MKS 946 하프랙 진공 게이지 컨트롤러 전원 공급 장치 및 판독 장치 (카드 미포함), RS232 및 RS485, 6채널. MKS 부품 번호: 946-US-NANANA-NA. MKS 946은 다용도 하프랙 진공 게이지 측정 및 제어 시스템으로, 최대 6개의 진공 게이지 및/또는 질량 유량 컨트롤러에 전원을 공급하고 동시에 판독값을 제공하며, 압력 제어 옵션도 제공합니다. 본 제품은 카드가 포함되지 않은 본체입니다. 전원 공급 장치/판독 장치는 모든 유량 변환기를 제어하고 표시하도록 설계되었습니다. 유량 설정값은 전면 패널 컨트롤 또는 후면 패널 아날로그 인터페이스를 통해 원격으로 조정할 수 있습니다. 946 진공 시스템 컨트롤러는 6채널/순차 선택 가능한 단일 판독 장치입니다. 질량 유량 컨트롤러 및 질량 유량 판독 장치와 호환됩니다. MKS 946용 신호 케이블 및 옵션 카드는 본 웹사이트에서 구매 가능합니다.

MKS 937B 질량 유량 제어 카드는 946 시리즈 컨트롤러 및 듀얼 질량 유량 컨트롤러에 사용됩니다. MKS 부품 번호: 20000712. 이 카드는 946 및 듀얼 질량 유량 컨트롤러와 호환됩니다. 모든 유량 센서를 제어하고 표시하도록 설계된 컨트롤러에 사용됩니다. 유량 설정값은 전면 패널 컨트롤 또는 후면 패널 아날로그 인터페이스를 통해 원격으로 조정할 수 있습니다. 946 진공 시스템 컨트롤러는 최대 6개의 센서 및 게이지를 동시에 판독 및 제어할 수 있습니다.

MKS GM50A 질량 유량 제어기(MFC)는 아날로그 제어 방식이며, 유량 범위는 0.4~20 sccm입니다. 15핀 D-subminiature 커넥터와 4개의 VCR® 수형 커넥터를 갖추고 있습니다. MKS 부품 번호는 GM50A013201RMM020입니다. 이 MKS GM50A 질량 유량 제어기는 N2 또는 이와 동등한 가스에 맞춰 교정되었으며, 제어 범위는 0.4~20 sccm입니다. 15핀 D-subminiature 아날로그 커넥터는 접지와 연결되어 있으며, 0~5VDC의 유량 입력 및 출력 신호를 제공합니다. 가스 유입구와 배출구 피팅은 Swagelok® 4개의 VCR® 수형입니다. 밸브 씰은 일반적으로 닫혀 있으며 테플론™ 재질입니다. 일반적인 응답 시간은 약 500밀리초입니다. Swagelok® 및 VCR®은 Swagelok Company의 등록 상표입니다. Vac Goop™은 Swagelok Company의 상표입니다. Ideal Vacuum Products는 Swagelok Company의 공식 판매 대리점이 아닙니다. 테플론™ 케무어스 컴퍼니 FC, LLC.

MKS GM50A 질량 유량 제어기(MFC)는 아날로그 제어 방식이며, 1~50 sccm의 유량 범위를 지원합니다. 15핀 D-subminiature 커넥터와 4개의 VCR® 수형 커넥터를 갖추고 있습니다. MKS 부품 번호는 GM50A013501RMM020입니다. 이 MKS GM50A 질량 유량 제어기는 N2 또는 이와 동등한 가스에 맞춰 보정되었으며, 제어 범위는 1~50 sccm입니다. 15핀 D-subminiature 아날로그 커넥터는 접지와 연결되어 있으며, 0~5VDC의 유량 입력 및 출력 신호를 제공합니다. 가스 유입구와 배출구는 Swagelok® 4개의 VCR® 수형 커넥터입니다. 밸브 씰은 일반적으로 닫혀 있으며 테플론™ 재질입니다. 일반적인 응답 시간은 약 500밀리초입니다. Swagelok® 및 VCR®은 Swagelok Company의 등록 상표입니다. Vac Goop™은 Swagelok Company의 상표입니다. Ideal Vacuum Products는 Swagelok Company의 공식 판매 대리점이 아닙니다. 테플론™ 케무어스 컴퍼니 FC, LLC.

MKS GM50A 질량 유량 제어기(MFC), 아날로그 제어 방식, 유량 범위 2~100 sccm, 15핀 D-subminiature 커넥터, 4 VCR® 수형. 부품 번호: GM50A013102RMM020. MKS 부품 번호: GM50A013102RMM020. 이 MKS GM50A 질량 유량 제어기는 N2 또는 이와 동등한 가스에 맞춰 보정되었으며, 제어 범위는 2~100 sccm입니다. 15핀 D-subminiature 아날로그 커넥터를 갖추고 있으며, 접지 연결과 0~5VDC 유량 입력 및 출력 신호를 제공합니다. 가스 유입구 및 배출구 피팅은 Swagelok® 4 VCR® 수형입니다. 밸브 씰은 일반적으로 닫혀 있으며 테플론™ 재질입니다. 일반적인 응답 시간은 약 500밀리초입니다. Swagelok® 및 VCR®은 Swagelok Company의 등록 상표입니다. Vac Goop™은 Swagelok Company의 상표입니다. Ideal Vacuum Products는 Swagelok Company의 공식 유통업체가 아닙니다. Teflon-TM The Chemours Company FC, LLC.

MKS GM50A 질량 유량 제어기(MFC)는 아날로그 제어 방식이며, 4~200 sccm의 유량 제어 범위를 제공합니다. 15핀 D-subminiature 커넥터와 4개의 VCR® 수형 단자를 갖추고 있습니다. MKS 부품 번호는 GM50A013202RMM020입니다. 이 MKS GM50A 질량 유량 제어기는 N2 또는 이와 동등한 가스에 맞춰 교정되었으며, 제어 범위는 4~200 sccm입니다. 15핀 D-subminiature 아날로그 커넥터는 접지와 0~5VDC의 유량 입력 및 출력 신호를 제공합니다. 가스 유입구와 배출구는 Swagelok® 4개의 VCR® 수형 단자입니다. 밸브 씰은 일반적으로 닫혀 있으며 테플론™ 재질입니다. 일반적인 응답 시간은 약 500밀리초입니다. Swagelok® 및 VCR®은 Swagelok Company의 등록 상표입니다. Vac Goop™은 Swagelok Company의 상표입니다. Ideal Vacuum Products는 Swagelok Company의 공식 판매 대리점이 아닙니다. 테플론™ 케무어스 컴퍼니 FC, LLC.

MKS GM50A 질량 유량 제어기(MFC)는 아날로그 제어 방식이며, 10~500 sccm의 유량 제어 범위를 제공합니다. 15핀 D-subminiature 커넥터와 4개의 VCR® 수형 단자를 갖추고 있습니다. MKS 부품 번호는 GM50A013502RMM020입니다. 이 MKS GM50A 질량 유량 제어기는 N2 또는 이와 동등한 가스에 맞춰 교정되었으며, 10~500 sccm의 유량 제어 범위를 제공합니다. 15핀 D-subminiature 아날로그 커넥터는 접지와 연결되어 있으며, 0~5VDC의 유량 입력 및 출력 신호를 제공합니다. 가스 유입구와 배출구는 Swagelok® 4개의 VCR® 수형 단자입니다. 밸브 씰은 일반적으로 닫혀 있으며 테플론™ 재질입니다. 일반적인 응답 시간은 약 500밀리초입니다. Swagelok® 및 VCR®은 Swagelok Company의 등록 상표입니다. Vac Goop™은 Swagelok Company의 상표입니다. Ideal Vacuum Products는 Swagelok Company의 공식 판매 대리점이 아닙니다. 테플론™ 케무어스 컴퍼니 FC, LLC.

MKS GM50A 질량 유량 제어기(MFC)는 아날로그 제어 방식이며, 20~1000 sccm의 유량 제어 범위를 제공합니다. 15핀 D-subminiature 커넥터와 4개의 VCR® 수형 단자를 갖추고 있습니다. MKS 부품 번호는 GM50A013103RMM020입니다. 이 MKS GM50A 질량 유량 제어기는 N2 또는 이와 동등한 가스에 맞춰 교정되었으며, 20~1000 sccm의 유량 제어 범위를 제공합니다. 15핀 D-subminiature 아날로그 커넥터는 접지와 연결되어 있으며, 0~5VDC의 유량 입력 및 출력 신호를 제공합니다. 가스 유입구와 배출구는 Swagelok® 4개의 VCR® 수형 단자입니다. 밸브 씰은 일반적으로 닫혀 있으며 테플론™ 재질입니다. 일반적인 응답 시간은 약 500밀리초입니다. Swagelok® 및 VCR®은 Swagelok Company의 등록 상표입니다. Vac Goop™은 Swagelok Company의 상표입니다. Ideal Vacuum Products는 Swagelok Company의 공식 판매 대리점이 아닙니다. 테플론™ 케무어스 컴퍼니 FC, LLC.

MKS 진공 게이지 케이블은 946 컨트롤러를 179, 1179, 1462, 1479, 1559, 2179, GE50A, GM50A, IE50A, IM50A, IM250A, P250A, 10피트(3m) 길이에 연결합니다. MKS 부품 번호: 100016744. MKS 질량 흐름 컨트롤러 케이블은 179, 1179, 1462, 1479, 1559, 2179, GE50A, GM50A, IE50A, IM50A, IM250A, P250A 질량 흐름 컨트롤러를 15핀 유형 D High-946 컨트롤러에 연결합니다. 밀도 초소형에서 15핀 표준 초소형 커넥터까지. 이것은 케이블 전용입니다. MKS 946은 다목적 하프랙 진공 게이지 측정 및 제어 시스템으로, 압력 제어 옵션과 함께 최대 6개의 서로 다른 진공 게이지 및/또는 질량 유량 컨트롤러에 대한 전원 및 동시 판독값을 제공합니다. 전원 공급 장치/판독값은 모든 유량 변환기를 제어하고 표시하도록 설계되었습니다. 유량 설정점은 전면 패널 제어를 통해 또는 후면 패널 아날로그 인터페이스를 통해 원격으로 조정할 수 있습니다. 946 진공 시스템 컨트롤러는 6개 채널/순차 선택이 가능한 단일 판독값입니다. 질량 유량 컨트롤러 및 질량 유량 판독값과 호환됩니다. MKS 946용 신호 케이블은 이 웹사이트에서 구입할 수 있습니다.

MKS 진공 게이지 케이블은 946 컨트롤러를 179, 1179, 1462, 1479, 1559, 2179, GE50A, GM50A, IE50A, IM50A, IM250A, P250A, 25피트(7.5m) 길이에 연결합니다. MKS 부품 번호: 100016745. MKS 질량 유량 컨트롤러 케이블은 179, 1179, 1462, 1479, 1559, 2179, GE50A, GM50A, IE50A, IM50A, IM250A, P250A 질량 유량 컨트롤러를 15핀 유형 D High-946 컨트롤러에 연결합니다. 밀도 초소형에서 15핀 표준 초소형 커넥터까지. 이것은 케이블 전용입니다. MKS 946은 다목적 하프랙 진공 게이지 측정 및 제어 시스템으로, 압력 제어 옵션과 함께 최대 6개의 서로 다른 진공 게이지 및/또는 질량 유량 컨트롤러에 대한 전원 및 동시 판독값을 제공합니다. 전원 공급 장치/판독값은 모든 유량 변환기를 제어하고 표시하도록 설계되었습니다. 유량 설정점은 전면 패널 제어를 통해 또는 후면 패널 아날로그 인터페이스를 통해 원격으로 조정할 수 있습니다. 946 진공 시스템 컨트롤러는 6개 채널/순차 선택이 가능한 단일 판독값입니다. 질량 유량 컨트롤러 및 질량 유량 판독값과 호환됩니다. MKS 946용 신호 케이블은 이 웹사이트에서 구입할 수 있습니다.

MKS 진공 센서 카드(정전식 압력계 및 피에조 센서 지원), 937B 및 946 시리즈 컨트롤러용. MKS 부품 번호: 20057714-001 (구 MKS 부품 번호: 100015267) MKS 진공 센서 카드는 937B 및 946 진공 시스템 컨트롤러에서 정전식 압력계와 피에조 센서를 지원합니다. 이 카드는 모든 유량 변환기를 제어하고 표시하도록 설계된 컨트롤러에 사용됩니다. 유량 설정값은 전면 패널 컨트롤 또는 후면 패널 아날로그 인터페이스를 통해 원격으로 조정할 수 있습니다. 946 및 937B 진공 시스템 컨트롤러는 최대 6개의 센서 및 게이지를 동시에 판독 및 제어할 수 있습니다.

MKS 626D 0.1 Torr 바라트론(Baratron®) 절대 정전 용량 압력계, 진공 압력 게이지 센서, KF-16 플랜지 크기, MKS 부품 번호: 626D.1TDE. MKS 626D 비가열식 절대 바라트론® 정전 용량 압력계는 최신 아날로그 방식의 고성능 진공 및 압력 변환기입니다. ±15VDC 입력 전압이 필요하며 압력에 비례하는 0-10VDC 고레벨 아날로그 출력 신호를 제공합니다. 이 아날로그 출력은 MKS PDR2000 압력 컨트롤러, MKS 전원 공급 장치/디스플레이 기기 또는 이러한 요구 사항을 충족하는 모든 기기와 연결할 수 있습니다. 압력/진공 변화는 센서 다이어프램과 인접한 전극 디스크 사이의 정전 용량 변화를 측정하여 결정됩니다. 이 정전 용량 변화는 특허받은 신호 조정 전자 회로를 통해 사용 가능한 출력으로 변환됩니다. 센서에 사용된 방사형 인장 인코넬® 다이어프램은 매우 빠른 응답 속도(대부분의 경우 20ms 미만), 낮은 히스테리시스, 탁월한 반복성, 매우 높은 분해능(전체 스케일의 0.001%까지), 뛰어난 내식성, 그리고 작업자 안전을 위한 이중벽 용접 구조를 제공합니다. 센서 자체는 45psia(3.1bar)의 압력에 반복적으로 노출되어도 영구적인 성능 저하나 변형 없이 견딜 수 있어 사실상 모든 공정 시스템에서 작동 가능합니다. MKS 626D 바라트론 정전 용량 압력계는 상온에서 작동하며, 0.1~1000Torr의 전체 스케일 압력/진공 범위에서 사용 가능하고 다양한 산업, 전자 및 연구 분야에 적합합니다. 본 제품은 15핀 D-subminiature 신호 커넥터, 0.1 Torr의 최대 진공 압력 측정값, KF-16 진공 플랜지 연결부를 갖춘 MKS Type 626D 정전 용량식 압력계이며, MKS 부품 번호는 626D.1TDE입니다. 호환 컨트롤러 및 케이블: P102063 - MKS PDR 2000 전원 공급 및 디지털 판독 케이블용 Ideal Vacuum 케이블(15핀 Y 케이블, CB2000S-1-M1과 동일) P102062 - MKS PDR 2000 디지털 전원 공급 및 디지털 판독 정전 용량 압력계 컨트롤러 P1010127 - Ideal Vacuum 이중 정전 용량 압력계 컨트롤러(DCM), 전원 공급 및 디지털 압력 판독 제품 특징: 15핀 D-sub 커넥터가 있는 0~10VDC 비례 아날로그 출력 가스 종류 또는 조성에 관계없이 챔버 전체 압력 직접 측정 최첨단 공정 반복성을 위한 장기적인 출력 안정성 기본 센서는 Inconel® 및 Incoloy® 니켈 합금 구조로 거의 모든 화학 환경에서 손상 없이 작동 높은 과압 한계로 시스템 오류 발생 시 신뢰성 보장 최상의 정확도와 향상된 공정 수율을 위해 판독값의 백분율로 표시

MKS 626D 0.1 Torr Baratron® 절대 정전 용량 압력계 압력 게이지 센서, UHV 진공 피팅 Conflat CF 1.33인치 플랜지 MKS 부품 번호: 626D.1TCE MKS 626D 비가열식 절대 Baratron® 정전 용량 압력계는 최신 아날로그 방식의 고성능 진공 및 압력 변환기입니다. ±15VDC 입력 전압이 필요하며 압력에 비례하는 0-10VDC 고레벨 아날로그 출력 신호를 제공합니다. 이 아날로그 출력은 MKS PDR2000 압력 컨트롤러, MKS 전원 공급 장치/디스플레이 기기 또는 이러한 요구 사항을 충족하는 모든 기기와 연결할 수 있습니다. 압력/진공 변화는 센서 다이어프램과 인접한 전극 디스크 사이의 정전 용량 변화를 측정하여 결정됩니다. 이 정전 용량 변화는 특허받은 신호 조정 전자 회로를 통해 사용 가능한 출력으로 변환됩니다. 센서에 사용된 방사형 인장 인코넬® 다이어프램은 매우 빠른 응답 속도(대부분의 경우 20ms 미만), 낮은 히스테리시스, 탁월한 반복성, 매우 높은 분해능(전체 스케일의 0.001%까지), 뛰어난 내식성, 그리고 작업자 안전을 위한 이중벽 용접 구조를 제공합니다. 센서 자체는 45psia(3.1bar)의 압력에 반복적으로 노출되어도 영구적인 성능 저하나 변형 없이 견딜 수 있어 사실상 모든 공정 시스템에서 작동 가능합니다. MKS 626D 바라트론 정전 용량 압력계는 상온에서 작동하며, 0.1~1000Torr의 전체 스케일 압력/진공 범위에서 사용 가능하고 다양한 산업, 전자 및 연구 분야에 적합합니다. 본 제품은 15핀 D-subminiature 신호 커넥터, 0.1 Torr의 최대 진공 압력 측정값, Conflat CF 1.33인치 초고진공(UHV) 플랜지 연결부를 갖춘 MKS Type 626D 정전 용량식 압력계이며, MKS 부품 번호는 626D.1TCE입니다. 호환 컨트롤러 및 케이블: P102063 - MKS PDR 2000 전원 공급 및 디지털 판독 케이블용 Ideal Vacuum 케이블(15핀 Y 케이블, CB2000S-1-M1과 동일) P102062 - MKS PDR 2000 디지털 전원 공급 및 디지털 판독 정전 용량 압력계 컨트롤러 P1010127 - Ideal Vacuum 이중 정전 용량 압력계 컨트롤러(DCM), 전원 공급 및 디지털 압력 판독 제품 특징: 15핀 D-sub 커넥터가 있는 0~10VDC 비례 아날로그 출력 가스 종류 또는 조성에 관계없이 챔버 전체 압력 직접 측정 최첨단 공정 반복성을 위한 장기적인 출력 안정성 기본 센서는 Inconel® 및 Incoloy® 니켈 합금 구조로 거의 모든 화학 환경에서 손상 없이 작동 높은 과압 한계로 시스템 오류 발생 시 신뢰성 보장 최상의 정확도와 향상된 공정 수율을 위해 판독값의 백분율로 표시

