127 - Ideal Vacuumデュアル容量マノメータコントローラ（DCM）、電源およびデジタル圧力表示 製品の特徴： 15ピンD-subコネクタ付き0～10VDC比例アナログ出力 ガスの種類や組成に関係なくチャンバー全圧を直接測定 最先端のプロセス再現性を実現する長期出力安定性 基本センサのインコネル®およびインコロイ®ニッケル合金構造 ほぼあらゆる化学環境で損傷なく動作 高い過圧制限により、システム障害発生時の信頼性を確保 最高の精度とプロセス歩留まりの向上を実現するため、読み取り値のパーセントで指定

MKS 626D 10 Torr バラトロン絶対容量マノメーター、真空圧力ゲージセンサー、VCR® 8 メスフィッティング MKS 部品番号: 626D11TBEMKS 626D 非加熱絶対バラトロン®容量マノメーターは、最新のアナログ容量ベースの高性能真空および圧力トランスデューサーです。±15 VDC の入力電圧が必要で、圧力に比例する高レベルの 0-10 VDC アナログ出力信号を提供します。このアナログ出力は、MKS PDR2000 圧力コントローラー、MKS 電源/表示機器、またはこれらの要件を満たす任意の機器と接続できます。圧力/真空の変化は、センサーのダイヤフラムと隣接する電極ディスク間の容量の変化を測定することによって決定されます。この容量の変化は、特許取得済みの信号調整電子回路によって使用可能な出力に変換されます。センサー内のラジアルテンションされたインコネル®ダイヤフラムは、非常に高速な応答（多くの場合20ミリ秒未満）、低いヒステリシス、優れた再現性、非常に高い分解能（フルスケールの0.001%まで）、非常に高い耐腐食性、およびオペレーターの安全のための二重壁溶接構造を提供します。センサー自体は、永久的な劣化やずれを起こすことなく45 psia（3.1 bar）に繰り返しさらされることができ、事実上あらゆるプロセス システムで動作できます。MKS 626D Baratron容量マノメーターは、常温常圧で動作します。0.1～1000 Torrのフルスケール圧力/真空範囲で利用可能で、多くの産業、電子機器、および研究用途に適しています。このリストは、15ピンDサブミニチュア信号コネクタ、10 Torrのフルスケール最大真空圧力読み取り値、VCR® 8メス真空フランジ接続を備え、MKS部品番号626D11TBEのMKSタイプ626D容量マノメーターです。対応コントローラおよびケーブル： P102063 - Ideal Vacuum MKS PDR 2000電源およびデジタル表示ケーブル用ケーブル 15ピンYケーブル、CB2000S-1-M1相当 P102062 - MKS PDR 2000デジタル電源およびデジタル表示容量マノメータコントローラ P1010127 - Ideal Vacuumデュアル容量マノメータコントローラ（DCM）、電源およびデジタル圧力表示 製品の特徴： 15ピンD-subコネクタ付き0～10VDC比例アナログ出力 ガスの種類や組成に関係なくチャンバー全圧を直接測定 最先端のプロセス再現性を実現する長期出力安定性 基本センサのインコネル®およびインコロイ®ニッケル合金構造 ほぼあらゆる化学環境で損傷なく動作 高い過圧制限により、システム障害発生時の信頼性を確保 最高の精度とプロセス歩留まりの向上を実現するため、読み取り値のパーセントで指定

MKS 626D 20 Torr バラトロン絶対容量マノメーター、真空圧力ゲージセンサー、VCR® 8 メスフィッティング MKS 部品番号: 626D21TBEMKS 626D 非加熱絶対バラトロン®容量マノメーターは、最新のアナログ容量ベースの高性能真空および圧力トランスデューサーです。±15 VDC の入力電圧が必要で、圧力に比例する高レベルの 0-10 VDC アナログ出力信号を提供します。このアナログ出力は、MKS PDR2000 圧力コントローラー、MKS 電源/表示機器、またはこれらの要件を満たす任意の機器と接続できます。圧力/真空の変化は、センサーのダイヤフラムと隣接する電極ディスク間の容量の変化を測定することによって決定されます。この容量の変化は、特許取得済みの信号調整電子回路によって使用可能な出力に変換されます。センサー内のラジアルテンションされたインコネル®ダイヤフラムは、非常に高速な応答（多くの場合20ミリ秒未満）、低いヒステリシス、優れた再現性、非常に高い分解能（フルスケールの0.001%まで）、非常に高い耐腐食性、およびオペレーターの安全のための二重壁溶接構造を提供します。センサー自体は、永久的な劣化やずれを起こすことなく45 psia（3.1 bar）に繰り返しさらされることができ、事実上あらゆるプロセスシステムで動作できます。MKS 626D Baratron容量マノメーターは、常温常圧で動作します。0.1～1000 Torrのフルスケール圧力/真空範囲で利用可能で、多くの産業、電子機器、および研究用途に適しています。このリストは、15ピンDサブミニチュア信号コネクタ、20 Torrのフルスケール最大真空圧力読み取り値、VCR® 8メス真空フランジ接続を備え、MKS部品番号626D21TBEのMKSタイプ626D容量マノメーターです。対応コントローラおよびケーブル： P102063 - Ideal Vacuum MKS PDR 2000電源およびデジタル表示ケーブル用ケーブル 15ピンYケーブル、CB2000S-1-M1相当 P102062 - MKS PDR 2000デジタル電源およびデジタル表示容量マノメータコントローラ P1010127 - Ideal Vacuumデュアル容量マノメータコントローラ（DCM）、電源およびデジタル圧力表示 製品の特徴： 15ピンD-subコネクタ付き0～10VDC比例アナログ出力 ガスの種類や組成に関係なくチャンバー全圧を直接測定 最先端のプロセス再現性を実現する長期出力安定性 基本センサのインコネル®およびインコロイ®ニッケル合金構造 ほぼあらゆる化学環境で損傷なく動作 高い過圧制限により、システム障害発生時の信頼性を確保 最高の精度とプロセス歩留まりの向上を実現するため、読み取り値のパーセントで指定

MKS 626D 100 Torr バラトロン絶対容量マノメーター、真空圧力ゲージセンサー、真空継手 KF-16。MKS 部品番号: 626D12TDEMKS 626D 非加熱絶対バラトロン®容量マノメーターは、最新のアナログ容量ベースの高性能真空および圧力トランスデューサーです。±15 VDC の入力電圧が必要で、圧力に比例する高レベルの 0-10 VDC アナログ出力信号を提供します。このアナログ出力は、MKS PDR2000 圧力コントローラー、MKS 電源/表示機器、またはこれらの要件を満たす任意の機器と接続できます。圧力/真空の変化は、センサーのダイヤフラムと隣接する電極ディスク間の容量の変化を測定することによって決定されます。この容量の変化は、特許取得済みの信号調整電子回路によって使用可能な出力に変換されます。センサー内のラジアルテンションされたインコネル®ダイヤフラムは、非常に高速な応答（多くの場合20ミリ秒未満）、低いヒステリシス、優れた再現性、非常に高い分解能（フルスケールの0.001%まで）、非常に高い耐腐食性、およびオペレーターの安全のための二重壁溶接構造を提供します。センサー自体は、永久的な劣化やずれを起こすことなく45 psia（3.1 bar）に繰り返しさらされることができ、事実上あらゆるプロセス システムで動作できます。MKS 626D Baratron容量マノメーターは、常温常圧で動作します。0.1～1000 Torrのフルスケール圧力/真空範囲で利用可能で、多くの産業、電子機器、および研究用途に適しています。このリストは、15ピンDサブミニチュア信号コネクタ、100 Torrのフルスケール最大真空圧力読み取り値、KF-16真空フランジ接続を備え、MKS部品番号626D12TDEのMKSタイプ626D容量マノメーターです。対応コントローラおよびケーブル： P102063 - Ideal Vacuum MKS PDR 2000電源およびデジタル表示ケーブル用ケーブル 15ピンYケーブル、CB2000S-1-M1相当 P102062 - MKS PDR 2000デジタル電源およびデジタル表示容量マノメータコントローラ P1010127 - Ideal Vacuumデュアル容量マノメータコントローラ（DCM）、電源およびデジタル圧力表示 製品の特徴： 15ピンD-subコネクタ付き0～10VDC比例アナログ出力 ガスの種類や組成に関係なくチャンバー全圧を直接測定 最先端のプロセス再現性を実現する長期出力安定性 基本センサのインコネル®およびインコロイ®ニッケル合金構造 ほぼあらゆる化学環境で損傷なく動作 高い過圧制限により、システム障害発生時の信頼性を確保 最高の精度とプロセス歩留まりの向上を実現するため、読み取り値のパーセントで指定

MKS 626D 100 Torr バラトロン絶対容量マノメーター、真空圧力ゲージセンサー、真空フィッティング VCR® 8 メス、PN 626D12TBEMKS 626D 非加熱絶対バラトロン®容量マノメーターは、最新のアナログ容量ベースの高性能真空および圧力トランスデューサーです。±15 VDC の入力電圧が必要で、圧力に比例する高レベルの 0-10 VDC アナログ出力信号を提供します。このアナログ出力は、MKS PDR2000 圧力コントローラー、MKS 電源/表示機器、またはこれらの要件を満たす任意の機器と接続できます。圧力/真空の変化は、センサーのダイヤフラムと隣接する電極ディスク間の容量の変化を測定することによって決定されます。この容量の変化は、特許取得済みの信号調整電子回路によって使用可能な出力に変換されます。センサー内のラジアルテンションされたインコネル®ダイヤフラムは、非常に高速な応答（多くの場合20ミリ秒未満）、低いヒステリシス、優れた再現性、非常に高い分解能（フルスケールの0.001%まで）、非常に高い耐腐食性、およびオペレーターの安全性を確保するための二重壁溶接構造を提供します。センサー自体は、永久的な劣化やずれを起こすことなく45 psia（3.1 bar）に繰り返しさらされることができ、事実上あらゆるプロセスシステムで動作可能です。MKS 626D Baratron容量マノメーターは、常温常圧で動作します。0.1～1000 Torrのフルスケール圧力/真空範囲で利用可能で、多くの産業、電子機器、および研究用途に適しています。この出品は、15ピンDサブミニチュア信号コネクタ、100 Torrのフルスケール最大真空圧力読み取り値、VCR® 8メス真空フランジ接続を備え、MKS部品番号626D12TBEのMKSタイプ626D容量マノメーターです。対応コントローラおよびケーブル： P102063 - Ideal Vacuum MKS PDR 2000電源およびデジタル表示ケーブル用ケーブル 15ピンYケーブル、CB2000S-1-M1相当 P102062 - MKS PDR 2000デジタル電源およびデジタル表示容量マノメータコントローラ P1010127 - Ideal Vacuumデュアル容量マノメータコントローラ（DCM）、電源およびデジタル圧力表示 製品の特徴： 15ピンD-subコネクタ付き0～10VDC比例アナログ出力 ガスの種類や組成に関係なくチャンバー全圧を直接測定 最先端のプロセス再現性を実現する長期出力安定性 基本センサのインコネル®およびインコロイ®ニッケル合金構造 ほぼあらゆる化学環境で損傷なく動作 高い過圧制限により、システム障害発生時の信頼性を確保 最高の精度とプロセス歩留まりの向上を実現するため、読み取り値のパーセントで指定