MKS 626D 1 Torr 바라트론(Baratron®) 절대 정전 용량 압력계 압력 게이지 센서, KF-16 플랜지 크기, MKS 부품 번호: 626D01TDE. MKS 626D 비가열식 절대 바라트론® 정전 용량 압력계는 최신 아날로그 방식의 고성능 진공 및 압력 변환기입니다. ±15VDC 입력 전압이 필요하며 압력에 비례하는 0-10VDC 고레벨 아날로그 출력 신호를 제공합니다. 이 아날로그 출력은 MKS PDR2000 압력 컨트롤러, MKS 전원 공급 장치/디스플레이 기기 또는 이러한 요구 사항을 충족하는 모든 기기와 연결할 수 있습니다. 압력/진공 변화는 센서의 다이어프램과 인접한 전극 디스크 사이의 정전 용량 변화를 측정하여 결정됩니다. 이 정전 용량 변화는 특허받은 신호 조정 전자 회로를 통해 사용 가능한 출력으로 변환됩니다. 센서에 사용된 방사형 인장 인코넬® 다이어프램은 매우 빠른 응답 속도(대부분의 경우 20ms 미만), 낮은 히스테리시스, 탁월한 반복성, 매우 높은 분해능(전체 스케일의 0.001%까지), 뛰어난 내식성, 그리고 작업자 안전을 위한 이중벽 용접 구조를 제공합니다. 센서 자체는 45psia(3.1bar)의 압력에 반복적으로 노출되어도 영구적인 성능 저하나 변형 없이 견딜 수 있어 사실상 모든 공정 시스템에서 작동 가능합니다. MKS 626D 바라트론 정전 용량 압력계는 상온에서 작동하며, 0.1~1000Torr의 전체 스케일 압력/진공 범위에서 사용 가능하고 다양한 산업, 전자 및 연구 분야에 적합합니다. 본 제품은 15핀 D-subminiature 신호 커넥터, 1 Torr의 최대 진공 압력 측정값, KF-16 진공 플랜지 연결부를 갖춘 MKS Type 626D 정전 용량식 압력계이며, MKS 부품 번호는 626D01TDE입니다. 호환 컨트롤러 및 케이블: P102063 - MKS PDR 2000 전원 공급 및 디지털 판독 케이블용 Ideal Vacuum 케이블(15핀 Y 케이블, CB2000S-1-M1과 동일) P102062 - MKS PDR 2000 디지털 전원 공급 및 디지털 판독 정전 용량 압력계 컨트롤러 P1010127 - Ideal Vacuum 이중 정전 용량 압력계 컨트롤러(DCM), 전원 공급 및 디지털 압력 판독 제품 특징: 15핀 D-sub 커넥터가 있는 0~10VDC 비례 아날로그 출력 가스 종류 또는 조성에 관계없이 챔버 전체 압력 직접 측정 최첨단 공정 반복성을 위한 장기적인 출력 안정성 기본 센서는 Inconel® 및 Incoloy® 니켈 합금 구조로 거의 모든 화학 환경에서 손상 없이 작동 높은 과압 한계로 시스템 오류 발생 시 신뢰성 보장 최상의 정확도와 향상된 공정 수율을 위해 판독값의 백분율로 표시

MKS 626D 10 Torr 바라트론(Baratron®) 절대 정전 용량 압력계 압력 게이지 센서, KF-16 플랜지 크기, MKS 부품 번호: 626D11TDE. MKS 626D 비가열식 절대 바라트론® 정전 용량 압력계는 최신 아날로그 방식의 고성능 진공 및 압력 변환기입니다. ±15VDC 입력 전압이 필요하며 압력에 비례하는 0-10VDC 고레벨 아날로그 출력 신호를 제공합니다. 이 아날로그 출력은 MKS PDR2000 압력 컨트롤러, MKS 전원 공급 장치/디스플레이 기기 또는 이러한 요구 사항을 충족하는 모든 기기와 연결할 수 있습니다. 압력/진공 변화는 센서의 다이어프램과 인접한 전극 디스크 사이의 정전 용량 변화를 측정하여 결정됩니다. 이 정전 용량 변화는 특허받은 신호 조정 전자 회로를 통해 사용 가능한 출력으로 변환됩니다. 센서에 사용된 방사형 인장 인코넬® 다이어프램은 매우 빠른 응답 속도(대부분의 경우 20ms 미만), 낮은 히스테리시스, 탁월한 반복성, 매우 높은 분해능(전체 스케일의 0.001%까지), 뛰어난 내식성, 그리고 작업자 안전을 위한 이중벽 용접 구조를 제공합니다. 센서 자체는 45psia(3.1bar)의 압력에 반복적으로 노출되어도 영구적인 성능 저하나 변형 없이 견딜 수 있어 사실상 모든 공정 시스템에서 작동 가능합니다. MKS 626D 바라트론 정전 용량 압력계는 상온에서 작동하며, 0.1~1000Torr의 전체 스케일 압력/진공 범위에서 사용 가능하고 다양한 산업, 전자 및 연구 분야에 적합합니다. 본 제품은 15핀 D-subminiature 신호 커넥터, 10 Torr의 최대 진공 압력 측정값, KF-16 진공 플랜지 연결부를 갖춘 MKS Type 626D 정전 용량식 압력계이며, MKS 부품 번호는 626D11TDE입니다. 호환 컨트롤러 및 케이블: P102063 - MKS PDR 2000 전원 공급 및 디지털 판독 케이블용 Ideal Vacuum 케이블(15핀 Y 케이블, CB2000S-1-M1과 동일) P102062 - MKS PDR 2000 디지털 전원 공급 및 디지털 판독 정전 용량 압력계 컨트롤러 P1010127 - Ideal Vacuum 이중 정전 용량 압력계 컨트롤러(DCM), 전원 공급 및 디지털 압력 판독 제품 특징: 15핀 D-sub 커넥터가 있는 0~10VDC 비례 아날로그 출력 가스 종류 또는 조성에 관계없이 챔버 전체 압력 직접 측정 최첨단 공정 반복성을 위한 장기적인 출력 안정성 기본 센서는 Inconel® 및 Incoloy® 니켈 합금 구조로 거의 모든 화학 환경에서 손상 없이 작동 높은 과압 한계로 시스템 오류 발생 시 신뢰성 보장 최상의 정확도와 향상된 공정 수율을 위해 판독값의 백분율로 표시

MKS 626D 10 Torr 바라트론 절대 정전 용량 압력계, 진공 압력 게이지 센서, VCR® 8 암 피팅, MKS 부품 번호: 626D11TBE MKS 626D 비가열식 절대 바라트론® 정전 용량 압력계는 최신 아날로그 방식의 고성능 진공 및 압력 변환기입니다. ±15VDC 입력 전압이 필요하며 압력에 비례하는 0-10VDC 고레벨 아날로그 출력 신호를 제공합니다. 이 아날로그 출력은 MKS PDR2000 압력 컨트롤러, MKS 전원 공급 장치/디스플레이 기기 또는 이러한 요구 사항을 충족하는 모든 기기와 연결할 수 있습니다. 압력/진공 변화는 센서의 다이어프램과 인접한 전극 디스크 사이의 정전 용량 변화를 측정하여 결정됩니다. 이 정전 용량 변화는 특허받은 신호 조정 전자 회로를 통해 사용 가능한 출력으로 변환됩니다. 센서에 사용된 방사형 인장 인코넬® 다이어프램은 매우 빠른 응답 속도(대부분의 경우 20ms 미만), 낮은 히스테리시스, 탁월한 반복성, 매우 높은 분해능(전체 스케일의 0.001%까지), 뛰어난 내식성, 그리고 작업자 안전을 위한 이중벽 용접 구조를 제공합니다. 센서 자체는 45psia(3.1bar)의 압력에 반복적으로 노출되어도 영구적인 성능 저하나 변형 없이 견딜 수 있어 사실상 모든 공정 시스템에서 작동 가능합니다. MKS 626D 바라트론 정전 용량 압력계는 상온에서 작동하며, 0.1~1000Torr의 전체 스케일 압력/진공 범위에서 사용 가능하고 다양한 산업, 전자 및 연구 분야에 적합합니다. 본 제품은 15핀 D-subminiature 신호 커넥터, 10 Torr의 최대 진공 압력 측정값, VCR® 8 암형 진공 플랜지 연결부를 갖춘 MKS Type 626D 정전 용량식 압력계이며, MKS 부품 번호는 626D11TBE입니다. 호환 컨트롤러 및 케이블: P102063 - MKS PDR 2000 전원 공급 및 디지털 판독 케이블용 Ideal Vacuum 케이블(15핀 Y 케이블, CB2000S-1-M1과 동일) P102062 - MKS PDR 2000 디지털 전원 공급 및 디지털 판독 정전 용량 압력계 컨트롤러 P1010127 - Ideal Vacuum 이중 정전 용량 압력계 컨트롤러(DCM), 전원 공급 및 디지털 압력 판독 제품 특징: 15핀 D-sub 커넥터가 있는 0~10VDC 비례 아날로그 출력 가스 종류 또는 조성에 관계없이 챔버 전체 압력 직접 측정 최첨단 공정 반복성을 위한 장기적인 출력 안정성 기본 센서는 Inconel® 및 Incoloy® 니켈 합금 구조로 거의 모든 화학 환경에서 손상 없이 작동 높은 과압 한계로 시스템 오류 발생 시 신뢰성 보장 최상의 정확도와 향상된 공정 수율을 위해 판독값의 백분율로 표시

MKS 626D 20 Torr 바라트론 절대 정전 용량 압력계, 진공 압력 게이지 센서, VCR® 8 암 피팅, MKS 부품 번호: 626D21TBE MKS 626D 비가열식 절대 바라트론® 정전 용량 압력계는 최신 아날로그 방식의 고성능 진공 및 압력 변환기입니다. ±15VDC 입력 전압이 필요하며 압력에 비례하는 0-10VDC 고레벨 아날로그 출력 신호를 제공합니다. 이 아날로그 출력은 MKS PDR2000 압력 컨트롤러, MKS 전원 공급 장치/디스플레이 기기 또는 이러한 요구 사항을 충족하는 모든 기기와 연결할 수 있습니다. 압력/진공 변화는 센서의 다이어프램과 인접한 전극 디스크 사이의 정전 용량 변화를 측정하여 결정됩니다. 이 정전 용량 변화는 특허받은 신호 조정 전자 회로를 통해 사용 가능한 출력으로 변환됩니다. 센서에 사용된 방사형 인장 인코넬® 다이어프램은 매우 빠른 응답 속도(대부분의 경우 20ms 미만), 낮은 히스테리시스, 탁월한 반복성, 매우 높은 분해능(전체 스케일의 0.001%까지), 뛰어난 내식성, 그리고 작업자 안전을 위한 이중벽 용접 구조를 제공합니다. 센서 자체는 45psia(3.1bar)의 압력에 반복적으로 노출되어도 영구적인 성능 저하나 변형 없이 견딜 수 있어 사실상 모든 공정 시스템에서 작동 가능합니다. MKS 626D 바라트론 정전 용량 압력계는 상온에서 작동하며, 0.1~1000Torr의 전체 스케일 압력/진공 범위에서 사용 가능하고 다양한 산업, 전자 및 연구 분야에 적합합니다. 본 제품은 15핀 D-subminiature 신호 커넥터, 20 Torr의 최대 진공 압력 측정값, VCR® 8 암형 진공 플랜지 연결부를 갖춘 MKS Type 626D 정전 용량식 압력계이며, MKS 부품 번호는 626D21TBE입니다. 호환 컨트롤러 및 케이블: P102063 - MKS PDR 2000 전원 공급 및 디지털 판독 케이블용 Ideal Vacuum 케이블(15핀 Y 케이블, CB2000S-1-M1과 동일) P102062 - MKS PDR 2000 디지털 전원 공급 및 디지털 판독 정전 용량 압력계 컨트롤러 P1010127 - Ideal Vacuum 이중 정전 용량 압력계 컨트롤러(DCM), 전원 공급 및 디지털 압력 판독 제품 특징: 15핀 D-sub 커넥터가 있는 0~10VDC 비례 아날로그 출력 가스 종류 또는 조성에 관계없이 챔버 전체 압력 직접 측정 최첨단 공정 반복성을 위한 장기적인 출력 안정성 기본 센서는 Inconel® 및 Incoloy® 니켈 합금 구조로 거의 모든 화학 환경에서 손상 없이 작동 높은 과압 한계로 시스템 오류 발생 시 신뢰성 보장 최상의 정확도와 향상된 공정 수율을 위해 판독값의 백분율로 표시

MKS 626D 100 Torr 바라트론(Baratron®) 절대 정전 용량 압력계, 진공 압력 게이지 센서, 진공 피팅 KF-16. MKS 부품 번호: 626D12TDE. MKS 626D 비가열식 절대 바라트론® 정전 용량 압력계는 최신 아날로그 방식의 고성능 진공 및 압력 변환기입니다. ±15VDC 입력 전압이 필요하며 압력에 비례하는 0-10VDC 고레벨 아날로그 출력 신호를 제공합니다. 이 아날로그 출력은 MKS PDR2000 압력 컨트롤러, MKS 전원 공급 장치/디스플레이 기기 또는 이러한 요구 사항을 충족하는 모든 기기와 연결할 수 있습니다. 압력/진공 변화는 센서의 다이어프램과 인접한 전극 디스크 사이의 정전 용량 변화를 측정하여 결정됩니다. 이 정전 용량 변화는 특허받은 신호 조정 전자 회로를 통해 사용 가능한 출력으로 변환됩니다. 센서에 사용된 방사형 인장 인코넬® 다이어프램은 매우 빠른 응답 속도(대부분의 경우 20ms 미만), 낮은 히스테리시스, 탁월한 반복성, 매우 높은 분해능(전체 스케일의 0.001%까지), 뛰어난 내식성, 그리고 작업자 안전을 위한 이중벽 용접 구조를 제공합니다. 센서 자체는 45psia(3.1bar)의 압력에 반복적으로 노출되어도 영구적인 성능 저하나 변형 없이 견딜 수 있어 사실상 모든 공정 시스템에서 작동 가능합니다. MKS 626D 바라트론 정전 용량 압력계는 상온에서 작동하며, 0.1~1000Torr의 전체 스케일 압력/진공 범위에서 사용 가능하고 다양한 산업, 전자 및 연구 분야에 적합합니다. 본 제품은 15핀 D-subminiature 신호 커넥터, 100 Torr의 최대 진공 압력 측정값, KF-16 진공 플랜지 연결부를 갖춘 MKS Type 626D 정전 용량식 압력계이며, MKS 부품 번호는 626D12TDE입니다. 호환 컨트롤러 및 케이블: P102063 - MKS PDR 2000 전원 공급 및 디지털 판독 케이블용 Ideal Vacuum 케이블(15핀 Y 케이블, CB2000S-1-M1과 동일) P102062 - MKS PDR 2000 디지털 전원 공급 및 디지털 판독 정전 용량 압력계 컨트롤러 P1010127 - Ideal Vacuum 이중 정전 용량 압력계 컨트롤러(DCM), 전원 공급 및 디지털 압력 판독 제품 특징: 15핀 D-sub 커넥터가 있는 0~10VDC 비례 아날로그 출력 가스 종류 또는 조성에 관계없이 챔버 전체 압력 직접 측정 최첨단 공정 반복성을 위한 장기적인 출력 안정성 기본 센서는 Inconel® 및 Incoloy® 니켈 합금 구조로 거의 모든 화학 환경에서 손상 없이 작동 높은 과압 한계로 시스템 오류 발생 시 신뢰성 보장 최상의 정확도와 향상된 공정 수율을 위해 판독값의 백분율로 표시

MKS 626D 100 Torr 바라트론(Baratron) 절대 정전 용량 압력계, 진공 압력 게이지 센서, 진공 피팅 VCR® 8 암형, 부품 번호 626D12TBE. MKS 626D 비가열식 절대 바라트론® 정전 용량 압력계는 최신 아날로그 방식의 고성능 진공 및 압력 변환기입니다. ±15VDC 입력 전압이 필요하며 압력에 비례하는 0-10VDC 고레벨 아날로그 출력 신호를 제공합니다. 이 아날로그 출력은 MKS PDR2000 압력 컨트롤러, MKS 전원 공급 장치/디스플레이 기기 또는 이러한 요구 사항을 충족하는 모든 기기와 연결할 수 있습니다. 압력/진공 변화는 센서 다이어프램과 인접한 전극 디스크 사이의 정전 용량 변화를 측정하여 결정됩니다. 이 정전 용량 변화는 특허받은 신호 조정 전자 회로를 통해 사용 가능한 출력으로 변환됩니다. 센서에 사용된 방사형 인장 인코넬® 다이어프램은 매우 빠른 응답 속도(대부분의 경우 20ms 미만), 낮은 히스테리시스, 탁월한 반복성, 매우 높은 분해능(전체 스케일의 0.001%까지), 뛰어난 내식성, 그리고 작업자 안전을 위한 이중벽 용접 구조를 제공합니다. 센서 자체는 45psia(3.1bar)의 압력에 반복적으로 노출되어도 영구적인 성능 저하나 변형 없이 견딜 수 있어 사실상 모든 공정 시스템에서 작동 가능합니다. MKS 626D 바라트론 정전 용량 압력계는 상온에서 작동하며, 0.1~1000Torr의 전체 스케일 압력/진공 범위에서 사용 가능하고 다양한 산업, 전자 및 연구 분야에 적합합니다. 본 제품은 15핀 D-subminiature 신호 커넥터, 100 Torr의 최대 진공 압력 측정값, VCR® 8 암형 진공 플랜지 연결부를 갖춘 MKS Type 626D 정전 용량식 압력계이며, MKS 부품 번호는 626D12TBE입니다. 호환 컨트롤러 및 케이블: P102063 - MKS PDR 2000 전원 공급 및 디지털 판독 케이블용 Ideal Vacuum 케이블(15핀 Y 케이블, CB2000S-1-M1과 동일) P102062 - MKS PDR 2000 디지털 전원 공급 및 디지털 판독 정전 용량 압력계 컨트롤러 P1010127 - Ideal Vacuum 이중 정전 용량 압력계 컨트롤러(DCM), 전원 공급 및 디지털 압력 판독 제품 특징: 15핀 D-sub 커넥터가 있는 0~10VDC 비례 아날로그 출력 가스 종류 또는 조성에 관계없이 챔버 전체 압력 직접 측정 최첨단 공정 반복성을 위한 장기적인 출력 안정성 기본 센서는 Inconel® 및 Incoloy® 니켈 합금 구조로 거의 모든 화학 환경에서 손상 없이 작동 높은 과압 한계로 시스템 오류 발생 시 신뢰성 보장 최상의 정확도와 향상된 공정 수율을 위해 판독값의 백분율로 표시

MKS 626D 1000 Torr 바라트론(Baratron®) 절대 정전 용량 압력계 압력 게이지 센서, KF-16 플랜지 크기, MKS 부품 번호: 626D13TDE. MKS 626D 비가열식 절대 바라트론® 정전 용량 압력계는 최신 아날로그 방식의 고성능 진공 및 압력 변환기입니다. ±15VDC 입력 전압이 필요하며 압력에 비례하는 0-10VDC 고레벨 아날로그 출력 신호를 제공합니다. 이 아날로그 출력은 MKS PDR2000 압력 컨트롤러, MKS 전원 공급 장치/디스플레이 기기 또는 이러한 요구 사항을 충족하는 모든 기기와 연결할 수 있습니다. 압력/진공 변화는 센서의 다이어프램과 인접한 전극 디스크 사이의 정전 용량 변화를 측정하여 결정됩니다. 이 정전 용량 변화는 특허받은 신호 조정 전자 회로를 통해 사용 가능한 출력으로 변환됩니다. 센서에 사용된 방사형 인장 인코넬® 다이어프램은 매우 빠른 응답 속도(대부분의 경우 20ms 미만), 낮은 히스테리시스, 탁월한 반복성, 매우 높은 분해능(전체 스케일의 0.001%까지), 뛰어난 내식성, 그리고 작업자 안전을 위한 이중벽 용접 구조를 제공합니다. 센서 자체는 45psia(3.1bar)의 압력에 반복적으로 노출되어도 영구적인 성능 저하나 변형 없이 견딜 수 있어 사실상 모든 공정 시스템에서 작동 가능합니다. MKS 626D 바라트론 정전 용량 압력계는 상온에서 작동하며, 0.1~1000Torr의 전체 스케일 압력/진공 범위에서 사용 가능하고 다양한 산업, 전자 및 연구 분야에 적합합니다. 본 제품은 15핀 D-subminiature 신호 커넥터, 1000 Torr의 최대 진공 압력 측정값, KF-16 진공 플랜지 연결부를 갖춘 MKS Type 626D 정전 용량식 압력계이며, MKS 부품 번호는 626D13TDE입니다. 호환 컨트롤러 및 케이블: P102063 - MKS PDR 2000 전원 공급 및 디지털 판독 케이블용 Ideal Vacuum 케이블(15핀 Y 케이블, CB2000S-1-M1과 동일) P102062 - MKS PDR 2000 디지털 전원 공급 및 디지털 판독 정전 용량 압력계 컨트롤러 P1010127 - Ideal Vacuum 이중 정전 용량 압력계 컨트롤러(DCM), 전원 공급 및 디지털 압력 판독 제품 특징: 15핀 D-sub 커넥터가 있는 0~10VDC 비례 아날로그 출력 가스 종류 또는 조성에 관계없이 챔버 전체 압력 직접 측정 최첨단 공정 반복성을 위한 장기적인 출력 안정성 기본 센서는 Inconel® 및 Incoloy® 니켈 합금 구조로 거의 모든 화학 환경에서 손상 없이 작동 높은 과압 한계로 시스템 오류 발생 시 신뢰성 보장 최상의 정확도와 향상된 공정 수율을 위해 판독값의 백분율로 표시

MKS 626D 1000 Torr 바라트론(Baratron) 절대 정전 용량 압력계, 진공 압력 게이지 센서, 진공 피팅 VCR® 8 암형, 부품 번호 626D13TBE. MKS 626D 비가열식 절대 바라트론® 정전 용량 압력계는 최신 아날로그 방식의 고성능 진공 및 압력 변환기입니다. ±15VDC 입력 전압이 필요하며 압력에 비례하는 0-10VDC 고레벨 아날로그 출력 신호를 제공합니다. 이 아날로그 출력은 MKS PDR2000 압력 컨트롤러, MKS 전원 공급 장치/디스플레이 기기 또는 이러한 요구 사항을 충족하는 모든 기기와 연결할 수 있습니다. 압력/진공 변화는 센서의 다이어프램과 인접한 전극 디스크 사이의 정전 용량 변화를 측정하여 결정됩니다. 이 정전 용량 변화는 특허받은 신호 조정 전자 회로를 통해 사용 가능한 출력으로 변환됩니다. 센서에 사용된 방사형 인장 인코넬® 다이어프램은 매우 빠른 응답 속도(대부분의 경우 20ms 미만), 낮은 히스테리시스, 탁월한 반복성, 매우 높은 분해능(전체 스케일의 0.001%까지), 뛰어난 내식성, 그리고 작업자 안전을 위한 이중벽 용접 구조를 제공합니다. 센서 자체는 45psia(3.1bar)의 압력에 반복적으로 노출되어도 영구적인 성능 저하나 변형 없이 견딜 수 있어 사실상 모든 공정 시스템에서 작동 가능합니다. MKS 626D 바라트론 정전 용량 압력계는 상온에서 작동하며, 0.1~1000Torr의 전체 스케일 압력/진공 범위에서 사용 가능하고 다양한 산업, 전자 및 연구 분야에 적합합니다. 본 제품은 15핀 D-subminiature 신호 커넥터, 1000 Torr의 최대 진공 압력 측정값, VCR® 8 암형 진공 플랜지 연결부를 갖춘 MKS Type 626D 정전 용량식 압력계이며, MKS 부품 번호는 626D13TBE입니다. 호환 컨트롤러 및 케이블: P102063 - MKS PDR 2000 전원 공급 및 디지털 판독 케이블용 Ideal Vacuum 케이블(15핀 Y 케이블, CB2000S-1-M1과 동일) P102062 - MKS PDR 2000 디지털 전원 공급 및 디지털 판독 정전 용량 압력계 컨트롤러 P1010127 - Ideal Vacuum 이중 정전 용량 압력계 컨트롤러(DCM), 전원 공급 및 디지털 압력 판독 제품 특징: 15핀 D-sub 커넥터가 있는 0~10VDC 비례 아날로그 출력 가스 종류 또는 조성에 관계없이 챔버 전체 압력 직접 측정 최첨단 공정 반복성을 위한 장기적인 출력 안정성 기본 센서는 Inconel® 및 Incoloy® 니켈 합금 구조로 거의 모든 화학 환경에서 손상 없이 작동 높은 과압 한계로 시스템 오류 발생 시 신뢰성 보장 최상의 정확도와 향상된 공정 수율을 위해 판독값의 백분율로 표시

MKS 626D 1000 Torr Baratron 절대 정전 용량 압력계, 진공 압력 게이지 센서, UHV 진공 피팅 ConFlat CF 1.33인치 플랜지, PN 626D13TCE MKS 626D 비가열 절대 Baratron® 정전 용량 압력계는 최신 아날로그 정전 용량 기반 고성능 진공 및 압력 변환기입니다. ±15 VDC 입력 전압이 필요하며 압력에 선형적인 높은 수준의 0-10 VDC 아날로그 출력 신호를 제공합니다. 이 아날로그 출력은 MKS PDR2000 압력 컨트롤러, MKS 전원 공급 장치/디스플레이 장비 또는 이러한 요구 사항을 충족하는 모든 장비와 인터페이스할 수 있습니다. 압력/진공의 변화는 센서의 다이어프램과 인접한 전극 디스크 사이의 정전 용량 변화를 측정하여 결정됩니다. 이러한 커패시턴스 변화는 특허 받은 신호 조정 전자 회로를 통해 사용 가능한 출력으로 변환됩니다. 센서의 방사형 장력 Inconel® 다이어프램은 매우 빠른 응답(많은 경우 <20msec), 낮은 히스테리시스, 우수한 반복성, 매우 높은 분해능(전체 스케일의 0.001%까지), 매우 높은 내식성 및 이중벽을 제공합니다. 작업자 안전을 위한 용접 구조. 센서 자체는 영구적인 성능 저하나 이동 없이 45psia(3.1bar)에 대한 반복 노출을 견딜 수 있으므로 거의 모든 공정 시스템에서 작동할 수 있습니다. MKS 626D Baratron 정전용량 압력계는 주변 조건에서 작동합니다. 이 제품은 0.1~1000Torr의 전체 압력/진공 범위에서 사용할 수 있으며 다양한 산업, 전자 및 연구 응용 분야에 적합합니다. 이 목록은 15핀 D 초소형 신호 커넥터, 1000Torr 전체 규모 최대 진공 압력 판독값, Conflat CF 1.33인치 초고진공 UHV 플랜지 연결이 있고 MKS 부품 번호가 있는 MKS 유형 626D 정전용량 압력계용입니다. 626D13TCE. 호환 컨트롤러 및 케이블: P102063 - MKS PDR 2000 전원 공급 장치 및 디지털 판독 케이블에 이상적인 진공 케이블 15핀 Y 케이블, CB2000S-1-M1과 동일 P102062 - MKS PDR 2000 디지털 전원 공급 장치 및 디지털 판독 용량계 압력계 컨트롤러 P1010127 - 이상적 진공 이중 정전 용량 압력계 컨트롤러(DCM), 전원 공급 장치 및 디지털 압력 판독 기능: 15핀 D-sub 커넥터가 있는 0~10VDC 비례 아날로그 출력 가스 유형이나 구성에 관계없이 챔버 전체 압력을 직접 측정 장기적인 출력 안정성 최첨단 프로세스 반복성을 위해 기본 센서의 Inconel® 및 Incoloy® 니켈 합금 구조는 거의 모든 화학적 환경에서 손상 없이 작동합니다. 높은 과압 제한은 시스템 사고 시 신뢰성을 보장합니다. 최고의 정확도와 향상된 프로세스 수율을 위해 판독 비율로 지정됩니다.

MKS 627H 0.02 Torr 가열식(45°C) 절대 압력계, 바라트론 정전 용량식 압력계, 진공 피팅 VCR® 8 암형, 측정값의 0.25% 정확도, 수직 교정. MKS 부품 번호 PN: 627HU2TBE1B. 627H 바라트론® 정전 용량식 압력계는 45°C로 가열되며, 측정값의 0.12% 정확도를 제공하고, 향상된 온도 제어 전자 장치를 통해 탁월한 장기 안정성과 반복성을 제공합니다. 이 정전 용량식 압력계는 오늘날의 낮은 공정 압력에 맞춰 20 mTorr(0.03 mbar)까지의 전체 측정 범위를 제공합니다. 기존 바라트론 정전 용량식 압력계 기술을 기반으로 제작된 이 센서의 접촉면은 부식성 가스에 대한 내성이 뛰어난 인코넬® 재질입니다. 현대적인 스테인리스 스틸 패키지는 클린룸 환경에 적합합니다. 본 제품은 기존의 627A, 627B, 627D 및 627F 바라트론 정전 용량식 압력계와 호환되며 MKS 전원 공급 장치, 디스플레이 장치 및 압력 컨트롤러 또는 기타 호환 가능한 전원 공급 장치/판독 장치와 함께 사용할 수 있습니다. 본 제품은 45°C로 가열되는 MKS 627H형 정전 용량식 압력계로, 나사 고정 장치가 있는 15핀 D-subminiature 신호 커넥터, 0.02 Torr의 최대 진공 압력 판독값, VCR® 8 암형 진공 플랜지 연결부, 판독값의 0.25% 정확도, 수직 교정 기능을 갖추고 있으며, MKS 부품 번호는 627HU2TBE1B입니다. 호환 컨트롤러 및 케이블: P102063 - MKS PDR 2000 전원 공급 장치 및 디지털 판독 케이블용 Ideal Vacuum 케이블(15핀 Y 케이블, CB2000S-1-M1과 동일) P102062 - MKS PDR 2000 디지털 전원 공급 장치 및 디지털 판독 정전 용량 압력계 컨트롤러 P1010127 - Ideal Vacuum 이중 정전 용량 압력계 컨트롤러(DCM), 전원 공급 장치 및 디지털 압력 판독 제품 특징: 뛰어난 장기 안정성, 저압 범위에서 더욱 정밀한 출력 신호를 위한 판독값 백분율 정확도, 20mTorr(0.03mbar)까지의 낮은 압력 범위에서도 정밀한 저압 공정 측정 가능, 부식 방지 인코넬 재질의 접촉면, 빠른 예열 시간, 온도 및 히터 제어 회로의 시각적 및 전기적 상태 표시, 기존 Baratron 정전 용량 압력계, MKS 전원 공급 장치/판독 모듈 및 압력 컨트롤러와 호환, 가스 조성에 관계없이 총 압력 직접 측정, 높은 과압 등급으로 신뢰성 향상, 클린룸 호환 스테인리스 스틸 패키지

MKS 627H 0.05 Torr 가열식(45°C) 절대 압력계, 바라트론 정전 용량식 압력계, 진공 피팅 VCR® 8 암형, 측정값의 0.15% 정확도, 수직 교정. MKS 부품 번호 PN: 627HU5TBD1B. 627H 바라트론® 정전 용량식 압력계는 45°C로 가열되며, 측정값의 0.12% 정확도를 제공하고, 향상된 온도 제어 전자 장치를 통해 탁월한 장기 안정성과 반복성을 제공합니다. 이 정전 용량식 압력계는 오늘날의 낮은 공정 압력에 맞춰 20 mTorr(0.03 mbar)까지의 전체 측정 범위를 제공합니다. 기존 바라트론 정전 용량식 압력계 기술을 기반으로 제작된 이 센서의 접촉면은 부식성 가스에 대한 내성이 뛰어난 인코넬® 재질입니다. 현대적인 스테인리스 스틸 패키지는 클린룸 환경에 적합합니다. 본 제품은 기존의 627A, 627B, 627D 및 627F 바라트론 정전 용량식 압력계와 호환되며 MKS 전원 공급 장치, 디스플레이 장치 및 압력 컨트롤러 또는 기타 호환 가능한 전원 공급 장치/판독 장치와 함께 사용할 수 있습니다. 본 제품은 45°C로 가열되는 MKS 627H형 정전 용량식 압력계로, 나사 고정 장치가 있는 15핀 D-subminiature 신호 커넥터, 0.05 Torr의 최대 진공 압력 판독값, VCR® 8 암형 진공 플랜지 연결부, 판독값의 0.15% 정확도, 수직 교정 기능을 갖추고 있으며, MKS 부품 번호는 627HU5TBD1B입니다. 호환 컨트롤러 및 케이블: P102063 - MKS PDR 2000 전원 공급 장치 및 디지털 판독 케이블용 Ideal Vacuum 케이블(15핀 Y 케이블, CB2000S-1-M1과 동일) P102062 - MKS PDR 2000 디지털 전원 공급 장치 및 디지털 판독 정전 용량 압력계 컨트롤러 P1010127 - Ideal Vacuum 이중 정전 용량 압력계 컨트롤러(DCM), 전원 공급 장치 및 디지털 압력 판독 제품 특징: 뛰어난 장기 안정성, 저압 범위에서 더욱 정밀한 출력 신호를 위한 판독값 백분율 정확도, 20mTorr(0.03mbar)까지의 낮은 압력 범위에서도 정밀한 저압 공정 측정 가능, 부식 방지 인코넬 재질의 접촉면, 빠른 예열 시간, 온도 및 히터 제어 회로의 시각적 및 전기적 상태 표시, 기존 Baratron 정전 용량 압력계, MKS 전원 공급 장치/판독 모듈 및 압력 컨트롤러와 호환, 가스 조성에 관계없이 총 압력 직접 측정, 높은 과압 등급으로 신뢰성 향상, 클린룸 호환 스테인리스 스틸 패키지