MKS 626D 1000 Torr バラトロン絶対容量マノメーター圧力計センサー、KF-16 フランジサイズ MKS 部品番号: 626D13TDEMKS 626D 非加熱絶対バラトロン®容量マノメーターは、最新のアナログ容量ベースの高性能真空および圧力トランスデューサーです。±15 VDC の入力電圧が必要で、圧力に比例する高レベルの 0-10 VDC アナログ出力信号を提供します。このアナログ出力は、MKS PDR2000 圧力コントローラー、MKS 電源/表示機器、またはこれらの要件を満たす任意の機器と接続できます。圧力/真空の変化は、センサーのダイヤフラムと隣接する電極ディスク間の容量の変化を測定することによって決定されます。この容量の変化は、特許取得済みの信号調整電子回路によって使用可能な出力に変換されます。センサー内のラジアルテンションされたインコネル®ダイヤフラムは、非常に高速な応答（多くの場合20ミリ秒未満）、低いヒステリシス、優れた再現性、非常に高い分解能（フルスケールの0.001%まで）、非常に高い耐腐食性、およびオペレーターの安全性を確保するための二重壁溶接構造を提供します。センサー自体は、永久的な劣化やずれを起こすことなく45 psia（3.1 bar）に繰り返しさらされることができ、事実上あらゆるプロセスシステムで動作可能です。MKS 626D Baratron容量マノメーターは、常温常圧で動作します。0.1～1000 Torrのフルスケール圧力/真空範囲で利用可能で、多くの産業、電子機器、および研究用途に適しています。この出品は、15ピンDサブミニチュア信号コネクタ、1000 Torrのフルスケール最大真空圧力読み取り値、KF-16真空フランジ接続を備え、MKS部品番号626D13TDEのMKSタイプ626D容量マノメーターです。対応コントローラおよびケーブル： P102063 - Ideal Vacuum MKS PDR 2000電源およびデジタル表示ケーブル用ケーブル 15ピンYケーブル、CB2000S-1-M1相当 P102062 - MKS PDR 2000デジタル電源およびデジタル表示容量マノメータコントローラ P1010127 - Ideal Vacuumデュアル容量マノメータコントローラ（DCM）、電源およびデジタル圧力表示 製品の特徴： 15ピンD-subコネクタ付き0～10VDC比例アナログ出力 ガスの種類や組成に関係なくチャンバー全圧を直接測定 最先端のプロセス再現性を実現する長期出力安定性 基本センサのインコネル®およびインコロイ®ニッケル合金構造 ほぼあらゆる化学環境で損傷なく動作 高い過圧制限により、システム障害発生時の信頼性を確保 最高の精度とプロセス歩留まりの向上を実現するため、読み取り値のパーセントで指定

MKS 626D 1000 Torr バラトロン絶対容量マノメーター、真空圧力ゲージセンサー、真空フィッティング VCR® 8 メス、PN 626D13TBEMKS 626D 非加熱絶対バラトロン®容量マノメーターは、最新のアナログ容量ベースの高性能真空および圧力トランスデューサーです。±15 VDC の入力電圧が必要で、圧力に比例する高レベルの 0-10 VDC アナログ出力信号を提供します。このアナログ出力は、MKS PDR2000 圧力コントローラー、MKS 電源/表示機器、またはこれらの要件を満たす任意の機器と接続できます。圧力/真空の変化は、センサーのダイヤフラムと隣接する電極ディスク間の容量の変化を測定することによって決定されます。この容量の変化は、特許取得済みの信号調整電子回路によって使用可能な出力に変換されます。センサー内のラジアルテンションされたインコネル®ダイヤフラムは、非常に高速な応答（多くの場合20ミリ秒未満）、低いヒステリシス、優れた再現性、非常に高い分解能（フルスケールの0.001%まで）、非常に高い耐腐食性、およびオペレーターの安全性を確保するための二重壁溶接構造を提供します。センサー自体は、永久的な劣化やずれを起こすことなく45 psia（3.1 bar）に繰り返しさらされることができ、事実上あらゆるプロセスシステムで動作可能です。MKS 626D Baratron容量マノメーターは、常温常圧で動作します。0.1～1000 Torrのフルスケール圧力/真空範囲で利用可能で、多くの産業、電子機器、および研究用途に適しています。この出品は、15ピンDサブミニチュア信号コネクタ、1000 Torrのフルスケール最大真空圧力読み取り値、VCR® 8メス真空フランジ接続を備え、MKS部品番号626D13TBEのMKSタイプ626D容量マノメーターです。対応コントローラおよびケーブル： P102063 - Ideal Vacuum MKS PDR 2000電源およびデジタル表示ケーブル用ケーブル 15ピンYケーブル、CB2000S-1-M1相当 P102062 - MKS PDR 2000デジタル電源およびデジタル表示容量マノメータコントローラ P1010127 - Ideal Vacuumデュアル容量マノメータコントローラ（DCM）、電源およびデジタル圧力表示 製品の特徴： 15ピンD-subコネクタ付き0～10VDC比例アナログ出力 ガスの種類や組成に関係なくチャンバー全圧を直接測定 最先端のプロセス再現性を実現する長期出力安定性 基本センサのインコネル®およびインコロイ®ニッケル合金構造 ほぼあらゆる化学環境で損傷なく動作 高い過圧制限により、システム障害発生時の信頼性を確保 最高の精度とプロセス歩留まりの向上を実現するため、読み取り値のパーセントで指定

MKS 626D 1000 Torr Baratron 絶対静電容量圧力計、真空圧力計センサー、UHV 真空継手 Conフラット CF 1.33 インチ フランジ、PN 626D13TCEMKS 626D 非加熱絶対 Baratron® 静電容量圧力計は、最新のアナログ、静電容量ベースの高性能真空および圧力トランスデューサーです。 ±15 VDC の入力電圧が必要で、圧力に対して線形な高レベルの 0 ～ 10 VDC アナログ出力信号を提供します。このアナログ出力は、MKS PDR2000 圧力コントローラー、MKS 電源/表示計器、またはこれらの要件を満たす任意の計器と接続できます。圧力/真空の変化は、センサーのダイアフラムと隣接する電極ディスクの間の静電容量の変化を測定することによって決定されます。この静電容量の変化は、特許取得済みの信号調整電子回路によって使用可能な出力に変換されます。センサー内の半径方向に張力がかけられた Inconel® ダイヤフラムは、非常に速い応答 (多くの場合 <20 ミリ秒)、低いヒステリシス、優れた再現性、非常に高い分解能 (フルスケールの 0.001% まで)、非常に高い耐食性、および二重壁を提供します。オペレーターの安全を確保するための溶接構造。センサー自体は、45 psia (3.1 bar) への繰り返しの曝露に永続的な劣化やシフトを起こすことなく耐えることができるため、事実上あらゆるプロセス システムで動作することができます。 MKS 626D Baratron 静電容量圧力計は周囲条件で動作します。 0.1 ～ 1000 Torr のフルスケールの圧力/真空範囲で利用でき、多くの産業、電子、研究用途に適しています。これらのリストは、15 ピン D サブミニチュア信号コネクタ、1000 Torr のフルスケール最大真空圧力読み取り値、Conflat CF 1.33 インチ超高真空 UHV フランジ接続を備え、MKS 部品番号を持つ MKS タイプ 626D 静電容量圧力計用です。 626D13TCE。互換性のあるコントローラーとケーブル: P102063 - MKS PDR 2000 電源およびデジタル読み出しケーブルに最適な真空ケーブル 15 ピン Y ケーブル、CB2000S-1-M1 と同等 P102062 - MKS PDR 2000 デジタル電源およびデジタル読み出し静電容量圧力計コントローラー P1010127 - 理想真空デュアル静電容量圧力計コントローラー (DCM)、電源、およびデジタル圧力読み出し 製品の特徴: 15 ピン D-sub コネクターを備えた 0 ～ 10 VDC 比例アナログ出力 ガスの種類や組成に依存しないチャンバー全圧の直接測定 長期間の出力安定性最先端のプロセス再現性を実現 基本的なセンサーのインコネル® およびインコロイ® ニッケル合金構造は、事実上あらゆる化学環境において損傷することなく動作します 高い過圧力制限により、システム事故時の信頼性が保証されます 最高の精度とプロセス歩留まりの向上を実現するために、読み取り値のパーセントで指定されます

MKS 627H 0.02 Torr 加熱式 45 °C、絶対バラトロン容量マノメーター、真空継手 VCR® 8 メス、精度 読み値の 0.25%、垂直校正。MKS 部品番号 PN: 627HU2TBE1B。627H バラトロン® 容量マノメーターは 45°C に加熱され、読み値の 0.12% の精度を持ち、優れた長期安定性と再現性を提供する最新の温度制御電子回路を備えています。この容量マノメーターは、今日の低いプロセス圧力に対応するために、フルスケール範囲が 20 mTorr (0.03 mbar) まで用意されています。定評のあるバラトロン容量マノメーター技術に基づいて、センサーの接液面は腐食性ガスに対する優れた耐性を持つインコネル® です。現代的なステンレス鋼パッケージにより、クリーンルーム対応製品となっています。この製品は、以前の 627A、627B、627D、および 627F Baratron 容量マノメーターと互換性があり、MKS 電源、表示ユニット、圧力コントローラ、またはその他の互換性のある電源/読み取りデバイスで使用できます。このリストは、45 °C に加熱され、ネジロック付きの 15 ピン D-sub ミニチュア信号コネクタ、0.02 Torr のフルスケール最大真空圧力読み取り値、VCR® 8 メス真空フランジ接続、読み取り値の 0.25% の精度、垂直校正を備え、MKS 部品番号 627HU2TBE1B を持つ MKS タイプ 627H 容量マノメーターです。互換性のあるコントローラとケーブル: P102063 - Ideal Vacuum MKS PDR 2000電源およびデジタル表示ケーブル用ケーブル 15ピンYケーブル、CB2000S-1-M1相当 P102062 - MKS PDR 2000デジタル電源およびデジタル表示容量マノメータコントローラ P1010127 - Ideal Vacuumデュアル容量マノメータコントローラ(DCM)、電源およびデジタル圧力表示 製品の特徴: 優れた長期安定性 低圧範囲でより正確な出力信号を実現する読み値パーセント精度 低圧プロセスの精密測定のためのフルスケール範囲は20 mTorr (0.03 mbar)まで 全インコネル耐腐食性接液面 高速ウォームアップ時間 温度およびヒーター制御回路の視覚的および電気的状態表示 以前のBaratron容量マノメータ、MKS電源/表示モジュール、および圧力コントローラと互換性あり ガス組成に関係なく全圧を直接測定 信頼性を向上させるための高い過圧定格クリーンルーム対応ステンレス製パッケージ

MKS 627H 0.05 Torr 加熱式 45 °C、絶対バラトロン容量マノメーター、真空継手 VCR® 8 メス、精度 読み値の 0.15%、垂直校正。MKS 部品番号 PN: 627HU5TBD1B。627H バラトロン® 容量マノメーターは 45°C に加熱され、読み値の 0.12% の精度を持ち、優れた長期安定性と再現性を提供する最新の温度制御電子回路を備えています。この容量マノメーターは、今日の低いプロセス圧力に対応するために、フルスケール範囲が 20 mTorr (0.03 mbar) まで用意されています。定評のあるバラトロン容量マノメーター技術に基づいて、センサーの接液面は腐食性ガスに対する優れた耐性を持つインコネル® です。現代的なステンレス鋼パッケージにより、クリーンルーム対応製品となっています。この製品は、以前の 627A、627B、627D、および 627F Baratron 容量マノメーターと互換性があり、MKS 電源、表示ユニット、圧力コントローラ、またはその他の互換性のある電源/読み取りデバイスで使用できます。このリストは、45 °C に加熱され、ネジロック付きの 15 ピン D-sub ミニチュア信号コネクタ、0.05 Torr のフルスケール最大真空圧力読み取り値、VCR® 8 メス真空フランジ接続、読み取り値の 0.15% の精度、垂直校正を備え、MKS 部品番号 627HU5TBD1B を持つ MKS タイプ 627H 容量マノメーターです。互換性のあるコントローラとケーブル: P102063 - Ideal Vacuum MKS PDR 2000電源およびデジタル表示ケーブル用ケーブル 15ピンYケーブル、CB2000S-1-M1相当 P102062 - MKS PDR 2000デジタル電源およびデジタル表示容量マノメータコントローラ P1010127 - Ideal Vacuumデュアル容量マノメータコントローラ(DCM)、電源およびデジタル圧力表示 製品の特徴: 優れた長期安定性 低圧範囲でより正確な出力信号を実現する読み値パーセント精度 低圧プロセスの精密測定のためのフルスケール範囲は20 mTorr (0.03 mbar)まで 全インコネル耐腐食性接液面 高速ウォームアップ時間 温度およびヒーター制御回路の視覚的および電気的状態表示 以前のBaratron容量マノメータ、MKS電源/表示モジュール、および圧力コントローラと互換性あり ガス組成に関係なく全圧を直接測定 信頼性を向上させるための高い過圧定格クリーンルーム対応ステンレス製パッケージ

MKS 627H 0.1 Torr 加熱式 45 °C、絶対バラトロン容量マノメーター、真空継手 VCR® 8 メス、精度 読み値の 0.15%、垂直校正。MKS 部品番号 PN: : 627H.1TBD1B。627H バラトロン® 容量マノメーターは 45°C に加熱され、読み値の 0.12% の精度を持ち、優れた長期安定性と再現性を提供する最新の温度制御エレクトロニクスを備えています。この容量マノメーターは、今日の低いプロセス圧力に対応するために、フルスケール範囲が 20 mTorr (0.03 mbar) まで用意されています。定評のあるバラトロン容量マノメーター技術に基づいて、センサーの接液面は腐食性ガスに対する優れた耐性を持つインコネル® です。現代的なステンレス鋼パッケージにより、クリーンルーム対応製品となっています。この製品は、以前の 627A、627B、627D、および 627F Baratron 容量マノメーターと互換性があり、MKS 電源、表示ユニット、圧力コントローラ、またはその他の互換性のある電源/読み取りデバイスで使用できます。このリストは、45 °C に加熱され、スレッドロック付きの 15 ピン D-sub ミニチュア信号コネクタ、0.1 Torr のフルスケール最大真空圧力読み取り値、VCR® 8 メス真空フランジ接続、読み取り値の 0.15% の精度、垂直校正を備え、MKS 部品番号 : 627H.1TBD1B を持つ MKS タイプ 627H 容量マノメーターです。互換性のあるコントローラとケーブル: P102063 - Ideal Vacuum MKS PDR 2000電源およびデジタル表示ケーブル用ケーブル 15ピンYケーブル、CB2000S-1-M1相当 P102062 - MKS PDR 2000デジタル電源およびデジタル表示容量マノメータコントローラ P1010127 - Ideal Vacuumデュアル容量マノメータコントローラ(DCM)、電源およびデジタル圧力表示 製品の特徴: 優れた長期安定性 低圧範囲でより正確な出力信号を実現する読み値パーセント精度 低圧プロセスの精密測定のためのフルスケール範囲は20 mTorr (0.03 mbar)まで 全インコネル耐腐食性接液面 高速ウォームアップ時間 温度およびヒーター制御回路の視覚的および電気的状態表示 以前のBaratron容量マノメータ、MKS電源/表示モジュール、および圧力コントローラと互換性あり ガス組成に関係なく全圧を直接測定 信頼性を向上させるための高い過圧定格クリーンルーム対応ステンレス製パッケージ

MKS 627H 1 Torr 加熱式 45 °C、絶対バラトロン容量マノメーター、真空継手 VCR® 8 メス、精度 読み値の 0.12%、垂直校正。MKS 部品番号 PN: 627H01TBC1B。627H バラトロン® 容量マノメーターは 45°C に加熱され、読み値の 0.12% の精度を持ち、優れた長期安定性と再現性を提供する最新の温度制御電子回路を備えています。この容量マノメーターは、今日の低いプロセス圧力に対応するため、フルスケール範囲が 20 mTorr (0.03 mbar) まで用意されています。定評のあるバラトロン容量マノメーター技術に基づいて、センサーの接液面は腐食性ガスに対する優れた耐性を持つインコネル® です。現代的なステンレス鋼パッケージにより、クリーンルーム対応製品となっています。この製品は、以前の 627A、627B、627D、および 627F Baratron 容量マノメーターと互換性があり、MKS 電源、表示ユニット、圧力コントローラ、またはその他の互換性のある電源/読み取りデバイスで使用できます。このリストは、45 °C に加熱され、ネジロック付きの 15 ピン D-sub ミニチュア信号コネクタ、1 Torr のフルスケール最大真空圧力読み取り値、VCR® 8 メス真空フランジ接続、読み取り値の 0.12% の精度、垂直校正を備え、MKS 部品番号 627H01TBC1B を持つ MKS タイプ 627H 容量マノメーターです。互換性のあるコントローラとケーブル: P102063 - Ideal Vacuum MKS PDR 2000電源およびデジタル表示ケーブル用ケーブル 15ピンYケーブル、CB2000S-1-M1相当 P102062 - MKS PDR 2000デジタル電源およびデジタル表示容量マノメータコントローラ P1010127 - Ideal Vacuumデュアル容量マノメータコントローラ(DCM)、電源およびデジタル圧力表示 製品の特徴: 優れた長期安定性 低圧範囲でより正確な出力信号を実現する読み値パーセント精度 低圧プロセスの精密測定のためのフルスケール範囲は20 mTorr (0.03 mbar)まで 全インコネル耐腐食性接液面 高速ウォームアップ時間 温度およびヒーター制御回路の視覚的および電気的状態表示 以前のBaratron容量マノメータ、MKS電源/表示モジュール、および圧力コントローラと互換性あり ガス組成に関係なく全圧を直接測定 信頼性を向上させるための高い過圧定格クリーンルーム対応ステンレス製パッケージ

MKS 627H 10 Torr 加熱式 45 °C、絶対バラトロン容量マノメーター、真空継手 VCR® 8 メス、精度 読み値の 0.12%、垂直校正。MKS 部品番号 PN: 627H11TBC1B。627H バラトロン® 容量マノメーターは 45 °C に加熱され、読み値の 0.12% の精度を持ち、優れた長期安定性と再現性を提供する最新の温度制御電子回路を備えています。この容量マノメーターは、今日の低いプロセス圧力に対応するために、フルスケール範囲が 20 mTorr (0.03 mbar) まで用意されています。定評のあるバラトロン容量マノメーター技術に基づいて、センサーの接液面は腐食性ガスに対する優れた耐性を持つインコネル® です。現代的なステンレス鋼パッケージにより、クリーンルーム対応製品となっています。この製品は、以前の 627A、627B、627D、および 627F Baratron 容量マノメーターと互換性があり、MKS 電源、表示ユニット、圧力コントローラ、またはその他の互換性のある電源/読み取りデバイスで使用できます。このリストは、45 °C に加熱され、ネジロック付きの 15 ピン D-sub ミニチュア信号コネクタ、10 Torr のフルスケール最大真空圧力読み取り値、VCR® 8 メス真空フランジ接続、読み取り値の 0.12% の精度、垂直校正を備え、MKS 部品番号 627H11TBC1B を持つ MKS タイプ 627H 容量マノメーターです。互換性のあるコントローラとケーブル: P102063 - Ideal Vacuum MKS PDR 2000電源およびデジタル表示ケーブル用ケーブル 15ピンYケーブル、CB2000S-1-M1相当 P102062 - MKS PDR 2000デジタル電源およびデジタル表示容量マノメータコントローラ P1010127 - Ideal Vacuumデュアル容量マノメータコントローラ(DCM)、電源およびデジタル圧力表示 製品の特徴: 優れた長期安定性 低圧範囲でより正確な出力信号を実現する読み値パーセント精度 低圧プロセスの精密測定のためのフルスケール範囲は20 mTorr (0.03 mbar)まで 全インコネル耐腐食性接液面 高速ウォームアップ時間 温度およびヒーター制御回路の視覚的および電気的状態表示 以前のBaratron容量マノメータ、MKS電源/表示モジュール、および圧力コントローラと互換性あり ガス組成に関係なく全圧を直接測定 信頼性を向上させるための高い過圧定格クリーンルーム対応ステンレス製パッケージ

MKS 627H 100 Torr 加熱式 45 °C、絶対バラトロン容量マノメーター、真空継手 VCR® 8 メス、精度 読み値の 0.12%、垂直校正。MKS 部品番号 PN: 627H12TBC1B。627H バラトロン® 容量マノメーターは 45°C に加熱され、読み値の 0.12% の精度を持ち、優れた長期安定性と再現性を提供する最新の温度制御電子回路を備えています。この容量マノメーターは、今日の低いプロセス圧力に対応するために、フルスケール範囲が 20 mTorr (0.03 mbar) まで用意されています。定評のあるバラトロン容量マノメーター技術に基づいて、センサーの接液面は腐食性ガスに対する優れた耐性を持つインコネル® です。現代的なステンレス鋼パッケージにより、クリーンルーム対応製品となっています。この製品は、以前の 627A、627B、627D、および 627F Baratron 容量マノメーターと互換性があり、MKS 電源、表示ユニット、圧力コントローラ、またはその他の互換性のある電源/読み取りデバイスで使用できます。このリストは、45 °C に加熱され、ネジロック付きの 15 ピン D-sub ミニチュア信号コネクタ、100 Torr のフルスケール最大真空圧力読み取り値、VCR® 8 メス真空フランジ接続、読み取り値の 0.12% の精度、垂直校正を備え、MKS 部品番号 627H12TBC1B を持つ MKS タイプ 627H 容量マノメーターです。互換性のあるコントローラとケーブル: P102063 - Ideal Vacuum MKS PDR 2000電源およびデジタル表示ケーブル用ケーブル 15ピンYケーブル、CB2000S-1-M1相当 P102062 - MKS PDR 2000デジタル電源およびデジタル表示容量マノメータコントローラ P1010127 - Ideal Vacuumデュアル容量マノメータコントローラ(DCM)、電源およびデジタル圧力表示 製品の特徴: 優れた長期安定性 低圧範囲でより正確な出力信号を実現する読み値パーセント精度 低圧プロセスの精密測定のためのフルスケール範囲は20 mTorr (0.03 mbar)まで 全インコネル耐腐食性接液面 高速ウォームアップ時間 温度およびヒーター制御回路の視覚的および電気的状態表示 以前のBaratron容量マノメータ、MKS電源/表示モジュール、および圧力コントローラと互換性あり ガス組成に関係なく全圧を直接測定 信頼性を向上させるための高い過圧定格クリーンルーム対応ステンレス製パッケージ