MKS 627H 0.1 Torr 가열식(45°C) 절대 압력계, 바라트론 정전 용량식 압력계, 진공 피팅 VCR® 8 암형, 측정값의 0.15% 정확도, 수직 교정. MKS 부품 번호 PN: 627H.1TBD1B. 627H 바라트론® 정전 용량식 압력계는 45°C로 가열되며, 측정값의 0.12% 정확도를 제공하고, 향상된 온도 제어 전자 장치를 통해 탁월한 장기 안정성과 반복성을 제공합니다. 이 정전 용량식 압력계는 오늘날의 낮은 공정 압력에 맞춰 20 mTorr(0.03 mbar)까지의 전체 스케일 범위에서 사용 가능합니다. 기존 바라트론 정전 용량식 압력계 기술을 기반으로 제작된 이 센서의 접촉면은 부식성 가스에 대한 내성이 뛰어난 인코넬® 재질입니다. 현대적인 스테인리스 스틸 패키지는 클린룸 환경에 적합한 제품입니다. 본 제품은 기존의 627A, 627B, 627D 및 627F 바라트론 정전 용량 압력계와 호환되며 MKS 전원 공급 장치, 디스플레이 장치 및 압력 컨트롤러 또는 기타 호환 가능한 전원 공급 장치/판독 장치와 함께 사용할 수 있습니다. 본 제품은 45°C로 가열되는 MKS 627H형 정전 용량 압력계로, 나사 고정 장치가 있는 15핀 D-subminiature 신호 커넥터, 0.1 Torr의 최대 진공 압력 판독값, VCR® 8 암 진공 플랜지 연결부, 판독값의 0.15% 정확도, 수직 교정 기능을 갖추고 있으며, MKS 부품 번호는 627H.1TBD1B입니다. 호환 컨트롤러 및 케이블: P102063 - MKS PDR 2000 전원 공급 장치 및 디지털 판독 케이블용 Ideal Vacuum 케이블(15핀 Y 케이블, CB2000S-1-M1과 동일) P102062 - MKS PDR 2000 디지털 전원 공급 장치 및 디지털 판독 정전 용량 압력계 컨트롤러 P1010127 - Ideal Vacuum 이중 정전 용량 압력계 컨트롤러(DCM), 전원 공급 장치 및 디지털 압력 판독 제품 특징: 뛰어난 장기 안정성, 저압 범위에서 더욱 정밀한 출력 신호를 위한 판독값 백분율 정확도, 20mTorr(0.03mbar)까지의 낮은 압력 범위에서도 정밀한 저압 공정 측정 가능, 부식 방지 인코넬 재질의 접촉면, 빠른 예열 시간, 온도 및 히터 제어 회로의 시각적 및 전기적 상태 표시, 기존 Baratron 정전 용량 압력계, MKS 전원 공급 장치/판독 모듈 및 압력 컨트롤러와 호환, 가스 조성에 관계없이 총 압력 직접 측정, 높은 과압 등급으로 신뢰성 향상, 클린룸 호환 스테인리스 스틸 패키지

MKS 627H 1 Torr 가열식 45°C 절대 압력계, 바라트론 정전 용량식 압력계, 진공 피팅 VCR® 8 암형, 측정값의 0.12% 정확도, 수직 교정. MKS 부품 번호 PN: 627H01TBC1B. 627H 바라트론® 정전 용량식 압력계는 45°C로 가열되며, 측정값의 0.12% 정확도를 제공하고, 향상된 온도 제어 전자 장치를 통해 탁월한 장기 안정성과 반복성을 제공합니다. 이 정전 용량식 압력계는 오늘날의 낮은 공정 압력에 맞춰 20 mTorr(0.03 mbar)까지의 전체 측정 범위를 제공합니다. 기존 바라트론 정전 용량식 압력계 기술을 기반으로 제작된 이 센서의 접촉면은 부식성 가스에 대한 내성이 뛰어난 인코넬® 재질입니다. 현대적인 스테인리스 스틸 패키지는 클린룸 환경에 적합합니다. 본 제품은 기존의 627A, 627B, 627D 및 627F 바라트론 정전 용량식 압력계와 호환되며 MKS 전원 공급 장치, 디스플레이 장치 및 압력 컨트롤러 또는 기타 호환 가능한 전원 공급 장치/판독 장치와 함께 사용할 수 있습니다. 본 제품은 45°C로 가열되는 MKS 627H형 정전 용량식 압력계로, 나사 고정 장치가 있는 15핀 D-subminiature 신호 커넥터, 최대 진공 압력 판독값 1 Torr, VCR® 8 암 진공 플랜지 연결부, 판독값의 0.12% 정확도, 수직 교정 기능을 갖추고 있으며, MKS 부품 번호는 627H01TBC1B입니다. 호환 컨트롤러 및 케이블: P102063 - MKS PDR 2000 전원 공급 장치 및 디지털 판독 케이블용 Ideal Vacuum 케이블(15핀 Y 케이블, CB2000S-1-M1과 동일) P102062 - MKS PDR 2000 디지털 전원 공급 장치 및 디지털 판독 정전 용량 압력계 컨트롤러 P1010127 - Ideal Vacuum 이중 정전 용량 압력계 컨트롤러(DCM), 전원 공급 장치 및 디지털 압력 판독 제품 특징: 뛰어난 장기 안정성, 저압 범위에서 더욱 정밀한 출력 신호를 위한 판독값 백분율 정확도, 20mTorr(0.03mbar)까지의 낮은 압력 범위에서도 정밀한 저압 공정 측정 가능, 부식 방지 인코넬 재질의 접촉면, 빠른 예열 시간, 온도 및 히터 제어 회로의 시각적 및 전기적 상태 표시, 기존 Baratron 정전 용량 압력계, MKS 전원 공급 장치/판독 모듈 및 압력 컨트롤러와 호환, 가스 조성에 관계없이 총 압력 직접 측정, 높은 과압 등급으로 신뢰성 향상, 클린룸 호환 스테인리스 스틸 패키지

MKS 627H 10 Torr 가열식 45°C 절대 압력계, 바라트론 정전 용량식 압력계, 진공 피팅 VCR® 8 암형, 측정값의 0.12% 정확도, 수직 교정. MKS 부품 번호 PN: 627H11TBC1B. 627H 바라트론® 정전 용량식 압력계는 45°C로 가열되며, 측정값의 0.12% 정확도를 제공하고, 향상된 온도 제어 전자 장치를 통해 탁월한 장기 안정성과 반복성을 제공합니다. 이 정전 용량식 압력계는 오늘날의 낮은 공정 압력에 맞춰 20 mTorr(0.03 mbar)까지의 전체 측정 범위를 제공합니다. 기존 바라트론 정전 용량식 압력계 기술을 기반으로 제작된 이 센서의 접촉면은 부식성 가스에 대한 내성이 뛰어난 인코넬® 재질입니다. 현대적인 스테인리스 스틸 패키지는 클린룸 환경에 적합한 제품입니다. 본 제품은 기존의 627A, 627B, 627D 및 627F 바라트론 정전 용량식 압력계와 호환되며 MKS 전원 공급 장치, 디스플레이 장치 및 압력 컨트롤러 또는 기타 호환 가능한 전원 공급 장치/판독 장치와 함께 사용할 수 있습니다. 본 제품은 45°C로 가열되는 MKS 627H형 정전 용량식 압력계로, 나사 고정 장치가 있는 15핀 D-subminiature 신호 커넥터, 최대 진공 압력 판독값 10 Torr, VCR® 8 암 진공 플랜지 연결부, 판독값의 0.12% 정확도, 수직 교정 기능을 갖추고 있으며, MKS 부품 번호는 627H11TBC1B입니다. 호환 컨트롤러 및 케이블: P102063 - MKS PDR 2000 전원 공급 장치 및 디지털 판독 케이블용 Ideal Vacuum 케이블(15핀 Y 케이블, CB2000S-1-M1과 동일) P102062 - MKS PDR 2000 디지털 전원 공급 장치 및 디지털 판독 정전 용량 압력계 컨트롤러 P1010127 - Ideal Vacuum 이중 정전 용량 압력계 컨트롤러(DCM), 전원 공급 장치 및 디지털 압력 판독 제품 특징: 뛰어난 장기 안정성, 저압 범위에서 더욱 정밀한 출력 신호를 위한 판독값 백분율 정확도, 20mTorr(0.03mbar)까지의 낮은 압력 범위에서도 정밀한 저압 공정 측정 가능, 부식 방지 인코넬 재질의 접촉면, 빠른 예열 시간, 온도 및 히터 제어 회로의 시각적 및 전기적 상태 표시, 기존 Baratron 정전 용량 압력계, MKS 전원 공급 장치/판독 모듈 및 압력 컨트롤러와 호환, 가스 조성에 관계없이 총 압력 직접 측정, 높은 과압 등급으로 신뢰성 향상, 클린룸 호환 스테인리스 스틸 패키지

MKS 627H 100 Torr 가열식(45°C) 절대 압력계, 바라트론 정전 용량식 압력계, 진공 피팅 VCR® 8 암형, 측정값의 0.12% 정확도, 수직 교정. MKS 부품 번호 PN: 627H12TBC1B. 627H 바라트론® 정전 용량식 압력계는 45°C로 가열되며, 측정값의 0.12% 정확도를 제공하고, 최신 온도 제어 전자 장치를 통해 탁월한 장기 안정성과 반복성을 제공합니다. 이 정전 용량식 압력계는 오늘날의 낮은 공정 압력에 맞춰 20 mTorr(0.03 mbar)까지의 전체 측정 범위를 제공합니다. 기존 바라트론 정전 용량식 압력계 기술을 기반으로 제작된 이 센서의 접촉면은 부식성 가스에 대한 내성이 뛰어난 인코넬® 재질입니다. 현대적인 스테인리스 스틸 패키지는 클린룸 환경에 적합합니다. 본 제품은 기존의 627A, 627B, 627D 및 627F 바라트론 정전 용량식 압력계와 호환되며 MKS 전원 공급 장치, 디스플레이 장치 및 압력 컨트롤러 또는 기타 호환 가능한 전원 공급 장치/판독 장치와 함께 사용할 수 있습니다. 본 제품은 45°C로 가열되는 MKS 627H형 정전 용량식 압력계로, 나사 고정 장치가 있는 15핀 D-subminiature 신호 커넥터, 최대 진공 압력 판독값 100 Torr, VCR® 8 암형 진공 플랜지 연결부, 판독값의 0.12% 정확도, 수직 교정 기능을 갖추고 있으며, MKS 부품 번호는 627H12TBC1B입니다. 호환 컨트롤러 및 케이블: P102063 - MKS PDR 2000 전원 공급 장치 및 디지털 판독 케이블용 Ideal Vacuum 케이블(15핀 Y 케이블, CB2000S-1-M1과 동일) P102062 - MKS PDR 2000 디지털 전원 공급 장치 및 디지털 판독 정전 용량 압력계 컨트롤러 P1010127 - Ideal Vacuum 이중 정전 용량 압력계 컨트롤러(DCM), 전원 공급 장치 및 디지털 압력 판독 제품 특징: 뛰어난 장기 안정성, 저압 범위에서 더욱 정밀한 출력 신호를 위한 판독값 백분율 정확도, 20mTorr(0.03mbar)까지의 낮은 압력 범위에서도 정밀한 저압 공정 측정 가능, 부식 방지 인코넬 재질의 접촉면, 빠른 예열 시간, 온도 및 히터 제어 회로의 시각적 및 전기적 상태 표시, 기존 Baratron 정전 용량 압력계, MKS 전원 공급 장치/판독 모듈 및 압력 컨트롤러와 호환, 가스 조성에 관계없이 총 압력 직접 측정, 높은 과압 등급으로 신뢰성 향상, 클린룸 호환 스테인리스 스틸 패키지

MKS 627H 1,000 Torr 가열식(45°C) 절대 압력계, 바라트론 정전 용량식 압력계, 진공 피팅 VCR® 8 암형, 측정값의 0.12% 정확도, 수직 교정. MKS 부품 번호 PN: 627H13TBC1B. 627H 바라트론® 정전 용량식 압력계는 45°C로 가열되며, 측정값의 0.12% 정확도를 제공하고, 향상된 온도 제어 전자 장치를 통해 탁월한 장기 안정성과 반복성을 제공합니다. 이 정전 용량식 압력계는 오늘날의 낮은 공정 압력에 맞춰 20 mTorr(0.03 mbar)까지의 전체 측정 범위를 제공합니다. 기존 바라트론 정전 용량식 압력계 기술을 기반으로 제작된 이 센서의 접촉면은 부식성 가스에 대한 내성이 뛰어난 인코넬® 재질입니다. 현대적인 스테인리스 스틸 패키지는 클린룸 환경에 적합합니다. 본 제품은 기존의 627A, 627B, 627D 및 627F 바라트론 정전 용량 압력계와 호환되며 MKS 전원 공급 장치, 디스플레이 장치 및 압력 컨트롤러 또는 기타 호환 가능한 전원 공급 장치/판독 장치와 함께 사용할 수 있습니다. 본 제품은 45°C로 가열되는 MKS 627H형 정전 용량 압력계로, 나사 고정 장치가 있는 15핀 D-subminiature 신호 커넥터, 최대 1,000 Torr의 전체 스케일 진공 압력 판독값, VCR® 8 암 진공 플랜지 연결부, 판독값의 0.12% 정확도, 수직 교정 기능을 갖추고 있으며, MKS 부품 번호는 627H13TBC1B입니다. 호환 컨트롤러 및 케이블: P102063 - MKS PDR 2000 전원 공급 장치 및 디지털 판독 케이블용 Ideal Vacuum 케이블(15핀 Y 케이블, CB2000S-1-M1과 동일) P102062 - MKS PDR 2000 디지털 전원 공급 장치 및 디지털 판독 정전 용량 압력계 컨트롤러 P1010127 - Ideal Vacuum 이중 정전 용량 압력계 컨트롤러(DCM), 전원 공급 장치 및 디지털 압력 판독 제품 특징: 뛰어난 장기 안정성, 저압 범위에서 더욱 정밀한 출력 신호를 위한 판독값 백분율 정확도, 20mTorr(0.03mbar)까지의 낮은 압력 범위에서도 정밀한 저압 공정 측정 가능, 부식 방지 인코넬 재질의 접촉면, 빠른 예열 시간, 온도 및 히터 제어 회로의 시각적 및 전기적 상태 표시, 기존 Baratron 정전 용량 압력계, MKS 전원 공급 장치/판독 모듈 및 압력 컨트롤러와 호환, 가스 조성에 관계없이 총 압력 직접 측정, 높은 과압 등급으로 신뢰성 향상, 클린룸 호환 스테인리스 스틸 패키지

MKS 압력계 케이블은 937B 또는 946 컨트롤러와 626 또는 627 압력계를 연결하며, 길이는 3m(10피트)입니다. MKS 부품 번호: 100007555. 이 MKS 진공 게이지 신호 케이블은 937B 또는 946 컨트롤러를 626 또는 627 압력계에 연결합니다. 9핀 D형 서브미니어처 커넥터와 15핀 D형 서브미니어처 커넥터가 있습니다. 본 제품은 케이블만 포함합니다. 937B 시리즈 디지털 복합 진공 게이지 컨트롤러는 최대 6개의 진공 압력 센서를 동시에 작동시킬 수 있습니다. 이 유연성이 뛰어난 진공 게이지 컨트롤러는 냉음극, 열음극, 표준 피라니, 대류 피라니, 바라트론® 정전 용량 압력계 및 절대 피에조 센서를 포함한 다양한 센서 기술을 지원하며, 초고진공에서 대기압 이상까지의 측정 범위를 제공합니다. 백라이트 LCD 디스플레이, 직관적인 메뉴 및 간단한 버튼식 전면 패널을 통해 937B를 손쉽게 설정할 수 있습니다. 937B는 각 센서 카드 슬롯에 모든 센서 카드를 사용할 수 있도록 지원합니다. 937B는 최대 3개의 온/냉 음극식 게이지 또는 3개의 듀얼 센서 카드를 사용하여 최대 6개의 게이지를 연결할 수 있도록 구성할 수 있습니다.

MKS 압력계 케이블은 937B 또는 946 컨트롤러를 626 또는 627 압력계(7.5m)에 연결합니다. 긴. MKS 부품 번호: 100007556. MKS 진공 게이지 신호 케이블은 937B 또는 946 컨트롤러를 626 또는 627 압력계에 연결합니다. 9핀 유형 D 초소형 커넥터와 15핀 유형 D 초소형 커넥터가 있습니다. 이것은 케이블 전용입니다. 시리즈 937B 디지털 복합 진공 게이지 컨트롤러는 최대 6개의 진공 압력 센서를 동시에 작동합니다. 매우 유연한 이 진공 게이지 컨트롤러는 냉음극, 열음극, 표준 피라니, 대류 피라니, Baratron® 커패시턴스 압력계 및 초고진공에서 대기압 이상까지 측정 범위를 위한 절대 피에조 센서를 포함한 광범위한 센서 기술을 지원합니다. 백라이트 LCD 디스플레이, 직관적인 메뉴 및 간단한 푸시 버튼 전면 패널을 통해 937B를 쉽게 설정할 수 있습니다. 937B를 사용하면 각 센서 카드 슬롯에서 모든 센서 카드를 사용할 수 있습니다. 937B는 최대 3개의 열음극 또는 냉음극형 게이지로 구성하거나 최대 6개의 게이지 연결을 위한 3개의 듀얼 센서 카드로 구성할 수 있습니다.