MKS 627H 1,000 Torr 加熱式 45 °C、絶対バラトロン容量マノメーター、真空継手 VCR® 8 メス、精度 読み値の 0.12%、垂直校正。MKS 部品番号 PN: 627H13TBC1B。627H バラトロン® 容量マノメーターは 45°C に加熱され、読み値の 0.12% の精度を持ち、優れた長期安定性と再現性を提供する最新の温度制御電子回路を備えています。この容量マノメーターは、今日の低いプロセス圧力に対応するため、フルスケール範囲が 20 mTorr (0.03 mbar) まで用意されています。定評のあるバラトロン容量マノメーター技術に基づいて、センサーの接液面は腐食性ガスに対する優れた耐性を持つインコネル® です。現代的なステンレス鋼パッケージにより、クリーンルーム対応製品となっています。この製品は、以前の 627A、627B、627D、および 627F Baratron 容量マノメーターと互換性があり、MKS 電源、表示ユニット、圧力コントローラ、またはその他の互換性のある電源/読み取りデバイスで使用できます。このリストは、45 °C に加熱され、ネジロック付きの 15 ピン D-sub ミニチュア信号コネクタ、1,000 Torr のフルスケール最大真空圧力読み取り値、VCR® 8 メス真空フランジ接続、読み取り値の 0.12% の精度、垂直校正を備え、MKS 部品番号 627H13TBC1B を持つ MKS タイプ 627H 容量マノメーターです。互換性のあるコントローラとケーブル: P102063 - Ideal Vacuum MKS PDR 2000電源およびデジタル表示ケーブル用ケーブル 15ピンYケーブル、CB2000S-1-M1相当 P102062 - MKS PDR 2000デジタル電源およびデジタル表示容量マノメータコントローラ P1010127 - Ideal Vacuumデュアル容量マノメータコントローラ(DCM)、電源およびデジタル圧力表示 製品の特徴: 優れた長期安定性 低圧範囲でより正確な出力信号を実現する読み値パーセント精度 低圧プロセスの精密測定のためのフルスケール範囲は20 mTorr (0.03 mbar)まで 全インコネル耐腐食性接液面 高速ウォームアップ時間 温度およびヒーター制御回路の視覚的および電気的状態表示 以前のBaratron容量マノメータ、MKS電源/表示モジュール、および圧力コントローラと互換性あり ガス組成に関係なく全圧を直接測定 信頼性を向上させるための高い過圧定格クリーンルーム対応ステンレス製パッケージ

MKS マノメータ ケーブルは、937B または 946 コントローラを 626 または 627 マノメータに接続します。長さは 10 フィート (3 m) です。MKS 部品番号: 100007555。MKS 真空ゲージ信号ケーブルは、937B または 946 コントローラを 626 または 627 マノメータに接続します。9 ピン タイプ D サブミニチュア コネクタと 15 ピン タイプ D サブミニチュア コネクタを備えています。これはケーブルのみです。937B シリーズ デジタル コンビネーション真空ゲージ コントローラは、最大 6 個の真空圧力センサーを同時に操作します。この非常に柔軟な真空ゲージ コントローラは、冷陰極、熱陰極、標準ピラニ、対流ピラニ、Baratron® 静電容量マノメータ、絶対圧ピエゾ センサーなど、幅広いセンサー技術をサポートし、超高真空から大気圧を超える圧力まで測定範囲をカバーします。バックライト付きLCDディスプレイ、直感的なメニュー、そしてシンプルなプッシュボタン式のフロントパネルにより、937Bのセットアップは容易です。937Bは、各センサーカードスロットに任意のセンサーカードを装着できます。937Bは、最大3枚のホットカソード型またはコールドカソード型ゲージ、または3枚のデュアルセンサーカード（最大6枚のゲージ接続）を搭載可能です。

MKS 圧力計ケーブルは、937B または 946 コントローラーを 626 または 627 圧力計に 25 フィート (7.5m) 接続します。長さ。 MKS 部品番号: 100007556。MKS 真空計信号ケーブルは、937B または 946 コントローラーを 626 または 627 圧力計に接続します。 9 ピン タイプ D サブミニチュア コネクタと 15 ピン タイプ D サブミニチュア コネクタを備えています。こちらはケーブルのみです。シリーズ 937B デジタル複合真空計コントローラは、最大 6 つの真空圧力センサーを同時に動作させます。この柔軟性の高い真空計コントローラは、冷陰極、熱陰極、標準ピラニ、対流ピラニ、Baratron® 静電容量圧力計、超高真空から大気圧以上までの測定範囲に対応する絶対圧電センサーなど、幅広いセンサー技術をサポートしています。バックライト付き LCD ディスプレイ、直感的なメニュー、シンプルな押しボタンのフロント パネルにより、937B のセットアップが簡単になります。 937B では、各センサー カード スロットで任意のセンサー カードを使用できます。 937B は、最大 3 つの熱陰極または冷陰極タイプのゲージ、または最大 6 つのゲージ接続用の 3 つのデュアル センサー カードで構成できます。

MKS 722C汎用バラトロン絶対容量マノメーター、圧力範囲1 Torr、VCR® 4真空継手、9ピンタイプDコネクタ、PN 722C01TCD2FA。今日のプロセス環境では、低コストで正確、再現性、信頼性の高い測定を提供する小型の圧力測定機器が求められています。MKSは、容量マノメーターの設計と製造技術における専門知識を応用し、コンパクトな汎用絶対バラトロン®容量マノメーター722Cを開発しました。722Cの柔軟な設計により、改修用途だけでなく、新しい機器設計にも理想的なソリューションとなっています。堅牢なセンサー構造により、高い過圧許容度を実現し、時折発生するライン圧力スパイクによる誤差を低減します。センサーのすべての接液面は、多くのプロセスガス1との最大限の適合性を確保するためにインコネル®で作られています。高度な技術と厳格なプロセス制御により、すべての接液面はクリーンで滑らかな仕上げ（=10 Ra）を実現しています。信号調整回路は、最新の表面実装技術を使用して組み立てられています。すべてのトランスデューサーには、2年間の完全保証が付いています。この出品は、9ピンDサブミニチュア信号コネクタ、1 Torrのフルスケール最大真空圧力読み取り値、VCR® 4メス真空フランジ接続を備え、MKS部品番号722C01TCD2FAのMKSタイプ722C汎用容量マノメーターです。対応コントローラおよびケーブル：P102061 - MKS PDR 2000電源およびデジタル表示ケーブル 9ピンケーブル CB2000S-2-M1 P102062 - MKS PDR 2000デジタル電源およびデジタル表示容量マノメータコントローラ P1010127 - Ideal Vacuumデュアル容量マノメータコントローラ（DCM）、電源およびデジタル圧力表示 製品の特徴：9ピンD-subコネクタ付き0～10VDC比例アナログ出力 ガスの種類や組成に関係なくチャンバー全圧を直接測定 広い動作温度範囲で高精度 45 psiaまたはフルスケールの2倍（いずれか大きい方）の過圧制限により、ゼロ再現性や性能の低下を防止 すべての接液センサ表面は=10 Raにマイクロ仕上げされており、腐食成長の介在箇所を排除 マノメータサイズが小さいため、システム全体のサイズを縮小可能 耐腐食性 - 全金属製、全溶接構造で、インコネルとステンレス鋼のみが露出メディア向け情報：以前の722型バラトロン静電容量式圧力計と互換性のある交換部品です。

MKS 722C汎用バラトロン絶対容量マノメーター、圧力範囲10 Torr、VCR® 4真空継手、9ピンタイプDコネクタ、PN 722C11TCD2FA。今日のプロセス環境では、低コストで正確、再現性、信頼性の高い測定を提供する小型の圧力測定機器が求められています。MKSは、容量マノメーターの設計と製造技術における専門知識を応用し、コンパクトな汎用絶対バラトロン®容量マノメーター722Cを開発しました。722Cの柔軟な設計により、改修用途だけでなく、新しい機器設計にも理想的なソリューションとなっています。堅牢なセンサー構造により、高い過圧許容度を実現し、時折発生するライン圧力スパイクによる誤差を低減します。センサーのすべての接液面は、多くのプロセスガス1との最大限の適合性を確保するためにインコネル®で作られています。高度な技術と厳格なプロセス制御により、すべての接液面にクリーンで滑らかな仕上げ（=10 Ra）が保証されます。信号調整回路は、最新の表面実装技術を使用して組み立てられています。すべてのトランスデューサーには、2年間の完全保証が付いています。この出品は、9ピンDサブミニチュア信号コネクタ、10 Torrの最大真空圧力読み取り値、VCR® 4メス真空フランジ接続を備え、MKS部品番号722C11TCD2FAのMKSタイプ722C汎用容量マノメーターです。対応コントローラおよびケーブル：P102061 - MKS PDR 2000電源およびデジタル表示ケーブル 9ピンケーブル CB2000S-2-M1 P102062 - MKS PDR 2000デジタル電源およびデジタル表示容量マノメータコントローラ P1010127 - Ideal Vacuumデュアル容量マノメータコントローラ（DCM）、電源およびデジタル圧力表示 製品の特徴：9ピンD-subコネクタ付き0～10VDC比例アナログ出力 ガスの種類や組成に関係なくチャンバー全圧を直接測定 広い動作温度範囲で高精度 45 psiaまたはフルスケールの2倍（いずれか大きい方）の過圧制限により、ゼロ再現性や性能の低下を防止 すべての接液センサ表面は=10 Raにマイクロ仕上げされており、腐食成長の介在箇所を排除 マノメータサイズが小さいため、システム全体のサイズを縮小可能 耐腐食性 - 全金属製、全溶接構造で、インコネルとステンレス鋼のみが露出メディア向け情報：以前の722型バラトロン静電容量式圧力計と互換性のある交換部品です。

MKS 722C汎用バラトロン絶対容量マノメーター、圧力範囲100 Torr、VCR® 4真空継手、9ピンタイプDコネクタ、PN 722C12TCD2FA。今日のプロセス環境では、低コストで正確、再現性、信頼性の高い測定を提供する小型の圧力測定機器が求められています。MKSは、容量マノメーターの設計と製造技術における専門知識を応用し、コンパクトな汎用絶対バラトロン®容量マノメーター722Cを開発しました。722Cの柔軟な設計により、改修用途だけでなく、新しい機器設計にも理想的なソリューションとなっています。堅牢なセンサー構造により、高い過圧許容度を実現し、時折発生するライン圧力スパイクによる誤差を低減します。センサーのすべての接液面は、多くのプロセスガス1との最大限の適合性を確保するためにインコネル®で作られています。高度な技術と厳格なプロセス制御により、すべての接液面にクリーンで滑らかな仕上げ（=10 Ra）が保証されます。信号調整回路は、最新の表面実装技術を使用して組み立てられています。すべてのトランスデューサーには、2年間の完全保証が付いています。この出品は、9ピンDサブミニチュア信号コネクタ、100 Torrの最大真空圧力読み取り値、VCR® 4メス真空フランジ接続を備え、MKS部品番号722C12TCD2FAのMKSタイプ722C汎用容量マノメーターです。対応コントローラおよびケーブル：P102061 - MKS PDR 2000電源およびデジタル表示ケーブル 9ピンケーブル CB2000S-2-M1 P102062 - MKS PDR 2000デジタル電源およびデジタル表示容量マノメータコントローラ P1010127 - Ideal Vacuumデュアル容量マノメータコントローラ（DCM）、電源およびデジタル圧力表示 製品の特徴：9ピンD-subコネクタ付き0～10VDC比例アナログ出力 ガスの種類や組成に関係なくチャンバー全圧を直接測定 広い動作温度範囲で高精度 45 psiaまたはフルスケールの2倍（いずれか大きい方）の過圧制限により、ゼロ再現性や性能の低下を防止 すべての接液センサ表面は=10 Raにマイクロ仕上げされており、腐食成長の介在箇所を排除 マノメータサイズが小さいため、システム全体のサイズを縮小可能 耐腐食性 - 全金属製、全溶接構造で、インコネルとステンレス鋼のみが露出メディア向け情報：以前の722型バラトロン静電容量式圧力計と互換性のある交換部品です。