MKS 722C 범용 바라트론 절대 정전 용량 압력계, 압력 범위 1 Torr, VCR® 4 진공 피팅, 9핀 D형 커넥터, 부품 번호 722C01TCD2FA. 오늘날의 공정 환경에서는 정확하고 반복 가능하며 신뢰할 수 있는 측정을 저렴한 비용으로 제공하는 소형 압력 측정 장비가 요구됩니다. MKS는 정전 용량 압력계 설계 및 제조 기술 분야의 전문성을 바탕으로 소형 범용 절대 바라트론® 정전 용량 압력계 722C를 개발했습니다. 722C의 유연한 설계는 기존 장비 개조는 물론 신규 장비 설계에도 이상적인 솔루션입니다. 견고한 센서 구조는 높은 과압 허용 오차를 제공하여 간헐적인 라인 압력 급증으로 인한 오차를 줄여줍니다. 모든 센서 접촉면은 다양한 공정 가스¹와의 최대 호환성을 보장하기 위해 인코넬®로 제작되었습니다. 정교한 기술과 엄격한 공정 관리를 통해 모든 접촉면에 깨끗하고 매끄러운 마감(≥10 Ra)을 구현했습니다. 신호 컨디셔닝 회로는 최신 표면 실장 기술을 사용하여 조립되었습니다. 모든 트랜스듀서는 2년 무상 보증이 제공됩니다. 본 제품은 9핀 D-subminiature 신호 커넥터, 1 Torr의 최대 진공 압력 측정값, VCR® 4 암 진공 플랜지 연결부를 갖춘 MKS Type 722C 범용 정전 용량식 압력계이며, MKS 부품 번호는 722C01TCD2FA입니다. 호환 컨트롤러 및 케이블: P102061 - MKS PDR 2000 전원 공급 장치 및 디지털 판독 케이블 9핀 케이블 CB2000S-2-M1, P102062 - MKS PDR 2000 디지털 전원 공급 장치 및 디지털 판독 정전 용량 압력계 컨트롤러, P1010127 - Ideal Vacuum 이중 정전 용량 압력계 컨트롤러(DCM), 전원 공급 장치 및 디지털 압력 판독 장치. 제품 특징: 9핀 D-sub 커넥터가 있는 0~10VDC 비례 아날로그 출력, 가스 종류 또는 조성에 관계없이 챔버 전체 압력 직접 측정, 넓은 작동 온도 범위에서 높은 정확도, 45psia 또는 최대 스케일의 2배(둘 중 더 큰 값)의 과압 제한으로 영점 반복성 또는 성능 저하 없음, 모든 센서 접촉면은 10 Ra 이상의 미세 가공으로 부식 발생 가능, 압력계 크기 축소로 전체 시스템 크기 감소, 내식성 - 전체 금속 용접 구조로 매체에 노출되는 부분은 인코넬과 스테인리스강뿐임 기존 722 바라트론 정전식 압력계와 호환되는 교체용 제품입니다.

MKS 722C 범용 바라트론 절대 정전 용량 압력계, 압력 범위 10 Torr, VCR® 4 진공 피팅, 9핀 D형 커넥터, 부품 번호 722C11TCD2FA. 오늘날의 공정 환경에서는 정확하고 반복 가능하며 신뢰할 수 있는 측정을 저렴한 비용으로 제공하는 소형 압력 측정 장비가 요구됩니다. MKS는 정전 용량 압력계 설계 및 제조 기술 분야의 전문성을 바탕으로 소형 범용 절대 바라트론® 정전 용량 압력계 722C를 개발했습니다. 722C의 유연한 설계는 기존 장비 개조는 물론 신규 장비 설계에도 이상적인 솔루션입니다. 견고한 센서 구조는 높은 과압 허용 오차를 제공하여 간헐적인 라인 압력 급증으로 인한 오차를 줄여줍니다. 모든 센서 접촉면은 다양한 공정 가스¹와의 최대 호환성을 보장하기 위해 인코넬®로 제작되었습니다. 정교한 기술과 엄격한 공정 관리를 통해 모든 접촉면에 깨끗하고 매끄러운 마감(≥10 Ra)을 구현했습니다. 신호 컨디셔닝 회로는 최신 표면 실장 기술을 사용하여 조립되었습니다. 모든 트랜스듀서는 2년 무상 보증이 제공됩니다. 본 제품은 9핀 D-subminiature 신호 커넥터, 10 Torr의 최대 진공 압력 측정값, VCR® 4 암 진공 플랜지 연결부를 갖춘 MKS Type 722C 범용 용량식 압력계이며, MKS 부품 번호는 722C11TCD2FA입니다. 호환 컨트롤러 및 케이블: P102061 - MKS PDR 2000 전원 공급 장치 및 디지털 판독 케이블 9핀 케이블 CB2000S-2-M1, P102062 - MKS PDR 2000 디지털 전원 공급 장치 및 디지털 판독 정전 용량 압력계 컨트롤러, P1010127 - Ideal Vacuum 이중 정전 용량 압력계 컨트롤러(DCM), 전원 공급 장치 및 디지털 압력 판독 장치. 제품 특징: 9핀 D-sub 커넥터가 있는 0~10VDC 비례 아날로그 출력, 가스 종류 또는 조성에 관계없이 챔버 전체 압력 직접 측정, 넓은 작동 온도 범위에서 높은 정확도, 45psia 또는 최대 스케일의 2배(둘 중 더 큰 값)의 과압 제한으로 영점 반복성 또는 성능 저하 없음, 모든 센서 접촉면은 10 Ra 이상의 미세 가공으로 부식 발생 가능, 압력계 크기 축소로 전체 시스템 크기 감소, 내식성 - 전체 금속 용접 구조로 매체에 노출되는 부분은 인코넬과 스테인리스강뿐임 기존 722 바라트론 정전식 압력계와 호환되는 교체용 제품입니다.

MKS 722C 범용 바라트론 절대 정전 용량 압력계, 압력 범위 100 Torr, VCR® 4 진공 피팅, 9핀 D형 커넥터, 부품 번호 722C12TCD2FA. 오늘날의 공정 환경에서는 정확하고 반복 가능하며 신뢰할 수 있는 측정을 저렴한 비용으로 제공하는 소형 압력 측정 장비가 요구됩니다. MKS는 정전 용량 압력계 설계 및 제조 기술 분야의 전문성을 바탕으로 소형 범용 절대 바라트론® 정전 용량 압력계 722C를 개발했습니다. 722C의 유연한 설계는 기존 장비 개조는 물론 신규 장비 설계에도 이상적인 솔루션입니다. 견고한 센서 구조는 높은 과압 허용 오차를 제공하여 간헐적인 라인 압력 급증으로 인한 오차를 줄여줍니다. 모든 센서 접촉면은 다양한 공정 가스¹와의 최대 호환성을 보장하기 위해 인코넬®로 제작되었습니다. 정교한 기술과 엄격한 공정 관리를 통해 모든 접촉면에 깨끗하고 매끄러운 마감(≥10 Ra)을 구현했습니다. 신호 컨디셔닝 회로는 최신 표면 실장 기술을 사용하여 조립되었습니다. 모든 트랜스듀서는 2년 무상 보증이 제공됩니다. 본 제품은 9핀 D-subminiature 신호 커넥터, 100 Torr의 최대 진공 압력 측정값, VCR® 4 암 진공 플랜지 연결부를 갖춘 MKS Type 722C 범용 용량식 압력계이며, MKS 부품 번호는 722C12TCD2FA입니다. 호환 컨트롤러 및 케이블: P102061 - MKS PDR 2000 전원 공급 장치 및 디지털 판독 케이블 9핀 케이블 CB2000S-2-M1, P102062 - MKS PDR 2000 디지털 전원 공급 장치 및 디지털 판독 정전 용량 압력계 컨트롤러, P1010127 - Ideal Vacuum 이중 정전 용량 압력계 컨트롤러(DCM), 전원 공급 장치 및 디지털 압력 판독 장치. 제품 특징: 9핀 D-sub 커넥터가 있는 0~10VDC 비례 아날로그 출력, 가스 종류 또는 조성에 관계없이 챔버 전체 압력 직접 측정, 넓은 작동 온도 범위에서 높은 정확도, 45psia 또는 최대 스케일의 2배(둘 중 더 큰 값)의 과압 제한으로 영점 반복성 또는 성능 저하 없음, 모든 센서 접촉면은 10 Ra 이상의 미세 가공으로 부식 발생 가능, 압력계 크기 축소로 전체 시스템 크기 감소, 내식성 - 전체 금속 용접 구조로 매체에 노출되는 부분은 인코넬과 스테인리스강뿐임 기존 722 바라트론 정전 용량 압력계와 호환되는 교체용 제품입니다.

MKS 722C 범용 바라트론 절대 용량 압력계, 압력 범위 1,000 Torr, VCR® 4 진공 피팅, 9핀 D형 커넥터, 부품 번호 722C13TCD2FA. 오늘날의 공정 환경에서는 정확하고 반복 가능하며 신뢰할 수 있는 측정을 저렴한 비용으로 제공하는 소형 압력 측정 장비가 요구됩니다. MKS는 용량 압력계 설계 및 제조 기술 분야의 전문성을 바탕으로 소형 범용 절대 바라트론® 용량 압력계 722C를 개발했습니다. 722C의 유연한 설계는 기존 장비 개조는 물론 신규 장비 설계에도 이상적인 솔루션입니다. 견고한 센서 구조는 높은 과압 허용 오차를 제공하여 간헐적인 라인 압력 급증으로 인한 오차를 줄여줍니다. 모든 센서 접촉면은 다양한 공정 가스¹와의 최대 호환성을 보장하기 위해 인코넬®로 제작되었습니다. 정교한 기술과 엄격한 공정 관리를 통해 모든 접촉면에 깨끗하고 매끄러운 표면(≥10 Ra)을 구현했습니다. 신호 컨디셔닝 회로는 최신 표면 실장 기술을 사용하여 조립되었습니다. 모든 트랜스듀서는 2년 무상 보증이 제공됩니다. 본 제품은 9핀 D-subminiature 신호 커넥터, 1,000 Torr의 최대 진공 압력 측정값, VCR® 4 암 진공 플랜지 연결부를 갖춘 MKS Type 722C 범용 정전 용량식 압력계이며, 부품 번호는 722C13TCD2FA입니다. 호환 컨트롤러 및 케이블: P102061 - MKS PDR 2000 전원 공급 장치 및 디지털 판독 케이블 9핀 케이블 CB2000S-2-M1, P102062 - MKS PDR 2000 디지털 전원 공급 장치 및 디지털 판독 정전 용량 압력계 컨트롤러, P1010127 - Ideal Vacuum 이중 정전 용량 압력계 컨트롤러(DCM), 전원 공급 장치 및 디지털 압력 판독 장치. 제품 특징: 9핀 D-sub 커넥터가 있는 0~10VDC 비례 아날로그 출력, 가스 종류 또는 조성에 관계없이 챔버 전체 압력 직접 측정, 넓은 작동 온도 범위에서 높은 정확도, 45psia 또는 최대 스케일의 2배(둘 중 더 큰 값)의 과압 제한으로 영점 반복성 또는 성능 저하 없음, 모든 센서 접촉면은 10 Ra 이상의 미세 가공으로 부식 발생 가능, 압력계 크기 축소로 전체 시스템 크기 감소, 내식성 - 전체 금속 용접 구조로 매체에 노출되는 부분은 인코넬과 스테인리스강뿐임 기존 722 바라트론 정전식 압력계와 호환되는 교체용 제품입니다.

MKS 722C 범용 바라트론 절대 용량 압력계, 압력 범위 5,000 Torr, VCR® 4 진공 피팅, 9핀 D형 커넥터, 부품 번호 722C53TCD2FA. 오늘날의 공정 환경에서는 정확하고 반복 가능하며 신뢰할 수 있는 측정을 저렴한 비용으로 제공하는 소형 압력 측정 장비가 요구됩니다. MKS는 용량 압력계 설계 및 제조 기술 분야의 전문성을 바탕으로 소형 범용 절대 바라트론® 용량 압력계 722C를 개발했습니다. 722C의 유연한 설계는 기존 장비 개조는 물론 신규 장비 설계에도 이상적인 솔루션입니다. 견고한 센서 구조는 높은 과압 허용 오차를 제공하여 간헐적인 라인 압력 급증으로 인한 오차를 줄여줍니다. 모든 센서 접촉면은 다양한 공정 가스¹와의 최대 호환성을 보장하기 위해 인코넬®로 제작되었습니다. 정교한 기술과 엄격한 공정 관리를 통해 모든 접촉면에 깨끗하고 매끄러운 표면(≥10 Ra)을 구현했습니다. 신호 컨디셔닝 회로는 최신 표면 실장 기술을 사용하여 조립되었습니다. 모든 트랜스듀서는 2년 무상 보증이 제공됩니다. 본 제품은 9핀 D-subminiature 신호 커넥터, 5,000 Torr의 최대 진공 압력 측정값, VCR® 4 암 진공 플랜지 연결부를 갖춘 MKS Type 722C 범용 정전 용량식 압력계이며, MKS 부품 번호는 722C53TCD2FA입니다. 호환 컨트롤러 및 케이블: P102061 - MKS PDR 2000 전원 공급 장치 및 디지털 판독 케이블 9핀 케이블 CB2000S-2-M1, P102062 - MKS PDR 2000 디지털 전원 공급 장치 및 디지털 판독 정전 용량 압력계 컨트롤러, P1010127 - Ideal Vacuum 이중 정전 용량 압력계 컨트롤러(DCM), 전원 공급 장치 및 디지털 압력 판독 장치. 제품 특징: 9핀 D-sub 커넥터가 있는 0~10VDC 비례 아날로그 출력, 가스 종류 또는 조성에 관계없이 챔버 전체 압력 직접 측정, 넓은 작동 온도 범위에서 높은 정확도, 45psia 또는 최대 스케일의 2배(둘 중 더 큰 값)의 과압 제한으로 영점 반복성 또는 성능 저하 없음, 모든 센서 접촉면은 10 Ra 이상의 미세 가공으로 부식 발생 가능, 압력계 크기 축소로 전체 시스템 크기 감소, 내식성 - 전체 금속 용접 구조로 매체에 노출되는 부분은 인코넬과 스테인리스강뿐임 기존 722 바라트론 정전 용량 압력계와 호환되는 교체용 제품입니다.

MKS 722C 범용 바라트론 절대 용량 압력계, 압력 범위 10,000 Torr, VCR® 4 진공 피팅, 9핀 D형 커넥터, 부품 번호 722C14TCD2FA. 오늘날의 공정 환경에서는 정확하고 반복 가능하며 신뢰할 수 있는 측정을 저렴한 비용으로 제공하는 소형 압력 측정 장비가 요구됩니다. MKS는 용량 압력계 설계 및 제조 기술 분야의 전문성을 바탕으로 소형 범용 절대 바라트론® 용량 압력계 722C를 개발했습니다. 722C의 유연한 설계는 기존 장비 개조는 물론 신규 장비 설계에도 이상적인 솔루션입니다. 견고한 센서 구조는 높은 과압 허용 오차를 제공하여 간헐적인 라인 압력 급증으로 인한 오차를 줄여줍니다. 모든 센서 접촉면은 다양한 공정 가스¹와의 최대 호환성을 보장하기 위해 인코넬®로 제작되었습니다. 정교한 기술과 엄격한 공정 관리를 통해 모든 접촉면에 깨끗하고 매끄러운 표면(≥10 Ra)을 구현했습니다. 신호 컨디셔닝 회로는 최신 표면 실장 기술을 사용하여 조립되었습니다. 모든 트랜스듀서는 2년 무상 보증이 제공됩니다. 본 제품은 9핀 D-subminiature 신호 커넥터, 최대 10,000 Torr의 진공 압력 측정값, VCR® 4 암 진공 플랜지 연결부를 갖춘 MKS Type 722C 범용 정전 용량식 압력계이며, 부품 번호는 722C14TCD2FA입니다. 호환 컨트롤러 및 케이블: P102061 - MKS PDR 2000 전원 공급 장치 및 디지털 판독 케이블 9핀 케이블 CB2000S-2-M1, P102062 - MKS PDR 2000 디지털 전원 공급 장치 및 디지털 판독 정전 용량 압력계 컨트롤러, P1010127 - Ideal Vacuum 이중 정전 용량 압력계 컨트롤러(DCM), 전원 공급 장치 및 디지털 압력 판독 장치. 제품 특징: 9핀 D-sub 커넥터가 있는 0~10VDC 비례 아날로그 출력, 가스 종류 또는 조성에 관계없이 챔버 전체 압력 직접 측정, 넓은 작동 온도 범위에서 높은 정확도, 45psia 또는 최대 스케일의 2배(둘 중 더 큰 값)의 과압 제한으로 영점 반복성 또는 성능 저하 없음, 모든 센서 접촉면은 10 Ra 이상의 미세 가공으로 부식 발생 가능, 압력계 크기 축소로 전체 시스템 크기 감소, 내식성 - 전체 금속 용접 구조로 매체에 노출되는 부분은 인코넬과 스테인리스강뿐임 기존 722 바라트론 정전식 압력계와 호환되는 교체용 제품입니다.

MKS 722C 범용 바라트론 절대 용량 압력계, 압력 범위 20,000 Torr, VCR® 4 진공 피팅, 9핀 D형 커넥터, 부품 번호 722C24TCD2FA. 오늘날의 공정 환경에서는 정확하고 반복 가능하며 신뢰할 수 있는 측정을 저렴한 비용으로 제공하는 소형 압력 측정 장비가 요구됩니다. MKS는 용량 압력계 설계 및 제조 기술 분야의 전문성을 바탕으로 소형 범용 절대 바라트론® 용량 압력계 722C를 개발했습니다. 722C의 유연한 설계는 기존 장비 개조는 물론 신규 장비 설계에도 이상적인 솔루션입니다. 견고한 센서 구조는 높은 과압 허용 오차를 제공하여 간헐적인 라인 압력 급증으로 인한 오차를 줄여줍니다. 모든 센서 접촉면은 다양한 공정 가스¹와의 최대 호환성을 보장하기 위해 인코넬®로 제작되었습니다. 정교한 기술과 엄격한 공정 관리를 통해 모든 접촉면에 깨끗하고 매끄러운 표면(≥10 Ra)을 구현했습니다. 신호 컨디셔닝 회로는 최신 표면 실장 기술을 사용하여 조립되었습니다. 모든 트랜스듀서는 2년 무상 보증이 제공됩니다. 본 제품은 9핀 D-subminiature 신호 커넥터, 20,000 Torr의 최대 진공 압력 측정값, VCR® 4 암 진공 플랜지 연결부를 갖춘 MKS Type 722C 범용 정전 용량식 압력계이며, MKS 부품 번호는 722C24TCD2FA입니다. 호환 컨트롤러 및 케이블: P102061 - MKS PDR 2000 전원 공급 장치 및 디지털 판독 케이블 9핀 케이블 CB2000S-2-M1, P102062 - MKS PDR 2000 디지털 전원 공급 장치 및 디지털 판독 정전 용량 압력계 컨트롤러, P1010127 - Ideal Vacuum 이중 정전 용량 압력계 컨트롤러(DCM), 전원 공급 장치 및 디지털 압력 판독 장치. 제품 특징: 9핀 D-sub 커넥터가 있는 0~10VDC 비례 아날로그 출력, 가스 종류 또는 조성에 관계없이 챔버 전체 압력 직접 측정, 넓은 작동 온도 범위에서 높은 정확도, 45psia 또는 최대 스케일의 2배(둘 중 더 큰 값)의 과압 제한으로 영점 반복성 또는 성능 저하 없음, 모든 센서 접촉면은 10 Ra 이상의 미세 가공으로 부식 발생 가능, 압력계 크기 축소로 전체 시스템 크기 감소, 내식성 - 전체 금속 용접 구조로 매체에 노출되는 부분은 인코넬과 스테인리스강뿐임 기존 722 바라트론 정전 용량 압력계와 호환되는 교체용 제품입니다.

MKS 압력계 케이블은 937B 또는 946 컨트롤러를 722 압력계에 연결하며, DB9 수-DB9 암 커넥터를 사용하고 길이는 3m(10피트)입니다. MKS 부품 번호: 100016951. 이 MKS 압력계 케이블은 937B 또는 946 컨트롤러를 722 시리즈 정전 용량 압력계에 연결합니다. 9핀 D형 서브미니어처 커넥터가 있습니다. 본 제품은 케이블만 포함합니다. 937B 시리즈 디지털 복합 진공 게이지 컨트롤러는 최대 6개의 진공 압력 센서를 동시에 작동시킬 수 있습니다. 이 유연성이 뛰어난 진공 게이지 컨트롤러는 냉음극, 열음극, 표준 피라니, 대류 피라니, 바라트론® 정전 용량 압력계 및 절대 피에조 센서를 포함한 다양한 센서 기술을 지원하며, 초고진공에서 대기압 이상까지의 측정 범위를 제공합니다. 백라이트 LCD 디스플레이, 직관적인 메뉴 및 간단한 버튼식 전면 패널을 통해 937B를 손쉽게 설정할 수 있습니다. 937B는 각 센서 카드 슬롯에 모든 센서 카드를 사용할 수 있도록 지원합니다. 937B는 최대 3개의 온/냉 음극식 게이지 또는 3개의 듀얼 센서 카드를 사용하여 최대 6개의 게이지를 연결할 수 있도록 구성할 수 있습니다.

MKS 압력계 케이블은 937B 또는 946 컨트롤러와 722 압력계를 연결하며, DB9 수-DB9 암 커넥터를 사용하고 길이는 7.5m(25피트)입니다. MKS 부품 번호: 100016952. 이 MKS 압력계 케이블은 937B 또는 946 컨트롤러를 722 시리즈 압력계(DB9 수-DB9 암)에 연결하며, 9핀 D형 서브미니어처 커넥터를 사용합니다. 본 제품은 케이블만 포함합니다. 937B 시리즈 디지털 복합 진공 게이지 컨트롤러는 최대 6개의 진공 압력 센서를 동시에 작동시킬 수 있습니다. 이 유연성이 뛰어난 진공 게이지 컨트롤러는 냉음극, 열음극, 표준 피라니, 대류 피라니, 바라트론® 정전 용량 압력계 및 절대 피에조 센서를 포함한 다양한 센서 기술을 지원하며, 초고진공에서 대기압 이상까지의 측정 범위를 제공합니다. 백라이트 LCD 디스플레이, 직관적인 메뉴 및 간단한 버튼식 전면 패널을 통해 937B를 손쉽게 설정할 수 있습니다. 937B는 각 센서 카드 슬롯에 모든 센서 카드를 사용할 수 있도록 지원합니다. 937B는 최대 3개의 온/냉 음극식 게이지 또는 3개의 듀얼 센서 카드를 사용하여 최대 6개의 게이지를 연결할 수 있도록 구성할 수 있습니다.

MKS 진공 센서 카드 이중 대류 피라니, 시리즈 937B 및 946 컨트롤러용. MKS 부품 번호: 100015132. MKS 진공 센서 카드는 이중 피라니 대류 센서를 지원하며 937B 및 946 진공 시스템 컨트롤러와 함께 사용됩니다. 이 카드는 유량 변환기를 제어하고 표시하도록 설계된 컨트롤러에 사용됩니다. 유량 설정점은 전면 패널 제어를 통해 또는 후면 패널 아날로그 인터페이스를 통해 원격으로 조정할 수 있습니다. 946 및 937B 진공 시스템 컨트롤러는 최대 6개의 센서와 게이지를 동시에 판독하고 제어합니다.

MKS HPS® 시리즈 317 대류 강화 피라니 센서 KF16 NW16(PN 103170010SH)(MKS 947 대류 강화 피라니 게이지 컨트롤러와 호환 가능) MKS HPS® 317 대류 강화 피라니 센서는 매우 저렴한 비용으로 신뢰할 수 있고 안정적인 압력 측정을 제공합니다. 진공에 노출되는 유일한 재료는 스테인리스강, 니켈, 유리 및 백금이므로 이 센서는 다양한 공정 가스와 호환되며 특히 UHV 응용 분야에 적합합니다. 백금 필라멘트는 대류 센서의 더 높은 측정 범위 전체에 걸쳐 판독값 차이를 효과적으로 제거합니다. 열전대 센서보다 더 정확한 317 센서는 더 넓은 압력 범위를 측정하고 프로세스 압력 변화에 더 빠르게 반응합니다. 대류 강화 피라니 센서의 측정 상한은 기존 피라니 센서의 측정 한계보다 100Torr에서 1,000Torr로 높아졌습니다. 이 높은 한계는 대기압에서 기본 압력까지 진공 시스템의 펌프다운을 모니터링할 때 유용합니다. 센서는 10°C ~ 50°C 범위의 실내 온도 변화를 보상합니다. 모든 열전도도 센서와 마찬가지로 317 센서는 본질적으로 가스 유형에 민감합니다. 이 기능을 통해 진공 시스템에서 중간 정도의 누출 위치를 찾는 간단한 솔루션이 됩니다. 이는 작은 누출을 찾는 데 더 효율적인 질량 분석계 누출 감지기를 보완합니다. RF 잡음으로부터 보호되는 센서는 CE 마크 요구 사항을 충족하며 100°C까지 구워질 수 있습니다. 이 317 센서에는 KF16 NW16 플랜지와 같은 표준 진공 연결이 포함되어 있습니다. 이 센서용 케이블은 포함되어 있지 않지만 표준 10피트 길이로 제공됩니다. 317 센서는 이 웹사이트에서도 판매되는 시리즈 947 대류 피라니 진공 게이지 컨트롤러와 함께 사용할 수 있습니다. 전체 사양 브로셔와 운영 매뉴얼은 아래에서 PDF 형식으로 다운로드할 수 있습니다.

MKS HPS® 시리즈 317 대류 강화 피라니 센서 KF25 NW25(PN 103170027SH)(MKS 947 대류 강화 피라니 게이지 컨트롤러와 호환 가능) MKS HPS® 317 대류 강화 피라니 센서는 매우 저렴한 비용으로 신뢰할 수 있고 안정적인 압력 측정을 제공합니다. 진공에 노출되는 유일한 재료는 스테인리스강, 니켈, 유리 및 백금이므로 이 센서는 다양한 공정 가스와 호환되며 특히 UHV 응용 분야에 적합합니다. 백금 필라멘트는 대류 센서의 더 높은 측정 범위 전체에 걸쳐 판독값 차이를 효과적으로 제거합니다. 열전대 센서보다 더 정확한 317 센서는 더 넓은 압력 범위를 측정하고 프로세스 압력 변화에 더 빠르게 반응합니다. 대류 강화 피라니 센서의 측정 상한은 기존 피라니 센서의 측정 한계보다 100Torr에서 1,000Torr로 높아졌습니다. 이 높은 한계는 대기압에서 기본 압력까지 진공 시스템의 펌프다운을 모니터링할 때 유용합니다. 센서는 10°C ~ 50°C 범위의 실내 온도 변화를 보상합니다. 모든 열전도도 센서와 마찬가지로 317 센서는 본질적으로 가스 유형에 민감합니다. 이 기능을 통해 진공 시스템에서 중간 정도의 누출 위치를 찾는 간단한 솔루션이 됩니다. 이는 작은 누출을 찾는 데 더 효율적인 질량 분석계 누출 감지기를 보완합니다. RF 잡음으로부터 보호되는 센서는 CE 마크 요구 사항을 충족하며 100°C까지 구워질 수 있습니다. 이 317 센서에는 KF25 NW25 플랜지와 같은 표준 진공 연결이 포함되어 있습니다. 이 센서용 케이블은 포함되어 있지 않지만 표준 10피트 길이로 제공됩니다. 317 센서는 이 웹사이트에서도 판매되는 시리즈 947 대류 피라니 진공 게이지 컨트롤러와 함께 사용할 수 있습니다. 전체 사양 브로셔와 운영 매뉴얼은 아래 PDF 형식으로 다운로드할 수 있습니다.

MKS HPS® 시리즈 317 대류 강화 피라니 진공 센서는 0.001 ~ 1000 Torr, Conflat CF 1.33인치를 특징으로 합니다. MKS 부품 번호: 103170013SH. MKS HPS® 317 대류 강화 피라니 센서는 매우 저렴한 비용으로 신뢰할 수 있고 안정적인 압력 측정을 제공하며 MKS 947 대류 강화 피라니 게이지 컨트롤러와 호환됩니다. 진공에 노출되는 유일한 재료는 스테인리스강, 니켈, 유리 및 백금이므로 이 센서는 다양한 공정 가스와 호환되며 특히 UHV 응용 분야에 적합합니다. 백금 필라멘트는 대류 센서의 더 높은 측정 범위 전체에 걸쳐 판독값 차이를 효과적으로 제거합니다. 열전대 센서보다 더 정확한 317 센서는 더 넓은 압력 범위를 측정하고 프로세스 압력 변화에 더 빠르게 반응합니다. 대류 강화 피라니 센서의 측정 상한은 기존 피라니 센서에 비해 0.001Torr에서 1,000Torr로 높아졌습니다. 이 높은 한계는 대기압에서 기본 압력까지 진공 시스템의 펌프다운을 모니터링할 때 유용합니다. 센서는 10°C ~ 50°C 범위의 실내 온도 변화를 보상합니다. 모든 열전도도 센서와 마찬가지로 317 센서는 본질적으로 가스 유형에 민감합니다. 이 기능을 통해 진공 시스템에서 중간 정도의 누출 위치를 찾는 간단한 솔루션이 됩니다. 이는 작은 누출을 찾는 데 더 효율적인 질량 분석계 누출 감지기를 보완합니다. RF 잡음으로부터 보호되는 센서는 CE 마크 요구 사항을 충족하며 100°C까지 구워질 수 있습니다. 이 317 센서에는 CF 1.33인치 Mini-CF 플랜지 피팅과 같은 표준 진공 연결이 포함되어 있습니다. 이 센서용 케이블은 포함되어 있지 않지만 표준 10피트 길이로 제공됩니다. 317 센서는 이 웹사이트에서도 판매되는 시리즈 947 대류 피라니 진공 게이지 컨트롤러와 함께 사용할 수 있습니다. 전체 사양 브로셔와 운영 매뉴얼은 아래 PDF 형식으로 다운로드할 수 있습니다.

MKS HPS® 시리즈 317 대류 강화 피라니 진공 센서는 0.001 ~ 1000 Torr, Conflat CF 1.33인치를 특징으로 합니다. MKS 부품 번호: 103170013SH. MKS HPS® 317 대류 강화 피라니 센서는 매우 저렴한 비용으로 신뢰할 수 있고 안정적인 압력 측정을 제공하며 MKS 947 대류 강화 피라니 게이지 컨트롤러와 호환됩니다. 진공에 노출되는 유일한 재료는 스테인리스강, 니켈, 유리 및 백금이므로 이 센서는 다양한 공정 가스와 호환되며 특히 UHV 응용 분야에 적합합니다. 백금 필라멘트는 대류 센서의 더 높은 측정 범위 전체에 걸쳐 판독값 차이를 효과적으로 제거합니다. 열전대 센서보다 더 정확한 317 센서는 더 넓은 압력 범위를 측정하고 프로세스 압력 변화에 더 빠르게 반응합니다. 대류 강화 피라니 센서의 측정 상한은 기존 피라니 센서에 비해 0.001Torr에서 1,000Torr로 높아졌습니다. 이 높은 한계는 대기압에서 기본 압력까지 진공 시스템의 펌프다운을 모니터링할 때 유용합니다. 센서는 10°C ~ 50°C 범위의 실내 온도 변화를 보상합니다. 모든 열전도도 센서와 마찬가지로 317 센서는 본질적으로 가스 유형에 민감합니다. 이 기능을 통해 진공 시스템에서 중간 정도의 누출 위치를 찾는 간단한 솔루션이 됩니다. 이는 작은 누출을 찾는 데 더 효율적인 질량 분석계 누출 감지기를 보완합니다. RF 잡음으로부터 보호되는 센서는 CE 마크 요구 사항을 충족하며 100°C까지 구워질 수 있습니다. 이 317 센서에는 CF 1.33인치 Mini-CF 플랜지 피팅과 같은 표준 진공 연결이 포함되어 있습니다. 이 센서용 케이블은 포함되어 있지 않지만 표준 10피트 길이로 제공됩니다. 317 센서는 이 웹사이트에서도 판매되는 시리즈 947 대류 피라니 진공 게이지 컨트롤러와 함께 사용할 수 있습니다. 전체 사양 브로셔와 운영 매뉴얼은 아래 PDF 형식으로 다운로드할 수 있습니다.

345 또는 317용 MKS 진공 게이지 케이블, 945, 947, 937B 또는 946 컨트롤러에 연결, 길이 25피트(7.5m). MKS 부품 번호: 103170007SH. MKS 진공 게이지 신호 케이블은 345 또는 317 진공 게이지 센서를 945, 947, 937B 또는 946 컨트롤러에 연결합니다. MKS 컨트롤러의 뒷면과 MKS 345 또는 317 Pirani 센서의 측면에 연결됩니다. 이것은 케이블 전용입니다. Series 947 대류 강화 피라니 컨트롤러는 다양한 표준 기능을 제공하며 사용이 쉽습니다. 압력에 비례하는 아날로그 출력 신호는 표준이며 컨트롤러 후면에서 이 케이블이 연결된 곳에서 접근할 수 있습니다. 프로세스는 이 단일 채널 컨트롤러의 표준인 두 개의 독립적인 릴레이 설정점을 통해 제어됩니다. 릴레이는 컨트롤러의 설정점 범위 내 어디에서나 작동하도록 설정할 수 있습니다. 전원 켜기/끄기 스위치를 포함하여 모든 작동 제어 장치는 컨트롤러 전면 패널에서 편리하게 접근할 수 있습니다. 읽기 쉬운 대형 디스플레이를 보면서 전면 패널에서 설정점을 조정하세요. 설정점 활성화는 빨간색 LED 표시기로 표시됩니다. 프로세스 제어 중단 없이 언제든지 설정값을 확인할 수 있습니다.

345 또는 317용 MKS 진공 게이지 케이블, 937B 및 946 컨트롤러에 연결, 10 Ft. (3m) 길다. MKS 부품 번호: 103170006SH. MKS 진공 게이지 신호 케이블은 345 또는 317 진공 게이지 센서를 945, 947, 937B 및 946 컨트롤러에 연결합니다. MKS 컨트롤러의 뒷면과 MKS 345 또는 317 Pirani 센서의 측면에 연결됩니다. 이것은 케이블 전용입니다. Series 947 대류 강화 피라니 컨트롤러는 다양한 표준 기능을 제공하며 사용이 쉽습니다. 압력에 비례하는 아날로그 출력 신호는 표준이며 컨트롤러 후면에서 이 케이블이 연결된 곳에서 접근할 수 있습니다. 프로세스는 이 단일 채널 컨트롤러의 표준인 두 개의 독립적인 릴레이 설정점을 통해 제어됩니다. 릴레이는 컨트롤러의 설정점 범위 내 어디에서나 작동하도록 설정할 수 있습니다. 전원 켜기/끄기 스위치를 포함하여 모든 작동 제어 장치는 컨트롤러 전면 패널에서 편리하게 접근할 수 있습니다. 읽기 쉬운 대형 디스플레이를 보면서 전면 패널에서 설정점을 조정하세요. 설정점 활성화는 빨간색 LED 표시기로 표시됩니다. 프로세스 제어 중단 없이 언제든지 설정값을 확인할 수 있습니다.