MKS 722C汎用バラトロン絶対容量マノメーター、圧力範囲1,000 Torr、VCR® 4真空継手、9ピンタイプDコネクタ、PN 722C13TCD2FA。今日のプロセス環境では、低コストで正確、再現性、信頼性の高い測定を提供する小型の圧力測定機器が求められています。MKSは、容量マノメーターの設計と製造技術における専門知識を応用し、コンパクトな汎用絶対バラトロン®容量マノメーター722Cを開発しました。722Cの柔軟な設計により、改修用途だけでなく、新しい機器設計にも理想的なソリューションとなっています。堅牢なセンサー構造により、高い過圧許容度を実現し、時折発生するライン圧力スパイクによる誤差を低減します。センサーのすべての接液面は、多くのプロセスガス1との最大限の適合性を確保するためにインコネル®で作られています。高度な技術と厳格なプロセス制御により、すべての接液面が清潔で滑らかな仕上げ（=10 Ra）になっています。信号調整回路は、最新の表面実装技術を使用して組み立てられています。すべてのトランスデューサには、2年間の完全保証が付いています。このリストは、9ピンDサブミニチュア信号コネクタ、1,000 Torrのフルスケール最大真空圧力読み取り値、VCR® 4メス真空フランジ接続を備え、MKS部品番号722C13TCD2FAのMKSタイプ722C汎用容量マノメータに関するものです。対応コントローラおよびケーブル：P102061 - MKS PDR 2000電源およびデジタル表示ケーブル 9ピンケーブル CB2000S-2-M1 P102062 - MKS PDR 2000デジタル電源およびデジタル表示容量マノメータコントローラ P1010127 - Ideal Vacuumデュアル容量マノメータコントローラ（DCM）、電源およびデジタル圧力表示 製品の特徴：9ピンD-subコネクタ付き0～10VDC比例アナログ出力 ガスの種類や組成に関係なくチャンバー全圧を直接測定 広い動作温度範囲で高精度 45 psiaまたはフルスケールの2倍（いずれか大きい方）の過圧制限により、ゼロ再現性や性能の低下を防止 すべての接液センサ表面は=10 Raにマイクロ仕上げされており、腐食成長の介在箇所を排除 マノメータサイズが小さいため、システム全体のサイズを縮小可能 耐腐食性 - 全金属製、全溶接構造で、インコネルとステンレス鋼のみが露出メディア向け情報：以前の722型バラトロン静電容量式圧力計と互換性のある交換部品です。

MKS 722C汎用バラトロン絶対容量マノメーター、圧力範囲5,000 Torr、VCR® 4真空継手、9ピンタイプDコネクタ、PN 722C53TCD2FA。今日のプロセス環境では、より低コストで正確で再現性があり信頼性の高い測定を提供する小型の圧力測定機器が求められています。MKSは、容量マノメーターの設計と製造技術における専門知識を応用して、コンパクトな汎用絶対バラトロン®容量マノメーター722Cを開発しました。722Cの柔軟な設計により、改修用途だけでなく、新しい機器設計にも理想的なソリューションとなっています。堅牢なセンサー構造により、高い過圧許容度を実現し、時折発生するライン圧力スパイクによる誤差を低減します。センサーのすべての接液面は、多くのプロセスガス1との最大限の適合性を確保するためにインコネル®で作られています。高度な技術と厳格なプロセス制御により、すべての接液面にクリーンで滑らかな仕上げ（=10 Ra）が保証されます。信号調整回路は、最新の表面実装技術を用いて組み立てられています。すべてのトランスデューサには、2年間の完全保証が付いています。このリストは、9ピンDサブミニチュア信号コネクタ、5,000 Torrのフルスケール最大真空圧力読み取り値、VCR® 4メス真空フランジ接続を備え、MKS部品番号722C53TCD2FAのMKSタイプ722C汎用容量マノメータに関するものです。対応コントローラおよびケーブル：P102061 - MKS PDR 2000電源およびデジタル表示ケーブル 9ピンケーブル CB2000S-2-M1 P102062 - MKS PDR 2000デジタル電源およびデジタル表示容量マノメータコントローラ P1010127 - Ideal Vacuumデュアル容量マノメータコントローラ（DCM）、電源およびデジタル圧力表示 製品の特徴：9ピンD-subコネクタ付き0～10VDC比例アナログ出力 ガスの種類や組成に関係なくチャンバー全圧を直接測定 広い動作温度範囲で高精度 45 psiaまたはフルスケールの2倍（いずれか大きい方）の過圧制限により、ゼロ再現性や性能の低下を防止 すべての接液センサ表面は=10 Raにマイクロ仕上げされており、腐食成長の介在箇所を排除 マノメータサイズが小さいため、システム全体のサイズを縮小可能 耐腐食性 - 全金属製、全溶接構造で、インコネルとステンレス鋼のみが露出メディア向け情報：以前の722型バラトロン静電容量式圧力計と互換性のある交換部品です。

MKS 722C汎用バラトロン絶対容量マノメーター、圧力範囲10,000 Torr、VCR® 4真空継手、9ピンタイプDコネクタ、PN 722C14TCD2FA。今日のプロセス環境では、より低コストで正確で再現性があり信頼性の高い測定を提供する小型の圧力測定機器が求められています。MKSは、容量マノメーターの設計と製造技術における専門知識を応用して、コンパクトな汎用絶対バラトロン®容量マノメーター722Cを開発しました。722Cの柔軟な設計により、改修用途だけでなく、新しい機器設計にも理想的なソリューションとなっています。堅牢なセンサー構造により、高い過圧許容度を実現し、時折発生するライン圧力スパイクによる誤差を低減します。センサーのすべての接液面は、多くのプロセスガス1との最大限の適合性を確保するためにインコネル®で作られています。高度な技術と厳格なプロセス制御により、すべての接液面にクリーンで滑らかな仕上げ（=10 Ra）が保証されます。信号調整回路は、最新の表面実装技術を用いて組み立てられています。すべてのトランスデューサには、2年間の完全保証が付いています。このリストは、9ピンDサブミニチュア信号コネクタ、10,000 Torrのフルスケール最大真空圧力読み取り値、VCR® 4メス真空フランジ接続を備え、MKS部品番号722C14TCD2FAのMKSタイプ722C汎用容量マノメータに関するものです。対応コントローラおよびケーブル：P102061 - MKS PDR 2000電源およびデジタル表示ケーブル 9ピンケーブル CB2000S-2-M1 P102062 - MKS PDR 2000デジタル電源およびデジタル表示容量マノメータコントローラ P1010127 - Ideal Vacuumデュアル容量マノメータコントローラ（DCM）、電源およびデジタル圧力表示 製品の特徴：9ピンD-subコネクタ付き0～10VDC比例アナログ出力 ガスの種類や組成に関係なくチャンバー全圧を直接測定 広い動作温度範囲で高精度 45 psiaまたはフルスケールの2倍（いずれか大きい方）の過圧制限により、ゼロ再現性や性能の低下を防止 すべての接液センサ表面は=10 Raにマイクロ仕上げされており、腐食成長の介在箇所を排除 マノメータサイズが小さいため、システム全体のサイズを縮小可能 耐腐食性 - 全金属製、全溶接構造で、インコネルとステンレス鋼のみが露出メディア向け情報：以前の722型バラトロン静電容量式圧力計と互換性のある交換部品です。

MKS 722C汎用バラトロン絶対容量マノメーター、圧力範囲20,000 Torr、VCR® 4真空継手、9ピンタイプDコネクタ、PN 722C24TCD2FA。今日のプロセス環境では、低コストで正確で再現性があり信頼性の高い測定を提供する小型の圧力測定機器が求められています。MKSは、容量マノメーターの設計と製造技術における専門知識を応用して、コンパクトな汎用絶対バラトロン®容量マノメーター722Cを開発しました。722Cの柔軟な設計により、改修用途だけでなく、新しい機器設計にも理想的なソリューションとなっています。堅牢なセンサー構造により、高い過圧許容度を実現し、時折発生するライン圧力スパイクによる誤差を低減します。センサーのすべての接液面は、多くのプロセスガス1との最大限の適合性を確保するためにインコネル®で作られています。高度な技術と厳格なプロセス制御により、すべての接液面にクリーンで滑らかな仕上げ（=10 Ra）が保証されます。信号調整回路は、最新の表面実装技術を使用して組み立てられています。すべてのトランスデューサには、2年間の完全保証が付いています。このリストは、9ピンDサブミニチュア信号コネクタ、20,000 Torrのフルスケール最大真空圧力読み取り値、VCR® 4メス真空フランジ接続を備え、MKS部品番号722C24TCD2FAを持つMKSタイプ722C汎用容量マノメータに関するものです。対応コントローラおよびケーブル：P102061 - MKS PDR 2000電源およびデジタル表示ケーブル 9ピンケーブル CB2000S-2-M1 P102062 - MKS PDR 2000デジタル電源およびデジタル表示容量マノメータコントローラ P1010127 - Ideal Vacuumデュアル容量マノメータコントローラ（DCM）、電源およびデジタル圧力表示 製品の特徴：9ピンD-subコネクタ付き0～10VDC比例アナログ出力 ガスの種類や組成に関係なくチャンバー全圧を直接測定 広い動作温度範囲で高精度 45 psiaまたはフルスケールの2倍（いずれか大きい方）の過圧制限により、ゼロ再現性や性能の低下を防止 すべての接液センサ表面は=10 Raにマイクロ仕上げされており、腐食成長の介在箇所を排除 マノメータサイズが小さいため、システム全体のサイズを縮小可能 耐腐食性 - 全金属製、全溶接構造で、インコネルとステンレス鋼のみが露出メディア向け情報：以前の722型バラトロン静電容量式圧力計と互換性のある交換部品です。

MKS マノメーター ケーブルは、937B または 946 コントローラを 722 マノメーターに接続します。DB9 オス - DB9 メス、長さ 10 フィート (3 m)。MKS 部品番号: 100016951。MKS マノメーター ケーブルは、937B または 946 コントローラをシリーズ 722 容量マノメーターに接続します。9 ピンのタイプ D サブミニチュア コネクタを備えています。これはケーブルのみです。シリーズ 937B デジタル コンビネーション真空計コントローラは、最大 6 つの真空圧力センサーを同時に操作します。この非常に柔軟な真空計コントローラは、冷陰極、熱陰極、標準ピラニ、対流ピラニ、バラトロン® 容量マノメーター、絶対ピエゾ センサーなど、幅広いセンサー テクノロジーをサポートし、超高真空から大気圧を超える測定範囲に対応します。バックライト付き LCD ディスプレイ、直感的なメニュー、シンプルなプッシュ ボタンのフロント パネルにより、937B のセットアップが容易になります。 937Bは、各センサーカードスロットに任意のセンサーカードを使用できます。937Bは、最大3つのホットカソードまたはコールドカソードタイプのゲージ、あるいは最大6つのゲージ接続に対応する3つのデュアルセンサーカードで構成できます。

MKS マノメーター ケーブルは、937B または 946 コントローラを 722 マノメーターに接続します。DB9 オス - DB9 メス、長さ 25 フィート (7.5 m)。MKS 部品番号: 100016952。MKS マノメーター ケーブルは、937B または 946 コントローラをシリーズ 722 マノメーターに接続します。DB9 オス - DB9 メス。9 ピンのタイプ D サブミニチュア コネクタを備えています。これはケーブルのみです。シリーズ 937B デジタル コンビネーション真空計コントローラは、最大 6 つの真空圧力センサーを同時に操作します。この非常に柔軟な真空計コントローラは、冷陰極、熱陰極、標準ピラニ、対流ピラニ、バラトロン® 容量マノメーター、絶対ピエゾセンサーなど、幅広いセンサー技術をサポートし、超高真空から大気圧を超える測定範囲に対応します。バックライト付き LCD ディスプレイ、直感的なメニュー、シンプルなプッシュ ボタンのフロント パネルにより、937B のセットアップが容易になります。 937Bは、各センサーカードスロットに任意のセンサーカードを使用できます。937Bは、最大3つのホットカソードまたはコールドカソードタイプのゲージ、あるいは最大6つのゲージ接続に対応する3つのデュアルセンサーカードで構成できます。

MKS 真空センサー カード デュアル コンベクション ピラニ、シリーズ 937B および 946 コントローラー用。MKS 部品番号: 100015132。MKS 真空センサー カードはデュアル ピラニ コンベクション センサーをサポートし、937B および 946 真空システム コントローラーで使用されます。これらのカードは、あらゆるフロー トランスデューサーを制御および表示するように設計されたコントローラーで使用されます。流量設定ポイントは、フロント パネル コントロールまたは背面パネルのアナログ インターフェイスを介してリモートで調整できます。946 および 937B 真空システム コントローラーは、最大 6 つのセンサーとゲージを同時に読み取り、制御します。