MKS Granville Phillips 275 컨벡트론 게이지 진공 압력 측정 센서, 1/8 수형 NPT, MKS Granville Phillips 부품 번호 275071. 275 MKS Granville Phillips 컨벡트론 압력 측정 게이지 튜브 센서는 업계 표준 대류 강화 피라니 게이지입니다. MKS Granville Phillips 275는 대기압에서 1x10⁻⁴ Torr까지의 진공 압력을 측정하며, 러핑 및 포어라인 압력 측정에 이상적입니다. 열전대형 게이지처럼 수초가 아닌 밀리초 단위로 빠르고 안정적인 측정값을 제공합니다. MKS Granville Phillips 275 컨벡트론 진공 게이지 센서의 높은 정확도와 반복성은 공정이 매번 원하는 압력에서 시작될 수 있도록 보장합니다. 그러나 측정 대상 가스의 화학적 조성에 민감하며, 상대 압력 측정 방식이라고 합니다. 즉, 가스 매체의 열전도율 특성을 이용하여 간접적으로 압력을 측정합니다. (사진에 보이는 MKS Granville Phillips 375 Convectron 컨트롤러는 별도 구매 가능하지만, 정가에는 포함되어 있지 않습니다.)

MKS Granville Phillips 275 컨벡트론 게이지 진공 압력 측정 센서, 1/4인치 암형 4 VCR® 피팅, MKS Granville Phillips 부품 번호: 275185. MKS Granville Phillips 275 컨벡트론 압력 측정 게이지 튜브 센서는 업계 표준 대류 강화 피라니 게이지입니다. MKS Granville Phillips 275는 대기압에서 1x10⁻⁴ Torr까지의 진공 압력을 측정하며, 러핑 및 포어라인 압력 측정에 이상적입니다. 열전대형 게이지처럼 수초가 아닌 밀리초 단위로 빠르고 안정적인 측정을 제공합니다. MKS Granville Phillips 275 컨벡트론 진공 게이지 센서의 높은 정확도와 반복성은 공정이 매번 원하는 압력에서 시작되도록 보장합니다. 그러나 측정 대상 가스의 화학적 조성에 민감하며, 상대 압력 측정 방식이라고 합니다. 즉, 가스 매체의 열전도율 특성으로부터 간접적으로 압력을 측정합니다. (사진에 보이는 MKS Granville Phillips 375 Convectron 컨트롤러는 더 이상 제공되지 않으며, MKS Granville Phillips 475로 대체되었습니다.)

MKS Granville Phillips 275 컨벡트론 게이지 진공 압력 측정 센서, Conflat 2.75인치, MKS Granville Phillips 부품 번호: 275238. 275 MKS Granville Phillips 컨벡트론 압력 측정 게이지 튜브 센서는 업계 표준 대류 강화 피라니 게이지입니다. MKS Granville Phillips 275는 대기압에서 1x10⁻⁴ Torr까지의 진공 압력을 측정하며, 러핑 및 포어라인 압력 측정에 이상적입니다. 열전대형 게이지처럼 수초가 아닌 밀리초 단위로 빠르고 안정적인 측정값을 제공합니다. MKS Granville Phillips 275 컨벡트론 진공 게이지 센서의 높은 정확도와 반복성은 공정이 매번 원하는 압력에서 시작되도록 보장합니다. 그러나 측정 대상 가스의 화학적 조성에 민감하며, 상대 압력 측정 방식이라고 합니다. 즉, 가스 매체의 열전도율 특성을 이용하여 간접적으로 압력을 측정합니다. (사진에 보이는 MKS Granville Phillips 375 Convectron 컨트롤러는 별도 구매 가능하지만, 정가에는 포함되어 있지 않습니다.)

MKS Granville Phillips 275 컨벡트론 게이지 진공 압력 측정 센서, Conflat 8 VCR® 1/2인치 플랜지, MKS Granville Phillips 부품 번호: 275282. 275 MKS Granville Phillips 컨벡트론 압력 측정 게이지 튜브 센서는 업계 표준 대류 강화 피라니 게이지입니다. MKS Granville Phillips 275는 대기압에서 1x10⁻⁴ Torr까지의 진공 압력을 측정하며, 러핑 및 포어라인 압력 측정에 이상적입니다. 열전대형 게이지처럼 수초가 아닌 밀리초 단위로 빠르고 안정적인 측정을 제공합니다. MKS Granville Phillips 275 컨벡트론 진공 게이지 센서의 높은 정확도와 반복성은 공정이 매번 원하는 압력에서 시작되도록 보장합니다. 그러나 측정 대상 가스의 화학적 조성에 민감하며, 상대 압력 측정 방식이라고 합니다. 즉, 가스 매체의 열전도율 특성으로부터 간접적으로 압력을 측정합니다. (MKS Granville Phillips 375 컨벡트론 컨트롤러는 MKS Granville Phillips 475로 대체되며, 해당 제품은 포함되지 않습니다.)

MKS Granville Phillips 275 컨벡트론 게이지 진공 압력 측정 센서, Conflat 1.33 플랜지, MKS Granville Phillips 부품 번호: 275256. MKS Granville Phillips 275 컨벡트론 압력 측정 게이지 튜브 센서는 업계 표준 대류 강화 피라니 게이지입니다. MKS Granville Phillips 275는 대기압에서 1x10⁻⁴ Torr까지의 진공 압력을 측정하며, 러핑 및 포어라인 압력 측정에 이상적입니다. 열전대형 게이지처럼 수초가 아닌 밀리초 단위로 빠르고 안정적인 측정을 제공합니다. MKS Granville Phillips 275 컨벡트론 진공 게이지 센서의 높은 정확도와 반복성은 공정이 매번 원하는 압력에서 시작되도록 보장합니다. 그러나 측정 대상 가스의 화학적 조성에 민감하며, 상대 압력 측정 방식이라고 합니다. 즉, 가스 매체의 열전도율 특성을 이용하여 간접적으로 압력을 측정합니다. (사진에 보이는 MKS Granville Phillips 375 Convectron 컨트롤러는 별도 구매 가능하지만, 정가에는 포함되어 있지 않습니다.)

MKS Granville Phillips 275 컨벡트론 게이지 진공 압력 측정 센서, NW KF 16 플랜지, MKS Granville Phillips 부품 번호: 275203. MKS Granville Phillips 275 컨벡트론 압력 측정 게이지 튜브 센서는 업계 표준 대류 강화 피라니 게이지입니다. MKS Granville Phillips 275는 대기압에서 1x10⁻⁴ Torr까지의 진공 압력을 측정하며, 러핑 및 포어라인 압력 측정에 이상적입니다. 열전대형 게이지처럼 수초가 아닌 밀리초 단위로 빠르고 안정적인 측정을 제공합니다. MKS Granville Phillips 275 컨벡트론 진공 게이지 센서의 높은 정확도와 반복성은 공정이 매번 원하는 압력에서 시작되도록 보장합니다. 그러나 측정 대상 가스의 화학적 조성에 민감하며, 상대 압력 측정 방식이라고 합니다. 즉, 가스 매체의 열전도율 특성을 이용하여 간접적으로 압력을 측정합니다. (사진에 보이는 MKS Granville Phillips 375 Convectron 컨트롤러는 별도 구매 가능하지만, 정가에는 포함되어 있지 않습니다.)

MKS Granville Phillips 275 컨벡트론 게이지 진공 압력 측정 센서, NW KF 25 플랜지, MKS Granville Phillips 부품 번호: 275196. 275 MKS Granville Phillips 컨벡트론 압력 측정 게이지 튜브 센서는 업계 표준 대류 강화 피라니 게이지입니다. MKS Granville Phillips 275는 대기압에서 1x10⁻⁴ Torr까지의 진공 압력을 측정하며, 러핑 및 포어라인 압력 측정에 이상적입니다. 열전대형 게이지처럼 수초가 아닌 밀리초 단위로 빠르고 안정적인 측정을 제공합니다. MKS Granville Phillips 275 컨벡트론 진공 게이지 센서의 높은 정확도와 반복성은 공정이 매번 원하는 압력에서 시작되도록 보장합니다. 그러나 측정 대상 가스의 화학적 조성에 민감하며, 상대 압력 측정 방식이라고 합니다. 즉, 가스 매체의 열전도율 특성을 이용하여 간접적으로 압력을 측정합니다. (사진에 보이는 MKS Granville Phillips 375 Convectron 컨트롤러는 별도 구매 가능하지만, 정가에는 포함되어 있지 않습니다.)

MKS Granville Phillips 275 컨벡트론 게이지 진공 압력 측정 센서, NW KF 40 플랜지, MKS Granville Phillips 부품 번호: 275316. 275 MKS Granville Phillips 컨벡트론 압력 측정 게이지 튜브 센서는 업계 표준 대류 강화 피라니 게이지입니다. MKS Granville Phillips 275는 대기압에서 1x10⁻⁴ Torr까지의 진공 압력을 측정하며, 러핑 및 포어라인 압력 측정에 이상적입니다. 열전대형 게이지처럼 수초가 아닌 밀리초 단위로 빠르고 안정적인 측정을 제공합니다. MKS Granville Phillips 275 컨벡트론 진공 게이지 센서의 높은 정확도와 반복성은 공정이 매번 원하는 압력에서 시작되도록 보장합니다. 그러나 측정 대상 가스의 화학적 조성에 민감하며, 상대 압력 측정 방식이라고 합니다. 즉, 가스 매체의 열전도율 특성을 이용하여 간접적으로 압력을 측정합니다. (사진에 보이는 MKS Granville Phillips 375 Convectron 컨트롤러는 별도 구매 가능하지만, 정가에는 포함되어 있지 않습니다.)

MKS 진공 게이지 케이블은 937B 컨트롤러와 GP275 진공 게이지를 연결하며, 길이는 3m(10피트)입니다. MKS 부품 번호는 100016980입니다. 이 MKS 진공 게이지 신호 케이블은 937B 컨트롤러와 GP275 진공 게이지를 연결합니다. MKS 컨트롤러 뒷면과 GP275 진공 게이지 측면에 연결됩니다. 본 제품은 케이블만 포함합니다. 937B 디지털 복합 진공 게이지 컨트롤러는 최대 6개의 진공 압력 센서를 동시에 작동할 수 있습니다. 이 유연성이 뛰어난 진공 게이지 컨트롤러는 냉음극, 열음극, 표준 피라니, 대류 피라니, 바라트론® 정전 용량 압력계 및 절대 피에조 센서를 포함한 다양한 센서 기술을 지원하며, 초고진공에서 대기압 이상까지의 측정 범위를 제공합니다. 백라이트 LCD 디스플레이, 직관적인 메뉴 및 간단한 버튼식 전면 패널을 통해 937B를 손쉽게 설정할 수 있습니다. 937B는 각 센서 카드 슬롯에 모든 센서 카드를 사용할 수 있도록 지원합니다. 937B는 최대 3개의 온/냉 음극식 게이지 또는 3개의 듀얼 센서 카드를 사용하여 최대 6개의 게이지를 연결할 수 있도록 구성할 수 있습니다.

MKS 진공 게이지 케이블은 937B 컨트롤러와 GP275 진공 게이지를 연결하며, 길이는 7.5m(25피트)입니다. MKS 부품 번호는 100016981입니다. 이 MKS 진공 게이지 신호 케이블은 937B 컨트롤러와 GP275 진공 게이지를 연결합니다. MKS 컨트롤러 뒷면과 GP275 진공 게이지 측면에 연결됩니다. 본 제품은 케이블만 포함합니다. 937B 디지털 복합 진공 게이지 컨트롤러는 최대 6개의 진공 압력 센서를 동시에 작동할 수 있습니다. 이 유연성이 뛰어난 진공 게이지 컨트롤러는 냉음극, 열음극, 표준 피라니, 대류 피라니, 바라트론® 정전 용량 압력계 및 절대 피에조 센서를 포함한 다양한 센서 기술을 지원하며, 초고진공에서 대기압 이상까지의 측정 범위를 제공합니다. 백라이트 LCD 디스플레이, 직관적인 메뉴 및 간단한 버튼식 전면 패널을 통해 937B를 손쉽게 설정할 수 있습니다. 937B는 각 센서 카드 슬롯에 모든 센서 카드를 사용할 수 있도록 지원합니다. 937B는 최대 3개의 온/냉 음극식 게이지 또는 3개의 듀얼 센서 카드를 사용하여 최대 6개의 게이지를 연결할 수 있도록 구성할 수 있습니다.

MKS 진공 센서 카드 냉음극, 시리즈 937B 및 946 컨트롤러용. MKS 부품 번호: 100018446. MKS 진공 센서 카드 냉음극은 937B 및 946 진공 시스템 컨트롤러와 함께 사용됩니다. 이 카드는 유량 변환기를 제어하고 표시하도록 설계된 컨트롤러에 사용됩니다. 유량 설정점은 전면 패널 제어를 통해 또는 후면 패널 아날로그 인터페이스를 통해 원격으로 조정할 수 있습니다. 946 및 937B 진공 시스템 컨트롤러는 최대 6개의 센서와 게이지를 동시에 판독하고 제어합니다.

MKS HPS® 423 I-Mag® 센서 냉음극 진공 게이지 KF25, NW25, MKS 943 냉음극 진공 컨트롤러와 호환 가능. MKS 부품 번호: 104230004 반전된 마그네트론 설계를 사용하는 423 I-Mag® 센서는 적절한 컨트롤러를 사용하면 기존 Penning 냉음극 센서보다 훨씬 낮은 압력(10-11 Torr)에서 작동할 수 있습니다. 이렇게 증가된 압력 범위로 인해 HPS® 냉음극 센서는 UHV 사용에 이상적입니다. HPS® 냉음극 센서의 독특한 설계 특징은 이온 수집을 위한 두 번째 피드스루입니다. 일반적인 단일 피드스루 설계에서는 양극과 접지 사이의 전류 누출로 인해 압력 측정 오류가 발생합니다. 이중 피드스루 설계에서는 음극의 이온 전류만 측정 판독에 영향을 미치므로 공정 모니터링에 이상적입니다. 필라멘트가 끊어지지 않는 423 I-Mag® 센서는 갑작스러운 공기 유입으로 인해 손상되지 않으며 진동 손상에 강합니다. 또한 방출 전류를 조정하거나 게이지의 가스를 제거할 필요가 없으므로 압력 변화에 대한 응답 시간이 줄어듭니다. 베이크아웃이 필요한 경우 자석과 센서 커넥터를 제거하고 센서를 400°C까지 베이킹할 수 있습니다. 이것은 냉음극 센서 전용입니다. 이 장치의 MKS 신호 케이블과 MKS 943 컨트롤러는 이 웹사이트에서 별도로 판매됩니다. 전체 사양 브로셔와 운영 매뉴얼은 아래 PDF 형식으로 다운로드할 수 있습니다.

MKS HPS 423 I-Mag 센서 냉음극 진공 게이지 컨플랫 2.75 입구. MKS 부품 번호: 104230002. (MKS 943 냉음극 진공 컨트롤러와 호환 가능) 반전된 마그네트론 설계를 사용하는 423 I-Mag 센서는 기존 Penning 냉음극 센서보다 훨씬 낮은 압력(10-11 Torr)에서 작동할 수 있습니다. 적절한 컨트롤러. 이렇게 증가된 압력 범위로 인해 HPS 냉음극 센서는 UHV 사용에 이상적입니다. HPS 냉음극 센서의 독특한 설계 특징은 이온 수집을 위한 두 번째 피드스루입니다. 일반적인 단일 피드스루 설계에서는 양극과 접지 사이의 전류 누출로 인해 압력 측정 오류가 발생합니다. 이중 피드스루 설계에서는 음극의 이온 전류만 측정 판독에 영향을 미치므로 공정 모니터링에 이상적입니다. 필라멘트가 끊어지지 않는 423 I-Mag 센서는 갑작스러운 공기 유입으로 인해 손상되지 않으며 진동 손상에 강합니다. 또한 방출 전류를 조정하거나 게이지의 가스를 제거할 필요가 없으므로 압력 변화에 대한 응답 시간이 줄어듭니다. 베이크아웃이 필요한 경우 자석과 센서 커넥터를 제거하고 센서를 400°C까지 베이킹할 수 있습니다. 이것은 새로운 냉음극 센서입니다. 이 장치의 MKS 신호 케이블과 MKS 943 컨트롤러만 이 웹사이트에서 별도로 판매됩니다. 전체 사양 브로셔와 운영 매뉴얼은 아래 PDF 형식으로 다운로드할 수 있습니다.

MKS 진공 게이지 케이블은 946 컨트롤러를 423 I-Mag® 냉음극 센서(3m) 길이에 연결합니다. MKS 부품 번호: 100016295. MKS 압력계 케이블은 946 컨트롤러를 423 I-Mag® 냉음극 센서에 연결합니다. 이것은 케이블 전용입니다. 시리즈 937B 디지털 조합 진공 게이지 컨트롤러는 최대 6개의 진공 압력 센서를 동시에 작동합니다. 매우 유연한 이 진공 게이지 컨트롤러는 냉음극, 열음극, 표준 피라니, 대류 피라니, Baratron® 커패시턴스 압력계 및 초고진공에서 대기압 이상까지 측정 범위를 위한 절대 피에조 센서를 포함한 광범위한 센서 기술을 지원합니다. 백라이트 LCD 디스플레이, 직관적인 메뉴 및 간단한 푸시 버튼 전면 패널을 통해 937B를 쉽게 설정할 수 있습니다. 937B를 사용하면 각 센서 카드 슬롯에서 모든 센서 카드를 사용할 수 있습니다. 937B는 최대 3개의 열음극 또는 냉음극형 게이지로 구성하거나 최대 6개의 게이지 연결을 위한 3개의 듀얼 센서 카드로 구성할 수 있습니다.