MKS HPS® シリーズ 317 対流強化型ピラニ センサー KF16 NW16 (PN 103170010SH) (MKS 947 対流強化型ピラニ ゲージ コントローラーと互換性あり) MKS HPS® 317 対流強化型ピラニ センサーは、非常に低コストで信頼性の高い安定した圧力測定を提供します。真空にさらされる材料はステンレス鋼、ニッケル、ガラス、プラチナのみであるため、このセンサーは幅広いプロセスガスと互換性があり、特に UHV アプリケーションに適しています。プラチナ フィラメントは、対流センサーのより高い測定範囲全体にわたって読み取り値の変動を効果的に排除します。 317 センサーは熱電対センサーよりも正確で、より広い圧力範囲にわたって測定し、プロセス圧力の変化により迅速に応答します。対流強化型ピラニ センサーの測定上限は、従来のピラニ センサーの測定上限よりも 100 Torr から 1,000 Torr に増加します。この上限は、大気圧からベース圧力までの真空システムのポンプダウンを監視するときに役立ちます。センサーは、10°C ～ 50°C の範囲の室温の変化を補正します。すべての熱伝導率センサーと同様、317 センサーは本質的にガスの種類に敏感です。この機能により、真空システムにおける中程度から微量の漏れを特定するための簡単なソリューションになります。これは質量分析計のリーク検出器を補完し、より小さなリークをより効率的に発見します。このセンサーは RF ノイズからシールドされており、CE マーク要件を満たしており、100°C でベークすることができます。この 317 センサーには、この KF16 NW16 フランジなどの標準真空接続が含まれています。このセンサー用のケーブルは付属していませんが、標準的な 10 フィートの長さが用意されています。 317 センサーは、この Web サイトでも販売されているシリーズ 947 対流ピラニ真空ゲージ コントローラーと併用できます。完全な仕様パンフレットと操作マニュアルは、以下から PDF 形式でダウンロードできます。

MKS HPS® シリーズ 317 対流強化型ピラニ センサー KF25 NW25 (PN 103170027SH) (MKS 947 対流強化型ピラニ ゲージ コントローラーと互換性あり) MKS HPS® 317 対流強化型ピラニ センサーは、非常に低コストで信頼性の高い安定した圧力測定を提供します。真空にさらされる材料はステンレス鋼、ニッケル、ガラス、プラチナのみであるため、このセンサーは幅広いプロセスガスと互換性があり、特に UHV アプリケーションに適しています。プラチナ フィラメントは、対流センサーのより高い測定範囲全体にわたって読み取り値の変動を効果的に排除します。 317 センサーは熱電対センサーよりも正確で、より広い圧力範囲にわたって測定し、プロセス圧力の変化により迅速に応答します。対流強化型ピラニ センサーの測定上限は、従来のピラニ センサーの測定上限よりも 100 Torr から 1,000 Torr に増加しています。この上限は、大気圧からベース圧力までの真空システムのポンプダウンを監視するときに役立ちます。センサーは、10°C ～ 50°C の範囲の室温の変化を補正します。すべての熱伝導率センサーと同様、317 センサーは本質的にガスの種類に敏感です。この機能により、真空システムにおける中程度から微量の漏れを特定するための簡単なソリューションになります。これは質量分析計のリーク検出器を補完し、より小さなリークをより効率的に発見します。このセンサーは RF ノイズからシールドされており、CE マーク要件を満たしており、100°C でベークすることができます。この 317 センサーには、この KF25 NW25 フランジなどの標準真空接続が含まれています。このセンサー用のケーブルは付属していませんが、標準的な 10 フィートの長さが用意されています。 317 センサーは、この Web サイトでも販売されているシリーズ 947 対流ピラニ真空ゲージ コントローラーと併用できます。完全な仕様パンフレットと操作マニュアルは、以下から PDF 形式でダウンロードできます。

MKS HPS® シリーズ 317 対流強化ピラニ真空センサーは、0.001 ～ 1000 Torr、Conflat CF 1.33 インチを備えています。MKS 部品番号: 103170013SH。 MKS HPS® 317 対流強化型ピラニ センサーは、非常に低コストで信頼性の高い安定した圧力測定を提供し、MKS 947 対流強化型ピラニ ゲージ コントローラーと互換性があります。真空にさらされる材料はステンレス鋼、ニッケル、ガラス、プラチナのみであるため、このセンサーは幅広いプロセスガスと互換性があり、特に UHV アプリケーションに適しています。プラチナ フィラメントは、対流センサーのより高い測定範囲全体にわたって読み取り値の変動を効果的に排除します。 317 センサーは熱電対センサーよりも正確で、より広い圧力範囲にわたって測定し、プロセス圧力の変化により迅速に応答します。対流強化型ピラニ センサーの測定上限は、従来のピラニ センサーの測定上限よりも 0.001 から 1,000 Torr まで増加しています。この上限は、大気圧からベース圧力までの真空システムのポンプダウンを監視するときに役立ちます。センサーは、10°C ～ 50°C の範囲の室温の変化を補正します。すべての熱伝導率センサーと同様、317 センサーは本質的にガスの種類に敏感です。この機能により、真空システムにおける中程度から微量の漏れを特定するための簡単なソリューションになります。これは質量分析計のリーク検出器を補完し、より小さなリークをより効率的に発見します。このセンサーは RF ノイズからシールドされており、CE マーク要件を満たしており、100°C でベークすることができます。この 317 センサーには、CF 1.33 インチ Mini-CF フランジ フィッティングなどの標準真空接続が含まれています。このセンサー用のケーブルは付属していませんが、標準的な 10 フィートの長さが用意されています。 317 センサーは、この Web サイトでも販売されているシリーズ 947 対流ピラニ真空ゲージ コントローラーと併用できます。完全な仕様パンフレットと操作マニュアルは、以下から PDF 形式でダウンロードできます。

MKS HPS® シリーズ 317 対流強化ピラニ真空センサーは、0.001 ～ 1000 Torr、Conflat CF 2.75 インチを備えています。MKS 部品番号: 103170014SH。 MKS HPS® 317 対流強化型ピラニ センサーは、非常に低コストで信頼性の高い安定した圧力測定を提供し、MKS 947 対流強化型ピラニ ゲージ コントローラーと互換性があります。真空にさらされる材料はステンレス鋼、ニッケル、ガラス、プラチナのみであるため、このセンサーは幅広いプロセスガスと互換性があり、特に UHV アプリケーションに適しています。プラチナ フィラメントは、対流センサーのより高い測定範囲全体にわたって読み取り値の変動を効果的に排除します。 317 センサーは熱電対センサーよりも正確で、より広い圧力範囲にわたって測定し、プロセス圧力の変化により迅速に応答します。対流強化型ピラニ センサーの測定上限は、従来のピラニ センサーの測定上限よりも 0.001 から 1,000 Torr まで増加しています。この上限は、大気圧からベース圧力までの真空システムのポンプダウンを監視するときに役立ちます。センサーは、10°C ～ 50°C の範囲の室温の変化を補正します。すべての熱伝導率センサーと同様、317 センサーは本質的にガスの種類に敏感です。この機能により、真空システムにおける中程度から微細な漏れを特定するための簡単なソリューションになります。これは質量分析計のリーク検出器を補完し、より小さなリークをより効率的に発見します。このセンサーは RF ノイズからシールドされており、CE マーク要件を満たしており、100°C でベークすることができます。この 317 センサーには、CF 2.75 コンフラット フランジなどの標準真空接続が含まれています。このセンサー用のケーブルは付属していませんが、標準的な 10 フィートの長さが用意されています。 317 センサーは、この Web サイトでも販売されているシリーズ 947 対流ピラニ真空ゲージ コントローラーと併用できます。完全な仕様パンフレットと操作マニュアルは、以下から PDF 形式でダウンロードできます。

MKS 真空ゲージ ケーブル、937B および 946 コントローラーに接続する 345 または 317 用、10 フィート。 (3m) 長い。 MKS部品番号：103170006SH。 MKS 真空計信号ケーブルは、345 または 317 真空計センサーを 945、947、937B、および 946 コントローラーに接続します。 MKS コントローラーの背面と MKS 345 または 317 ピラニ センサーの側面に接続します。こちらはケーブルのみです。シリーズ 947 対流強化ピラニ コントローラは、多くの標準機能を備え、使いやすいです。圧力に比例するアナログ出力信号が標準装備されており、このケーブルが接続されているコントローラーの背面からアクセスできます。プロセスは、このシングルチャネル コントローラの標準である 2 つの独立したリレー設定値で制御されます。リレーは、コントローラの設定値範囲内のどこにでもトリップするように設定できます。電源オン/オフ スイッチを含むすべての操作コントロールは、コントローラのフロント パネルから簡単にアクセスできます。大きくて読みやすいディスプレイを見ながら、フロントパネルから設定値を調整します。設定値の有効化は赤色の LED インジケーターで示されます。設定値は、プロセス制御を中断することなくいつでも確認できます。

MKS 真空ゲージ ケーブル、945、947、937B または 946 コントローラーに接続する 345 または 317 用、長さ 25 フィート (7.5m)。 MKS部品番号：103170007SH。 MKS 真空計信号ケーブルは、345 または 317 真空計センサーを 945、947、937B、または 946 コントローラーに接続します。 MKS コントローラーの背面と MKS 345 または 317 ピラニ センサーの側面に接続します。こちらはケーブルのみです。シリーズ 947 対流強化ピラニ コントローラは、多くの標準機能を備え、使いやすいです。圧力に比例するアナログ出力信号が標準装備されており、このケーブルが接続されているコントローラーの背面からアクセスできます。プロセスは、このシングルチャネル コントローラの標準である 2 つの独立したリレー設定値で制御されます。リレーは、コントローラの設定値範囲内のどこにでもトリップするように設定できます。電源オン/オフ スイッチを含むすべての操作コントロールは、コントローラのフロント パネルから簡単にアクセスできます。大きくて読みやすいディスプレイを見ながら、フロントパネルから設定値を調整します。設定値の有効化は赤色の LED インジケーターで示されます。設定値は、プロセス制御を中断することなくいつでも確認できます。

MKS Granville Phillips 275 コンベクトロンゲージ真空圧力測定センサー、1/8 オス NPT MKS Granville Phillips 部品番号 275071 275 MKS Granville Phillips コンベクトロン圧力測定ゲージチューブセンサーは、業界標準の対流強化型ピラニゲージです。MKS Granville Phillips 275 は、大気圧から 1x10-4 Torr までの真空圧力を測定し、粗圧測定や前線圧力測定に最適です。熱電対タイプのゲージの場合のように秒単位ではなく、ミリ秒単位で信頼性の高い高速応答測定を提供します。MKS Granville Phillips 275 コンベクトロン真空ゲージセンサーの高い精度と再現性により、プロセスが毎回目的の圧力で開始されることが保証されます。ただし、測定対象のガスの化学組成に敏感であり、相対圧力測定方法と呼ばれています。つまり、ガス媒体の熱伝導特性から間接的に圧力を決定します。 （写真に写っているMKS Granville Phillips 375 Convectronコントローラーは別売ですが、定価には含まれていません。）

MKS Granville Phillips 275 コンベクトロンゲージ真空圧力測定センサー、1/4 インチメス 4 VCR® フィッティング MKS Granville Phillips 部品番号: 275185 275 MKS Granville Phillips コンベクトロン圧力測定ゲージチューブセンサーは、業界標準の対流強化型ピラニゲージです。MKS Granville Phillips 275 は、大気圧から 1x10-4 Torr までの真空圧力を測定し、粗引きおよび前線圧力測定に最適です。熱電対タイプのゲージの場合のように秒単位ではなく、ミリ秒単位で信頼性の高い高速応答測定を提供します。MKS Granville Phillips 275 コンベクトロン真空ゲージセンサーの高い精度と再現性により、プロセスが毎回目的の圧力で開始されることが保証されます。しかしながら、これらの装置は測定対象となるガスの化学組成に敏感であり、相対圧力測定法と呼ばれています。つまり、ガス媒体の熱伝導率特性から間接的に圧力を測定する方法です。（写真に写っているMKS Granville Phillips 375 Convectron Controllerは入手不可能で、MKS Granville Phillips 475に置き換えられています。）

MKS Granville Phillips 275 コンベクトロンゲージ真空圧力測定センサー、コンフラット 2.75 インチ MKS Granville Phillips 部品番号: 275238 275 MKS Granville Phillips コンベクトロン圧力測定ゲージチューブセンサーは、業界標準の対流強化型ピラニゲージです。MKS Granville Phillips 275 は、大気圧から 1x10-4 Torr までの真空圧力を測定し、粗圧測定や前線圧力測定に最適です。熱電対タイプのゲージの場合のように秒単位ではなく、ミリ秒単位で信頼性の高い高速応答測定を提供します。MKS Granville Phillips 275 コンベクトロン真空ゲージセンサーの高い精度と再現性により、プロセスが毎回目的の圧力で開始されることが保証されます。ただし、測定対象のガスの化学組成に敏感であり、相対圧力測定方法と呼ばれています。つまり、ガス媒体の熱伝導特性から間接的に圧力を決定します。 （写真に写っているMKS Granville Phillips 375 Convectronコントローラーは別売ですが、定価には含まれていません。）

MKS Granville Phillips 275 コンベクトロンゲージ真空圧力測定センサー、Conflat 8 VCR® 1/2 インチフランジ MKS Granville Phillips 部品番号: 275282 275 MKS Granville Phillips コンベクトロン圧力測定ゲージチューブセンサーは、業界標準の対流強化型ピラニゲージです。MKS Granville Phillips 275 は、大気圧から 1x10-4 Torr までの真空圧力を測定し、粗圧測定や前線圧力測定に最適です。熱電対タイプのゲージの場合のように秒単位ではなく、ミリ秒単位で信頼性の高い高速応答測定を提供します。MKS Granville Phillips 275 コンベクトロン真空ゲージセンサーの高い精度と再現性により、プロセスが毎回目的の圧力で開始されることが保証されます。しかしながら、これらの装置は測定対象となるガスの化学組成に敏感であり、相対圧力測定法と呼ばれています。つまり、ガス媒体の熱伝導率特性から間接的に圧力を測定する方法です。（MKS Granville Phillips 375 Convectron Controllerは、別売りのMKS Granville Phillips 475に置き換えられます。）

MKS Granville Phillips 275 コンベクトロンゲージ真空圧力測定センサー、コンフラット 1.33 フランジ MKS Granville Phillips 部品番号: 275256 275 MKS Granville Phillips コンベクトロン圧力測定ゲージチューブセンサーは、業界標準の対流強化型ピラニゲージです。MKS Granville Phillips 275 は、大気圧から 1x10-4 Torr までの真空圧力を測定し、粗圧測定や前線圧力測定に最適です。熱電対タイプのゲージの場合のように秒単位ではなく、ミリ秒単位で信頼性の高い高速応答測定を提供します。MKS Granville Phillips 275 コンベクトロン真空ゲージセンサーの高い精度と再現性により、プロセスが毎回目的の圧力で開始されることが保証されます。ただし、測定対象のガスの化学組成に敏感であり、相対圧力測定方法と呼ばれています。つまり、ガス媒体の熱伝導特性から間接的に圧力を決定します。 （写真に写っているMKS Granville Phillips 375 Convectronコントローラーは別売ですが、定価には含まれていません。）

MKS Granville Phillips 275 コンベクトロンゲージ真空圧力測定センサー、NW KF 16 フランジ MKS Granville Phillips 部品番号: 275203 275 MKS Granville Phillips コンベクトロン圧力測定ゲージチューブセンサーは、業界標準の対流強化型ピラニゲージです。MKS Granville Phillips 275 は、大気圧から 1x10-4 Torr までの真空圧力を測定し、粗圧測定や前線圧力測定に最適です。熱電対タイプのゲージの場合のように秒単位ではなく、ミリ秒単位で信頼性の高い高速応答測定を提供します。MKS Granville Phillips 275 コンベクトロン真空ゲージセンサーの高い精度と再現性により、プロセスが毎回目的の圧力で開始されることが保証されます。ただし、測定対象のガスの化学組成に敏感であり、相対圧力測定方法と呼ばれています。つまり、ガス媒体の熱伝導特性から間接的に圧力を決定します。 （写真に写っているMKS Granville Phillips 375 Convectronコントローラーは別売ですが、定価には含まれていません。）

MKS Granville Phillips 275 コンベクトロンゲージ真空圧力測定センサー、NW KF 25 フランジ MKS Granville Phillips 部品番号: 275196 275 MKS Granville Phillips コンベクトロン圧力測定ゲージチューブセンサーは、業界標準の対流強化型ピラニゲージです。MKS Granville Phillips 275 は、大気圧から 1x10-4 Torr までの真空圧力を測定し、粗圧測定や前線圧力測定に最適です。熱電対タイプのゲージの場合のように秒単位ではなく、ミリ秒単位で信頼性の高い高速応答測定を提供します。MKS Granville Phillips 275 コンベクトロン真空ゲージセンサーの高い精度と再現性により、プロセスが毎回目的の圧力で開始されることが保証されます。ただし、測定対象のガスの化学組成に敏感であり、相対圧力測定方法と呼ばれています。つまり、ガス媒体の熱伝導特性から間接的に圧力を決定します。 （写真に写っているMKS Granville Phillips 375 Convectronコントローラーは別売ですが、定価には含まれていません。）

MKS Granville Phillips 275 コンベクトロンゲージ真空圧力測定センサー、NW KF 40 フランジ MKS Granville Phillips 部品番号: 275316 275 MKS Granville Phillips コンベクトロン圧力測定ゲージチューブセンサーは、業界標準の対流強化型ピラニゲージです。MKS Granville Phillips 275 は、大気圧から 1x10-4 Torr までの真空圧力を測定し、粗圧測定や前線圧力測定に最適です。熱電対タイプのゲージの場合のように秒単位ではなく、ミリ秒単位で信頼性の高い高速応答測定を提供します。MKS Granville Phillips 275 コンベクトロン真空ゲージセンサーの高い精度と再現性により、プロセスが毎回目的の圧力で開始されることが保証されます。ただし、測定対象のガスの化学組成に敏感であり、相対圧力測定方法と呼ばれています。つまり、ガス媒体の熱伝導特性から間接的に圧力を決定します。 （写真に写っているMKS Granville Phillips 375 Convectronコントローラーは別売ですが、定価には含まれていません。）

MKS 真空計ケーブルは、937B コントローラと GP275 真空計を接続します。長さ 10 フィート (3 m)。MKS 部品番号: 100016980。MKS 真空計信号ケーブルは、937B コントローラと GP275 真空計を接続します。MKS コントローラの背面と GP275 真空計の側面に接続します。これはケーブルのみです。シリーズ 937B デジタル複合真空計コントローラは、最大 6 つの真空圧力センサーを同時に操作します。この非常に柔軟な真空計コントローラは、冷陰極、熱陰極、標準ピラニ、対流ピラニ、バラトロン® 容量マノメータ、絶対ピエゾセンサーなど、幅広いセンサー技術をサポートし、超高真空から大気圧を超える測定範囲に対応します。バックライト付き LCD ディスプレイ、直感的なメニュー、シンプルなプッシュボタンのフロントパネルにより、937B のセットアップが容易になります。 937Bは、各センサーカードスロットに任意のセンサーカードを使用できます。937Bは、最大3つのホットカソードまたはコールドカソードタイプのゲージ、あるいは最大6つのゲージ接続に対応する3つのデュアルセンサーカードで構成できます。

MKS 真空計ケーブルは、937B コントローラと GP275 真空計を接続します。長さは 25 フィート (7.5 m) です。MKS 部品番号: 100016981。MKS 真空計信号ケーブルは、937B コントローラと GP275 真空計を接続します。MKS コントローラの背面と GP275 真空計の側面に接続します。これはケーブルのみです。シリーズ 937B デジタル複合真空計コントローラは、最大 6 つの真空圧力センサーを同時に操作します。この非常に柔軟な真空計コントローラは、冷陰極、熱陰極、標準ピラニ、対流ピラニ、バラトロン® 容量マノメータ、絶対ピエゾセンサーなど、幅広いセンサー技術をサポートし、超高真空から大気圧を超える測定範囲に対応します。バックライト付き LCD ディスプレイ、直感的なメニュー、シンプルなプッシュボタンのフロントパネルにより、937B のセットアップが簡単に行えます。 937Bは、各センサーカードスロットに任意のセンサーカードを使用できます。937Bは、最大3つのホットカソードまたはコールドカソードタイプのゲージ、あるいは最大6つのゲージ接続に対応する3つのデュアルセンサーカードで構成できます。

MKS 真空センサー カード コールド カソード、シリーズ 937B および 946 コントローラー用。MKS 部品番号: 100018446。MKS 真空センサー カード コールド カソードは、937B および 946 真空システム コントローラーで使用されます。これらのカードは、あらゆるフロー トランスデューサーを制御および表示するように設計されたコントローラーで使用されます。流量設定ポイントは、フロント パネル コントロールまたは背面パネルのアナログ インターフェイスを介してリモートで調整できます。946 および 937B 真空システム コントローラーは、最大 6 個のセンサーとゲージを同時に読み取り、制御します。

MKS HPS® 423 I-Mag® センサー冷陰極真空ゲージ KF25、NW25、MKS 943 冷陰極真空コントローラーと互換性があります。 MKS 部品番号: 104230004 反転マグネトロン設計を使用する 423 I-Mag® センサーは、適切なコントローラーを使用すると、従来のペニング冷陰極センサーよりもはるかに低い圧力、つまり 10 ～ 11 Torr の圧力で動作できます。この増加した圧力範囲により、HPS® 冷陰極センサーは UHV での使用に最適になります。 HPS® 冷陰極センサーのユニークな設計上の特徴は、イオン収集のための 2 番目のフィードスルーです。通常の単一フィードスルー設計では、アノードとグランドの間で電流が漏れると、圧力測定誤差が発生します。デュアルフィードスルー設計ではカソードからのイオン電流のみが測定値に寄与するため、プロセスモニタリングに最適です。フィラメントが切れないため、423 I-Mag® センサーは突然の空気の流入によって損傷することがなく、振動による損傷にも耐性があります。さらに、放出電流を調整したり、ゲージを脱気したりする必要がないため、圧力変化に対する応答時間が短縮されます。ベークアウトが必要な場合は、磁石とセンサー コネクタを取り外し、センサーを 400°C でベーキングできます。これは冷陰極センサーのみです。このユニット用の MKS 信号ケーブルと MKS 943 コントローラーはこの Web サイトで別売りです。完全な仕様パンフレットと操作マニュアルは、以下から PDF 形式でダウンロードできます。