MKS 진공 게이지 케이블은 946 컨트롤러를 423 I-Mag 냉음극 센서(7.5m) 길이에 연결합니다. MKS 부품 번호: 100016296. MKS 압력계 케이블은 946 컨트롤러를 423 I-Mag 냉음극 센서에 연결합니다. 이것은 케이블 전용입니다. 시리즈 937B 디지털 복합 진공 게이지 컨트롤러는 최대 6개의 진공 압력 센서를 동시에 작동합니다. 매우 유연한 이 진공 게이지 컨트롤러는 냉음극, 열음극, 표준 피라니, 대류 피라니, Baratron® 커패시턴스 압력계 및 초고진공에서 대기압 이상까지 측정 범위를 위한 절대 피에조 센서를 포함한 광범위한 센서 기술을 지원합니다. 백라이트 LCD 디스플레이, 직관적인 메뉴 및 간단한 푸시 버튼 전면 패널을 통해 937B를 쉽게 설정할 수 있습니다. 937B를 사용하면 각 센서 카드 슬롯에서 모든 센서 카드를 사용할 수 있습니다. 937B는 최대 3개의 열음극 또는 냉음극형 게이지로 구성하거나 최대 6개의 게이지 연결을 위한 3개의 듀얼 센서 카드로 구성할 수 있습니다.

MKS 431 냉음극 진공 센서, 1x10-11 ~ 1x10-2 Torr, CF-2.75인치 플랜지 피팅. MKS 부품 번호: 104310002. MKS 431 냉음극 진공 센서는 1x10-11 ~ 1x10-2 Torr 진공 측정 범위, 높은 작동 온도 및 2.75인치 크기 CF 플랜지 피팅을 갖추고 있습니다. 이는 전자의 고전압 방전으로 인한 이온화와 함께 가스의 이온화 확률을 기반으로 합니다. 이 냉음극 압력 진공 센서는 측정 범위를 확대하기 위해 역자전관 설계를 기반으로 합니다. 이온 수집을 위한 이중 피드스루는 다른 냉음극 진공 및 압력 센서보다 압력 판독값을 더 정확하게 만드는 고유한 기능입니다. 이 냉음극 진공 센서용 신호 케이블은 이 웹사이트에서 구할 수 있습니다.

MKS 압력계 케이블은 937B 또는 946 컨트롤러를 431 I-Mag® 냉음극 센서(3m) 길이에 연결합니다. MKS 부품 번호: 100016217. MKS 압력계 케이블은 937B 또는 946 컨트롤러를 431 I-Mag® 냉음극 센서에 연결합니다. 이것은 케이블 전용입니다. 시리즈 937B 디지털 복합 진공 게이지 컨트롤러는 최대 6개의 진공 압력 센서를 동시에 작동합니다. 매우 유연한 이 진공 게이지 컨트롤러는 냉음극, 열음극, 표준 피라니, 대류 피라니, Baratron® 커패시턴스 압력계 및 초고진공에서 대기압 이상까지 측정 범위를 위한 절대 피에조 센서를 포함한 광범위한 센서 기술을 지원합니다. 백라이트 LCD 디스플레이, 직관적인 메뉴 및 간단한 푸시 버튼 전면 패널을 통해 937B를 쉽게 설정할 수 있습니다. 937B를 사용하면 각 센서 카드 슬롯에서 모든 센서 카드를 사용할 수 있습니다. 937B는 최대 3개의 열음극 또는 냉음극형 게이지로 구성하거나 최대 6개의 게이지 연결을 위한 3개의 듀얼 센서 카드로 구성할 수 있습니다.

MKS 압력계 케이블은 937B 또는 946 컨트롤러를 431 I-Mag® 냉음극 센서(7.5m) 길이에 연결합니다. MKS 부품 번호: 100016218. MKS 압력계 케이블은 937B 또는 946 컨트롤러를 431 I-Mag® 냉음극 센서에 연결합니다. 이것은 케이블 전용입니다. 시리즈 937B 디지털 복합 진공 게이지 컨트롤러는 최대 6개의 진공 압력 센서를 동시에 작동합니다. 매우 유연한 이 진공 게이지 컨트롤러는 냉음극, 열음극, 표준 피라니, 대류 피라니, Baratron® 커패시턴스 압력계 및 초고진공에서 대기압 이상까지 측정 범위를 위한 절대 피에조 센서를 포함한 광범위한 센서 기술을 지원합니다. 백라이트 LCD 디스플레이, 직관적인 메뉴 및 간단한 푸시 버튼 전면 패널을 통해 937B를 쉽게 설정할 수 있습니다. 937B를 사용하면 각 센서 카드 슬롯에서 모든 센서 카드를 사용할 수 있습니다. 937B는 최대 3개의 열음극 또는 냉음극형 게이지로 구성하거나 최대 6개의 게이지 연결을 위한 3개의 듀얼 센서 카드로 구성할 수 있습니다.

MKS 진공 센서 카드 열음극, 시리즈 937B 및 946 컨트롤러용. MKS 부품 번호: 100015641. MKS 진공 센서 카드 냉음극은 937B 및 946 진공 시스템 컨트롤러와 함께 사용됩니다. 이 카드는 유량 변환기를 제어하고 표시하도록 설계된 컨트롤러에 사용됩니다. 유량 설정점은 전면 패널 제어를 통해 또는 후면 패널 아날로그 인터페이스를 통해 원격으로 조정할 수 있습니다. 946 및 937B 진공 시스템 컨트롤러는 최대 6개의 센서와 게이지를 동시에 판독하고 제어합니다.

MKS 열음극 진공 센서 누드 튜브, 이리듐 필라멘트, 1x10⁻² ~ 1x10⁻¹¹ Torr 측정 범위, CF-2.75인치 플랜지 피팅. MKS 부품 번호: 100006842. MKS 누드 튜브 진공 센서는 1x10⁻² ~ 1x10⁻¹¹ Torr의 진공 측정 범위를 제공하는 이트리아 코팅 이리듐 필라멘트와 2.75인치 CF 플랜지 피팅을 특징으로 합니다. 이 베이어드-알퍼트 방식의 이온화 진공 센서는 그리드 중앙에 위치한 미세 와이어 컬렉터를 사용합니다. 면적이 작기 때문에 컬렉터에 도달하는 X선이 적어 진공 게이지로 매우 낮은 압력까지 측정할 수 있습니다. 튜브의 감지 부분이 진공 시스템 내부에 위치하여 시스템의 실제 압력을 경험하기 때문에 누드 튜브는 대표적인 압력 측정값을 제공하며 유리 봉투 센서보다 압력 변화에 더 빠르게 반응합니다. 이 열음극 진공 센서용 신호 케이블은 이 웹사이트에서 구입할 수 있습니다.

MKS 열음극 진공 센서 누드 튜브, 텅스텐 필라멘트, 1x10⁻² ~ 1x10⁻¹¹ Torr 측정 범위, CF-2.75인치 플랜지 피팅. MKS 부품 번호: 100005980. MKS 누드 튜브 진공 센서는 1x10⁻² ~ 1x10⁻¹¹ Torr의 진공 측정 범위를 위한 텅스텐 필라멘트와 2.75인치 CF 플랜지 피팅을 특징으로 합니다. 이 Bayard-Alpert 방식의 이온화 진공 센서는 그리드 중앙에 위치한 미세 와이어 컬렉터를 사용합니다. 면적이 작기 때문에 컬렉터에 도달하는 X선이 적어 진공 게이지로 매우 낮은 압력까지 측정할 수 있습니다. 튜브의 감지 부분이 진공 시스템 내부에 위치하여 시스템의 실제 압력을 경험하기 때문에 누드 튜브는 대표적인 압력 측정값을 제공하며 유리 봉투 센서보다 압력 변화에 더 빠르게 반응합니다. 이 열음극 진공 센서용 신호 케이블은 이 웹사이트에서 구입할 수 있습니다.

MKS 진공 게이지 케이블은 937B 또는 946을 3m(10피트) 길이의 열음극 저전력 누드에 연결합니다. MKS 부품 번호: 100010909. MKS 압력계 케이블은 937B 또는 946을 열음극 저전력 누드에 연결합니다. 이것은 케이블 전용입니다. 시리즈 937B 디지털 복합 진공 게이지 컨트롤러는 최대 6개의 진공 압력 센서를 동시에 작동합니다. 매우 유연한 이 진공 게이지 컨트롤러는 냉음극, 열음극, 표준 피라니, 대류 피라니, Baratron® 커패시턴스 압력계 및 초고진공에서 대기압 이상까지 측정 범위를 위한 절대 피에조 센서를 포함한 광범위한 센서 기술을 지원합니다. 백라이트 LCD 디스플레이, 직관적인 메뉴 및 간단한 푸시 버튼 전면 패널을 통해 937B를 쉽게 설정할 수 있습니다. 937B를 사용하면 각 센서 카드 슬롯에서 모든 센서 카드를 사용할 수 있습니다. 937B는 최대 3개의 열음극 또는 냉음극형 게이지로 구성하거나 최대 6개의 게이지 연결을 위한 3개의 듀얼 센서 카드로 구성할 수 있습니다.

MKS 진공 게이지 케이블은 937B 또는 946을 열음극 저전력 누드, 25피트(7.5m) 길이에 연결합니다. MKS 부품 번호: 100010910. MKS 압력계 케이블은 937B 또는 946을 열음극 저전력 누드에 연결합니다. 이것은 케이블 전용입니다. 시리즈 937B 디지털 복합 진공 게이지 컨트롤러는 최대 6개의 진공 압력 센서를 동시에 작동합니다. 매우 유연한 이 진공 게이지 컨트롤러는 냉음극, 열음극, 표준 피라니, 대류 피라니, Baratron® 커패시턴스 압력계 및 초고진공에서 대기압 이상까지 측정 범위를 위한 절대 피에조 센서를 포함한 광범위한 센서 기술을 지원합니다. 백라이트 LCD 디스플레이, 직관적인 메뉴 및 간단한 푸시 버튼 전면 패널을 통해 937B를 쉽게 설정할 수 있습니다. 937B를 사용하면 각 센서 카드 슬롯에서 모든 센서 카드를 사용할 수 있습니다. 937B는 최대 3개의 열음극 또는 냉음극형 게이지로 구성하거나 최대 6개의 게이지 연결을 위한 3개의 듀얼 센서 카드로 구성할 수 있습니다.

MKS 248D 범용 유량 제어 밸브, 2000 sccm, 1/4인치 Swagelok® 튜브 피팅, Viton 씰. MKS 부품 번호: 0248D-02000SV. 제어 전류가 공급되면 이 범용 개량형 솔레노이드 밸브는 가스 유량을 조절합니다. MKS 컨트롤러 및 적절한 유량 센서와 함께 사용하면 248D 밸브는 정확하고 정밀한 압력 또는 유량을 유지하면서 가스 유량을 조절합니다. 적용 분야에는 유량 제어, 상류 또는 하류 압력 제어가 포함됩니다. 이 모델 0248D-02000SV 밸브는 질소 2000 sccm의 전체 스케일 범위, Swagelok® 1/4인치 튜브 피팅 및 Viton 씰을 특징으로 합니다. 밸브가 닫힌 상태에서의 누출 전도도는 <1x10⁻⁵ scc/sec He입니다. Swagelok® 및 VCR®은 Swagelok Company의 등록 상표입니다. Vac Goop™은 Swagelok Company의 상표입니다. Ideal Vacuum Products는 Swagelok Company의 공식 판매 대리점이 아닙니다.

MKS 248D 범용 유량 제어 밸브, 10000 sccm, 1/4인치 Swagelok® 튜브 피팅, Viton 씰. 제어 전류가 공급되면 이 범용 개량형 솔레노이드 밸브는 가스 유량을 조절합니다. MKS 컨트롤러 및 적절한 유량 센서와 함께 사용하면 248D 밸브는 정확하고 정밀한 압력 또는 유량을 유지하면서 가스 유량을 조절합니다. 적용 분야에는 유량 제어, 상류 또는 하류 압력 제어가 포함됩니다. 이 모델 0248D-10000SV 밸브는 질소 10000 sccm의 전체 스케일 범위, Swagelok® 1/4인치 튜브 피팅 및 Viton 씰을 특징으로 합니다. 밸브가 닫힌 상태에서의 누출 전도도는 <1x10⁻⁵ scc/sec He입니다. Swagelok-TM Swagelok® Company Swagelok® 및 VCR®은 Swagelok Company의 등록 상표입니다. Vac Goop™은 Swagelok Company의 상표입니다. Ideal Vacuum Products는 Swagelok Company의 공식 유통업체가 아닙니다.

MKS 248D 범용 유량 제어 밸브, 5000 sccm, 1/4인치 Swagelok® 튜브 피팅, Viton 씰. MKS 부품 번호: 0248D-05000RV. 제어 전류가 공급되면 이 범용 개량형 솔레노이드 밸브는 가스 유량을 조절합니다. MKS 컨트롤러 및 적절한 유량 센서와 함께 사용하면 248D 밸브는 정확하고 정밀한 압력 또는 유량을 유지하면서 가스 유량을 조절합니다. 적용 분야에는 유량 제어, 상류 또는 하류 압력 제어가 포함됩니다. 이 모델 0248D-05000RV 밸브는 질소 5,000 sccm의 전체 스케일 범위, Swagelok® 1/4인치 튜브 피팅 및 Viton 씰을 특징으로 합니다. 밸브가 닫힌 상태에서의 누출 전도도는 <1x10⁻⁵ scc/sec He입니다. Swagelok-TM Swagelok® Company Swagelok® 및 VCR®은 Swagelok Company의 등록 상표입니다. Vac Goop™은 Swagelok Company의 상표입니다. Ideal Vacuum Products는 Swagelok Company의 공식 판매 대리점이 아닙니다.

MKS 질량 유량 컨트롤러 케이블은 946 컨트롤러를 3m(10피트) 길이의 248D 유량 제어 밸브에 연결합니다. MKS 부품 번호: 100018192. MKS 질량 유량 컨트롤러 케이블은 946 컨트롤러를 248D 유량 제어 밸브에 연결합니다. 이것은 케이블 전용입니다. MKS 946은 다목적 하프랙 진공 게이지 측정 및 제어 시스템으로, 압력 제어 옵션과 함께 최대 6개의 서로 다른 진공 게이지 및/또는 질량 유량 컨트롤러에 대한 전원 및 동시 판독값을 제공합니다. 전원 공급 장치/판독값은 모든 유량 변환기를 제어하고 표시하도록 설계되었습니다. 유량 설정점은 전면 패널 제어를 통해 또는 후면 패널 아날로그 인터페이스를 통해 원격으로 조정할 수 있습니다. 946 진공 시스템 컨트롤러는 6개 채널/순차 선택이 가능한 단일 판독값입니다. 질량 유량 컨트롤러 및 질량 유량 판독값과 호환됩니다. MKS 946용 신호 케이블은 이 웹사이트에서 구입할 수 있습니다.

MKS 질량 유량 컨트롤러 케이블은 946 컨트롤러를 248D 유량 제어 밸브(25피트(7.5m) 길이)에 연결합니다. MKS 부품 번호: 100018192-25. MKS 질량 유량 컨트롤러 케이블은 946 컨트롤러를 248D 유량 제어 밸브에 연결합니다. 이것은 케이블 전용입니다. MKS 946은 다목적 하프랙 진공 게이지 측정 및 제어 시스템으로, 압력 제어 옵션과 함께 최대 6개의 서로 다른 진공 게이지 및/또는 질량 유량 컨트롤러에 대한 전원 및 동시 판독값을 제공합니다. 전원 공급 장치/판독값은 모든 유량 변환기를 제어하고 표시하도록 설계되었습니다. 유량 설정점은 전면 패널 제어를 통해 또는 후면 패널 아날로그 인터페이스를 통해 원격으로 조정할 수 있습니다. 946 진공 시스템 컨트롤러는 6개 채널/순차 선택이 가능한 단일 판독값입니다. 질량 유량 컨트롤러 및 질량 유량 판독값과 호환됩니다. MKS 946용 신호 케이블은 이 웹사이트에서 구입할 수 있습니다.

MKS 937B 및 946 시리즈 진공 게이지 컨트롤러용 하프 랙 장착 키트. MKS 부품 번호: RM-13. MKS 하프 랙 장착 키트는 937B 및 946 시리즈 진공 게이지 컨트롤러와 호환됩니다. 본 제품은 하드웨어만 제공합니다. MKS 946은 다용도 하프 랙 진공 게이지 측정 및 제어 시스템으로, 최대 6개의 진공 게이지 및/또는 질량 유량 컨트롤러에 전원과 동시 판독값을 제공하며, 압력 제어 옵션도 제공합니다. 전원 공급 장치/판독값은 모든 유량 변환기를 제어하고 표시하도록 설계되었습니다. 유량 설정값은 전면 패널 제어 장치 또는 후면 패널 아날로그 인터페이스를 통해 원격으로 조정할 수 있습니다. 946 진공 시스템 컨트롤러는 6채널/순차 선택 가능한 단일 판독값입니다. 질량 유량 컨트롤러 및 질량 유량 판독값과 호환됩니다. MKS 946용 신호 케이블은 이 웹사이트에서 구매할 수 있습니다.