MKS HPS 423 I-Mag センサー冷陰極真空計 Conflat 2.75 インレット。 MKS 部品番号: 104230002 (MKS 943 冷陰極真空コントローラーと互換性あり) 反転マグネトロン設計を使用する 423 I-Mag センサーは、従来のペニング冷陰極センサーよりもはるかに低い圧力、つまり 10 ～ 11 Torr の圧力で動作できます。適切なコントローラー。この増加した圧力範囲により、HPS 冷陰極センサーは UHV での使用に最適になります。 HPS 冷陰極センサーのユニークな設計上の特徴は、イオン収集のための 2 番目のフィードスルーです。通常の単一フィードスルー設計では、アノードとグランドの間で電流が漏れると、圧力測定誤差が発生します。デュアルフィードスルー設計ではカソードからのイオン電流のみが測定値に寄与するため、プロセスモニタリングに最適です。フィラメントが切れないため、423 I-Mag センサーは突然の空気の流入によって損傷することがなく、振動による損傷にも耐性があります。さらに、放出電流を調整したり、ゲージを脱気したりする必要がないため、圧力変化に対する応答時間が短縮されます。ベークアウトが必要な場合は、磁石とセンサー コネクタを取り外し、センサーを 400°C でベーキングできます。これは新品の冷陰極センサーです。このウェブサイトでは、このユニットの MKS 信号ケーブルと MKS 943 コントローラーのみが別売りです。完全な仕様パンフレットと操作マニュアルは、以下から PDF 形式でダウンロードできます。

MKS 真空計ケーブルは、946 コントローラーを 423 I-Mag® 冷陰極センサーに接続し、長さ 10 フィート (3m) です。 MKS 部品番号: 100016295。MKS マノメーター ケーブルは、946 コントローラーを 423 I-Mag® 冷陰極センサーに接続します。こちらはケーブルのみです。シリーズ 937B デジタル組み合わせ真空計コントローラは、最大 6 つの真空圧力センサーを同時に動作させます。この柔軟性の高い真空計コントローラは、冷陰極、熱陰極、標準ピラニ、対流ピラニ、Baratron® 静電容量圧力計、超高真空から大気圧以上までの測定範囲に対応する絶対圧電センサーなど、幅広いセンサー技術をサポートしています。バックライト付き LCD ディスプレイ、直感的なメニュー、シンプルな押しボタンのフロント パネルにより、937B のセットアップが簡単になります。 937B では、各センサー カード スロットで任意のセンサー カードを使用できます。 937B は、最大 3 つの熱陰極または冷陰極タイプのゲージ、または最大 6 つのゲージ接続用の 3 つのデュアル センサー カードで構成できます。

MKS 真空計ケーブルは、946 コントローラーを 423 I-Mag 冷陰極センサーに接続し、長さ 25 フィート (7.5 m) です。 MKS 部品番号: 100016296。MKS マノメーター ケーブルは、946 コントローラーを 423 I-Mag 冷陰極センサーに接続します。こちらはケーブルのみです。シリーズ 937B デジタル複合真空計コントローラは、最大 6 つの真空圧力センサーを同時に動作させます。この柔軟性の高い真空計コントローラは、冷陰極、熱陰極、標準ピラニ、対流ピラニ、Baratron® 静電容量圧力計、超高真空から大気圧以上までの測定範囲に対応する絶対圧電センサーなど、幅広いセンサー技術をサポートしています。バックライト付き LCD ディスプレイ、直感的なメニュー、シンプルな押しボタンのフロント パネルにより、937B のセットアップが簡単になります。 937B では、各センサー カード スロットで任意のセンサー カードを使用できます。 937B は、最大 3 つの熱陰極または冷陰極タイプのゲージ、または最大 6 つのゲージ接続用の 3 つのデュアル センサー カードで構成できます。

MKS 431 冷陰極真空センサー、1x10-11 ～ 1x10-2 Torr、CF-2.75 インチ フランジ フィッティング。 MKS 部品番号: 104310002。MKS 431 冷陰極真空センサーは、1x10-11 ～ 1x10-2 Torr の真空測定範囲、高い動作温度、および 2.75 インチ サイズの CF フランジ フィッティングを備えています。これはガスのイオン化確率に基づいており、電子の高電圧放電の結果としてイオン化が起こります。これらの冷陰極圧力真空センサーは、測定範囲を拡大するための反転マグネトロン設計に基づいています。イオン収集用のデュアル フィードスルーは独自の機能であり、他の冷陰極真空センサーや圧力センサーよりも圧力の読み取りが正確になります。この冷陰極真空センサーの信号ケーブルは、この Web サイトから入手できます。

MKS 圧力計ケーブルは、937B または 946 コントローラーを 431 I-Mag® 冷陰極センサーに接続し、長さ 10 フィート (3m) です。 MKS 部品番号: 100016217。MKS マノメーター ケーブルは、937B または 946 コントローラーを 431 I-Mag® 冷陰極センサーに接続します。こちらはケーブルのみです。シリーズ 937B デジタル複合真空計コントローラは、最大 6 つの真空圧力センサーを同時に動作させます。この柔軟性の高い真空計コントローラは、冷陰極、熱陰極、標準ピラニ、対流ピラニ、Baratron® 静電容量圧力計、超高真空から大気圧以上までの測定範囲に対応する絶対圧電センサーなど、幅広いセンサー技術をサポートしています。バックライト付き LCD ディスプレイ、直感的なメニュー、シンプルな押しボタンのフロント パネルにより、937B のセットアップが簡単になります。 937B では、各センサー カード スロットで任意のセンサー カードを使用できます。 937B は、最大 3 つの熱陰極または冷陰極タイプのゲージ、または最大 6 つのゲージ接続用の 3 つのデュアル センサー カードで構成できます。

MKS 圧力計ケーブルは、937B または 946 コントローラーを 431 I-Mag® 冷陰極センサーに接続し、長さ 25 フィート (7.5m) です。 MKS 部品番号: 100016218。MKS マノメーター ケーブルは、937B または 946 コントローラーを 431 I-Mag® 冷陰極センサーに接続します。こちらはケーブルのみです。シリーズ 937B デジタル複合真空計コントローラは、最大 6 つの真空圧力センサーを同時に動作させます。この柔軟性の高い真空計コントローラは、冷陰極、熱陰極、標準ピラニ、対流ピラニ、Baratron® 静電容量圧力計、超高真空から大気圧以上までの測定範囲に対応する絶対圧電センサーなど、幅広いセンサー技術をサポートしています。バックライト付き LCD ディスプレイ、直感的なメニュー、シンプルな押しボタンのフロント パネルにより、937B のセットアップが簡単になります。 937B では、各センサー カード スロットで任意のセンサー カードを使用できます。 937B は、最大 3 つの熱陰極または冷陰極タイプのゲージ、または最大 6 つのゲージ接続用の 3 つのデュアル センサー カードで構成できます。

MKS 真空センサー カード ホット カソード、シリーズ 937B および 946 コントローラー用。 MKS 部品番号: 100015641。MKS 真空センサー カード冷陰極は、937B および 946 真空システム コントローラーで使用されます。これらのカードは、流量トランスデューサを制御および表示するように設計されたコントローラで使用されます。流量設定値は、フロントパネルのコントロールを通じて、またはリアパネルのアナログインターフェイスを通じてリモートで調整できます。 946 および 937B 真空システム コントローラーは、最大 6 つのセンサーとゲージを同時に読み出し、制御します。

MKS ホットカソード真空センサー ヌードチューブ、イリジウムフィラメント、1x10⁻² ～ 1x10⁻¹¹ Torr、CF-2.75 インチフランジ継手。MKS 部品番号: 100006842。MKS ヌードチューブ真空センサーは、1x10⁻² ～ 1x10⁻¹¹ Torr の真空測定範囲に対応するイットリアコーティングされたイリジウムフィラメントと、2.75 インチ CF フランジ継手を備えています。この Bayard-Alpert スタイルの電離真空センサーは、グリッドの中央に配置された細いワイヤーコレクターを使用します。面積が小さいため、コレクターに当たる X 線は少なく、真空計は非常に低いレベルの圧力まで測定できます。チューブの検出部分は真空システム内に配置され、システムの真の圧力を受けるため、ヌードチューブは代表的な圧力測定値を提供し、ガラスエンベロープセンサーよりも圧力変化に迅速に反応します。この冷陰極真空センサー用の信号ケーブルは、このウェブサイトで入手可能です。

MKSホットカソード真空センサーヌードチューブ、タングステンフィラメント、1x10⁻²～1x10⁻¹¹ Torr、CF-2.75インチフランジ継手。MKS部品番号：100005980。MKSヌードチューブ真空センサーは、1x10⁻²～1x10⁻¹¹ Torrの真空測定範囲に対応するタングステンフィラメントと、2.75インチCFフランジ継手を備えています。このBayard-Alpertスタイルの電離真空センサーは、グリッドの中央に配置された細いワイヤーコレクターを使用します。面積が小さいため、コレクターに当たるX線は少なく、真空計は非常に低い圧力レベルまで測定できます。チューブの検出部は真空システム内に配置され、システムの真の圧力を受けるため、ヌードチューブは代表的な圧力測定値を提供し、ガラスエンベロープセンサーよりも圧力変化に迅速に反応します。この冷陰極真空センサーの信号ケーブルは、このWebサイトで入手できます。

MKS 真空計ケーブルは、937B または 946 を熱陰極低電力ヌードに接続し、長さ 10 フィート (3m) です。 MKS 部品番号: 100010909。MKS 圧力計ケーブルは、937B または 946 を熱陰極低電力ヌードに接続します。こちらはケーブルのみです。シリーズ 937B デジタル複合真空計コントローラは、最大 6 つの真空圧力センサーを同時に動作させます。この柔軟性の高い真空計コントローラは、冷陰極、熱陰極、標準ピラニ、対流ピラニ、Baratron® 静電容量圧力計、超高真空から大気圧以上までの測定範囲に対応する絶対圧電センサーなど、幅広いセンサー技術をサポートしています。バックライト付き LCD ディスプレイ、直感的なメニュー、シンプルな押しボタンのフロント パネルにより、937B のセットアップが簡単になります。 937B では、各センサー カード スロットで任意のセンサー カードを使用できます。 937B は、最大 3 つの熱陰極または冷陰極タイプのゲージ、または最大 6 つのゲージ接続用の 3 つのデュアル センサー カードで構成できます。

MKS 真空計ケーブルは、937B または 946 を熱陰極低電力ヌードに接続し、長さ 25 フィート (7.5 m) です。 MKS 部品番号: 100010910。MKS 圧力計ケーブルは、937B または 946 を熱陰極低電力ヌードに接続します。こちらはケーブルのみです。シリーズ 937B デジタル複合真空計コントローラは、最大 6 つの真空圧力センサーを同時に動作させます。この柔軟性の高い真空計コントローラは、冷陰極、熱陰極、標準ピラニ、対流ピラニ、Baratron® 静電容量圧力計、および超高真空から大気圧以上までの測定範囲の絶対圧電センサーを含む幅広いセンサー技術をサポートしています。バックライト付き LCD ディスプレイ、直感的なメニュー、シンプルな押しボタンのフロント パネルにより、937B のセットアップが簡単になります。 937B では、各センサー カード スロットで任意のセンサー カードを使用できます。 937B は、最大 3 つの熱陰極または冷陰極タイプのゲージ、または最大 6 つのゲージ接続用の 3 つのデュアル センサー カードで構成できます。

MKSハーフラックマウントキット（937Bおよび946シリーズ真空計コントローラ用）。MKS部品番号：RM-13。MKSハーフラックマウントキットは、937Bおよび946シリーズ真空計コントローラと互換性があります。これはハードウェアのみです。MKS 946は、汎用性の高いハーフラック真空計測定および制御システムで、最大6台の異なる真空計および/またはマスフローコントローラに電力を供給し、同時に表示を行います。圧力制御オプションも備えています。電源/表示器は、あらゆる流量トランスデューサを制御および表示できるように設計されています。流量設定値は、前面パネルのコントロールまたは背面パネルのアナログインターフェースを介してリモートで調整できます。946真空システムコントローラは、6チャンネル/順次選択可能な単一の表示器です。マスフローコントローラおよびマスフロー表示器と互換性があります。MKS 946用の信号ケーブルは、このWebサイトで入手できます。